157 穴のあいたカメラウエハ

innovating measurement technology TM
使用例:ATS300CIに固定用ジグ515‐2607を取り付け、真空ロ
ボットに固定する。
CyberOptics Corporation 技術コラム No.157
穴のあいたカメラウエハ
AMAT社製Viista専用に設計されたカメラセンサーATS300CI(オプションI)と固
定用ジグ、そして使い方を紹介致します。
Viistaキットと使用するメリット
○今まで8時間かかっていたロボットティーチング作業が2時間に短縮。
○個人差がなくなり、誰でも調整できるようになりました。
ATS300CIの図面(2つの穴形状が付加されています)
固定ジグキット(ATS-T1で販売中)
この真空中で使える、2つの穴のあ
いたカメラセンサー(300mmサイズ
はATS300CI、200mmサイズは
ATS200CI)には、汎用性のある使い
方もあります。
アライナーが存在しない装置や、ア
ライナー(位置決め機能)を使えない
状況(粗ティーチング時など)におい
て、ロボットのブレードにピンで位置
決めして、高精度に個人差なく、短
時間にロボットティーチングを行うこ
とが出来ます。
カスタマーサポート
国内担当:林幸信
電話:080-3974-0253
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ATS200CIの図面
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