技術コラム60-APS innovating measurement technology TM CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.060 大気中のパーティクルとは？ クリーン度の基準は、基準粒子径（評価対象の最少粒子径）とその粒子濃度であらわされる。2001年以前は、 アメリカは独自の標準FS-209E（CFMあたりの0.5μ粒子が基準）を取っていたが、2001年以後はISO146441（日本のJIS B9920と同等）を採用し、正式にFS-209Eを使用しないことに同意している。 そのISO14644-1においては、0.1μ粒子を基準粒子対象とし、１立法メートルにおけるパーティクル数を基準 としている。 Class 0.1μm パーティクルをサイズ別に分類し、それらの大気中での挙動、使用されるフィルタ名、正規名称、濾過法を表現してみました。 1cm 雨粒 霧 塵 排気ガス タバコの煙 ダニ、カビ 煙 バクテリア ウイルス 粉ミルク 大気中での挙動 1mm 100micron 10micron 1micron 100nm 10nm 1nm RainDrop Mist Dust Carbon Mist (Exhaust) Smoke Cigarette) Mold/Tick Flying Ash Bacteria 浮遊（沈むことが可能） 2 24 237 2370 23700 237000 10 102 1020 10200 102000 4 35 352 3520 35200 352000 3520000 35200000 任意に設定された 平均値を対象に OK/NG判定 Dry Milk 重くて沈む 10 100 1000 10000 100000 1000000 8 83 832 8320 83200 832000 8320000 29 293 2930 29300 293000 日本のJIS B 9920 におけるクラス１の基 準 以前のアメリカの基 準FS-209におけるク ラス１の基準 例えば、ISO3基準のミニエンにおいて、弊社のAPS（エアボーンパーティクルセンサ）を使う際のソフトウエア（ParticleView）設 定例を下に示します。 Virus 可視領域 ISO1 ISO2 ISO3 ISO4 ISO5 ISO6 ISO7 ISO8 ISO9 1立法メートル当たりのパーティクル数（ミクロン） 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm OK/NGの結果が色 （赤色はNG、緑色は OK）で示される 浮遊（沈まない） Prefilter Medium Filter 粗フィルタ 普通のフィルタ HEPAフィルタ ULPAフィルタ UULPAフィルタ HEPA ULPA UUPLA パーティクル 名称 コロイド イオン分子 Prefiltration 粗濾過法 マイクロ濾過法 ウルトラ濾過法 ナノ濾過法 逆浸透法 MF(Micro Filtration) UF(Ultra Filtration) NF(Nano Filtration) RO(Revearse Osmosis) 寸法の次元を具体的に説明すると、0.1ミクロンの粒子を野球のボールに例えると、300mmのウエハは 直径0.1μmの粒子 300mmのウエハ 3百万倍 立法メートル辺りの パーティクル数に設 定 円周：230mmなので直径約73mm 3百万倍 各BINにおけるISO3 の基準数を設定 注意：APSの流量は約0.2CFMであり、サンプルし たパーティクル数から立法辺りに計算した値とな ります。 219kmとなるので、北部九州 一帯と同じ位となります？ 計算が間違っているのでは ないかと疑う位、粒子とウエ ハではスケールの違う話な のです。 カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム60-APS
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