技術コラム24-ALS 真空チャンバーでの例 innovating measurement technology TM チャンバー内に ＡＬＳを配置 します。 真空に引いた状態 ウエハ出入り口 大気中 ウエハ出入り口 真空中 +Y +Y CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.024 -X 真空中におけるレベル測定 +X +Y 上図は理科の教科書に載っている有名なマグテブルグの実験の図です。２つの金属製の半球体を合わせ（濡らした動物の皮をパッキン として）、ポンプで空気を抜いた後に複数の馬で双方から引っ張りあっても球体を剥がすことは出来なかったということを、皇帝の前で公開 実験しました。 一般的に地表においては、真空と1気圧との間に生じる差圧の力は、1cm平方あたり1KGと言われているので、人間の頭（250cm2）に対 しては250kgの力が常にかかっています。 真空装置上面図 左上図は一般的な枚葉型真空プロセス装置の構造を示してい ます。その断面図を左下に示しています。チャンバーを支えてい る構造には片側から支える片持ちハリの構造になっているチャン バーが多い。 この片持ちハリ構造である装置にかかる差圧（いろんな角度か ら）は少なくとも数トンはあります。球体形状ではないヒータや電 極などで複雑に構成されたチャンバーなどには歪みが生じて、ペ デストルにおける傾斜変化が発生することがありえます。 チャンバー断面図 TMロボット 搬送系 電極システム このレベルは 上部から調整 しやすい。 これらの機械的歪みにより、 １．ロボットの受け渡し位置がズレル。 ２．電極との距離に平行性を保てない が発生し、結果としてウエハの品質が低下することがあります。 チャンバー架台 一般的にレベルを測定するには、垂直である重力線を使って液 体の表面レベルが水平になる水準器が使用されていますが、そ れを真空に入れると気泡は大きく膨張して破裂してしまうので真 空中では使えません。 ヒータ +X +Y ワイヤレスにて 測定した結果を右 に示します。数値 データは最大傾斜 角度と傾斜の方向 を示していて、下 の円形はしきい値 の0.05度、緑色は しきい値以内、赤 色はしきい値以外 であることを示して います。 ワイヤレスレベルセンサーのＡＬＳを使えば、真空中でのレ ベル出しが、誰でも、簡単に、個人差なく行うことが出来ま す。装置別に真空による歪みにバラツキがあっても、プロセ スと同じ圧力にてレベル調整を行えば装置間のバラツキも 減ります。 リアルタイムに フィードバック調 整 ある一部の ●メタル系ＣＶＤ装置 ●ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition)装置 などにおいては、この調整方式によってプロセスにおける、 より良い均一性（膜厚や抵抗値）を得ることが出来るという こともわかってきました。 またデータのＬＯＧが簡単に出来て、そのＬＯＧを再生する LevelReviewというソフトもあるので、より良い調整を行う為 の検証（比較や解析）もスムーズに行えます。 カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 真空中で使えるワイヤレス傾斜測定 -X 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム24-ALS
© Copyright 2024 ExpyDoc
