技術コラム116-AGS リアルタイムな測定値を パソコンで読み取り、デー タ管理。 新しい方法 innovating measurement technology CyberOptics Semiconductor Inc. TM 技術コラム No.116 ワイヤレスのギャップ測定ウエハ AGS ユニーク形状を基準にしたギャップ調整 ALD（Atomic Layer Deposition）という成膜装置においては、プロセスチャンバー内のシャ ワーヘッドプレートが平面形状ではなく、ユニークな曲面形状で出来ている場合があります。 ALD装置のﾁｬﾝﾊﾞ ユニークな曲面の断面 ﾋｰﾀｰ ＰＭ時に開放 今までのレベル調整方法は、 ヒータのレベル出しでした。 ユニーク形状（広い面積）を基準とした ギャップ距離（平均値）を測定 ヒータ この方法のメリット ●誰でも簡単に真空中において、ユニーク形状を基 準としたギャップ測定を行うことが出来る。 ●非接触なので、電極を傷つけない。データベース の繰り返しテストなどを行えることが出来るので、再 現性のある調整を1回で行える。 ●数値データを使うことが出来る。 ﾋｰﾀｰ ヒータのレベルを確認し、ユニークな形状の存在を無視して 調整している。 大気中だけの測定となるので、後に真空中での確認が必要 であり、もしプロセス結果に不具合があれば、目隠し調整を行う。 カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム116-AGS
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