レチクル形状マルチ AMSRQ

振動とレベル、そして湿度を１つのパッケ
ージに合体したマルチセンサーでスピーデ
ィな調整を実現
レベル
振動
湿度
ワイヤレス測定で装置の検証をスピーディに行える
ūū
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加速度＆レベル＆湿度のデータを表示してＬＯＧします。
ウエハが感じる湿度をモニターします。
ＡＭＳウエハとＭｕｌｔｉＶｉｅｗソフトにてリアルタイムに装置診断が可能。
リアルタイムなフィードバック調整を行い装置の校正とセットアップを迅速に行えます。
薄くて軽量、ウエハライクな形状なので装置のメンテナンス時間を短縮できます。
ūū より高温の環境に対応。
ūū 真空対応なのでチャンバーを大気解放する必要がありません。
装置メンテのコストを削減し、プロセスの均一性を客観的で再現性のあるデータで実現し
ます。
ūū 複数の客観的な測定を１つのウエハに合体させることで、装置調整する際の個人差をなくします。
ūū 予防メンテに効果のある調整を実現します。
ūū トラブルシューティングに役立ち、そのデータをパーツの寿命管理に役立てることが可能です。
世界中のデバイスメーカーやファウンドリーにて、AMSウエハ（最も効率よく効果
的な振動＆レベル＆湿度のワイヤレス測定デバイス）を使った高精度調整、可視化
の実現を行っています。
時間とコストを削減し、歩留まりをあげましょう！
AMSR
ReticleSense®
オートマルチセンサー™ (AMSR)
特徴*
ワイヤレス、ウエハライ
ク形状で充電式
６インチのレチクル形状
使いやすいソフトウエア
MultiView と MultiReview ソフトウエアが付属しています。
MultiView: リアルタイムの測定値を数値表示、ビジュアル表示して、より高精度な
調整を行えるものです。
MultiReview: 測定した値を再生するビューワーソフトです。
高精度なレベル測定
水平測定:　+/-0.03 度（測定レンジ +/- 7 度）
垂直測定:　+/-0.05度（測定レンジ +/-50 度）
分解能:　水平は +/-0.002度（測定レンジ +/-14 度）
垂直は +/-0.01度（測定レンジ +/- 50 度）
３方向の傾斜を測定しま
す。
Ｘ、Ｙと垂直方向
高精度な振動測定
３軸の加速度センサーを使って、ＸＹＺとRMSの表示をスピーディに行い、客観的な
測定を行います。
測定レンジ: +/- 2G
基準測定
基準値を設定することが可能で、装置の機差や個人差を減らす事が可能です。
湿度測定の精度
+/- 2% RH
湿度センサーの数
相対湿度測定（１点）
頑丈なハウジング
マスクメーカーとステッパーメーカーが用いている石英製レチクル
重量
310g
厚み
6.35mm; 標準の６インチフォーマット
耐気圧
<10e-6 から 760 トール
耐温度
20 から 80 度Ｃ（長時間）　短時間であれば130度に対応可能。
電池駆動
非接触充電（2時間にてフル充電）を採用。フル充電後4時間駆動。
USB受信機
Bluetooth, 2.4 GHz, USB 1.1, サイズ 92mm x 58mm x 28mm
駆動ＯＳ
Windows XP,7,8,10
構成物
AMSウエハ、充電クリーンボックス、キャリーケース、USB充電器をソフトウエア
校正
毎年の校正を推奨
*Preliminary specifications subject to change
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