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技術コラム71-General
innovating measurement technology
CyberOptics Semiconductor Inc.
TM
技術コラム No.071
真空中で使える電池とは？
弊社のWaferSenseの全製品には、真空中で使えるリチウム2次電池を採用しています。この電池には
弊社社内にて培われた独自の技術が使われております。
真空中と大気中との間には気圧差が存在し、1cm当たり約1kgの力がかかっていると言われています。
例えば、下の図にあるリチウム2次電池を真空中に入れるとすると、電池内に存在する気体が大きな圧力
を外側方向へかける状態になります。
例えば50mm×35mm×5mmの密閉さ
れた電池ケースだと、真空中では内部
に存在する気体がケースを外側に
43.5kgの圧力で押し出します。
密封されているケースだと破損のおそ
れがあり、密閉されていないケースだと、
アウトガスが大量に電池外の空間に放
出されることとなります。
普通のﾘﾁｳﾑ２次電池を真空中で使うこ
とは危険です。
WaferSenseに搭載されているリチウム2次電池
左図はイメージ図
WaferSense中央に位置しているリチウム2次電
池は、丈夫なステンレス製ケースに完全密封さ
れ、真空－大気の差圧環境下における空気が
漏れないようになっています。
このステンレスケースには、100度以上の高温環
境を想定した防爆機能も備えております。
またすべてのWaferSense製品には、監
視用温度計が電池周辺に付いていて、
常にリアルタイムに温度をモニタリング
しています。
リアルタイムに電池周辺の温度を監視
※この温度は測定用補正値を温度別に切り替える用途
にも使われています。
まとめ
● 大気－
大気－真空では
真空では、
では、大きな差圧力
きな差圧力が
差圧力が存在している
存在している。
している。
● 差圧により
差圧により、
により、普通のﾘﾁｳﾑ
普通のﾘﾁｳﾑ２
のﾘﾁｳﾑ２次電池では
次電池では災害
では災害を
災害を招く可能性がある
可能性がある。
がある。
● WaferSense製品では
製品では、
では、真空中で
真空中で使える電池
える電池システムを
電池システムを採用
システムを採用。
採用。
● 防爆機能を
防爆機能を備えている
● リアルタイムに温度
リアルタイムに温度をモニタリング
温度をモニタリング出来
をモニタリング出来るようになっている
出来るようになっている。
るようになっている。
● 世界中のデバイスメーカ
世界中のデバイスメーカ、
のデバイスメーカ、装置メーカーに
装置メーカーにWaferSenseが採用されている
採用されている実績
されている実績を
実績を支えて
いる重要
いる重要な
重要な技術の
技術の一つです。
つです。
カスタマーサポート
国内担当：林幸信
電話：0803974-0253
Email：[email protected]
日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com
9130 SW Pioneer Court, Suite D
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