技術コラム75-AGS innovating measurement technology TM 2. 摩耗深度の測定. 50mmのオフセット CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.075 AGS200によるｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞﾀｰｹﾞｯﾄ形状（300mm)の判定 摩耗深度 摩耗したターゲット スパッタリングのターゲットは使用と共に形状（平面性）を損し、成膜の品質を損ねる現象が発生します。 ターゲット 摩耗したターゲット 40mmの ゲージブロック この摩耗深度を測定し てターゲットの良否判 定を行います。 電極 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ ターゲットの 摩耗後 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ 電極 電極 成膜の品質がターゲット形状の平面性に伴って悪 化する 以下にギャップセンサAGS200を使ってターゲットとの平行度を測定する方法図を示します。 半径１５０mm 半径約８０mm メリット ● 非接触測定なので、再現性の良い調整が可能 ● 真空にした状態での測定と調整が可能 ● 繰り返し確認が可能 １．平行性の測定 中央線 摩耗したターゲット （固定ネジを締める前後、電極を昇降、真空引き－大気、リッド開閉など） 10mm 50mm 40mmの ゲージブロック 真空引きやベントする際に位置が ずれないように固定すること。 ● 摩耗深度を測定することが可能。 （摩耗深度の大きさにより、ターゲットの摩耗度を管理） ● ターゲット摩耗深度と成膜品質との相関データを作成することが出来ま す。 電極 ターゲットには接触しないまま、広 い面積（φ75mm）での平均距離を バランス良く測定することが出来 ます。 半径１００mm 半径１５０mm カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム75-AGS
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