innovating measurement technology TM 電極 100度C FR FR リング形状 フィクスチャ CyberOptics Corporation 技術コラム No.156 摂氏100度の電極の上にダミーウエハの 乗せ、ＡＧＳをフォーカスリング上に載せ たリング形状フィクスチャの上に配置しき ます。 真空中にて、静電チャックとデチャックを 繰り返し、歪み量を測定します。 デチャック電圧の最適化 静電チャックがあるチャンバー内においてウエハが位置ズレを起こして、様々 なトラブルを発生するという現象をよく聞きます。その要因の１つに『デチャック 電圧が最適化されていないから』ということが挙げられます。もしかしたらそれ だけではないかも知れません。ウエハ位置ズレの要因を挙げると、 ●ウエハが反り変形を起こしている。 ●チャックする電極が反りやうねりなどの変形を起こしている。 ●リフトピンとの受け渡しの平行性が悪いので、ウエハのエッジが引っかかる、 またはタッチダウンする。 ●リフトピンの昇降などにおいて摩擦による異常振動が存在する。 ●デチャック電圧が十分でないため、ウエハ剥がし時に跳ね上がる。 ●電極上に異物が存在してウエハの姿勢が不安定になるから。 弊社のＡＧＳ（静電容量によるギャップ測定器）を使えば、もしかしたらウエハ 位置ズレの防止に役立つかも知れません。 ワイヤレス、ウエーハライク形状、クリーン材質 静電容量式測定 厚み 8.5mm （200mmタイプ）、7.5mm（300mmタイプ） 重さ 220g（200mmタイプ）、400g（300mmタイプ） 高精度, 高さ15mmにて25um (3 sigma) 測定レンジ：ＡＧＳウエーハ裏面から9mm から 20mmの11mm範囲 25umの精度なの？ AGS ウエーハ このレンジの、非 常に良い精度の 条件をうまく使い こなします。 はい。しかし距離 15mmの場合です。 静電容量式距離測 定は精度が距離に 反比例するので、距 離が近いほど精度 が上がります。 10mmでは、5umの 精度になります。 静電チャック 基準面 デチャック 静電チャック デチャック チャック＆デチャックで、ダミーウエハと電極の平面性と高 さを３点測定出来ます。 デチャックが行われているかどうかをリアルタイムにモニ ターし、その電圧値を最適化することが出来ます。 可能性あるメリット ● デチャック調整によりウエハの位置ズレ予防に役立てる ● ある程度の高温における静電チャックの平面性をチェックする カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：080-3974-0253 Email：[email protected] 5900 Golden Hills Drive, Minneapolis, Minnesota 55416, USA Phone: +1-763-542-5000 FAX: +1-763-542-5100 E-mail: [email protected] Web: www.Cyberoptics.com
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