技術コラム110-Mapping innovating measurement technology TM 反射型センサの モデル名 CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.110 EX‐43Q EX‐43 マッピングセンサの性能比較 ワイドビーム レーザーの厚み 0.15mm 反射型マッピングセンサの性能を比較する場合、「反射率－検知されたウエハの厚み」というグラフを 用います。今回はそのグラフの説明をさせて頂きます。 感度 ＷＸ※の6倍 ＷＸ※の17倍 フープからの反射 により、 フォトディテクタが 受けるノイズ 多い 少ない マッピング動作の側面図と検知信号 移 動 ウエハーエッジ 0.05mm センサの内部では、 移動とウエハの存在に伴い、 フォトディテクタからアナログ 信号を得る。 電圧 電圧 時間[ms] [v] [v] Ａ／Ｄ変換 時間[ms] デジタル出力信号の幅で、 ウエハの厚みを定義し、 ロボット制御装置にてウエハ 有り／無しの判断を行う。 この電気信号に変換されたウエハの厚みが 反射率の変化（ウエハの厚み、コーティング種類など） に対して不安定だと、マッピング性能が低下し、 クロスエラーや未検出エラーが多発します。 その「反射率－ウエハの厚み」をグラフにして、 反射型マッピングセンサーの性能を比較します。 検知した電気的ウエハの厚み[mm] ※ＷＸとは1997年に発表されたHama Laboratories製のセンサ 反射型マッピングセンサ EX‐43（High－8）とEX‐43Q（デフォルト）の 感度は同等の状態 ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞのｱﾙｺﾞﾘｽﾞﾑが 許容する範囲 窒化酸化膜 ベアウエハ ｱﾙﾐ、金、Cu 反射率[%]（右に行くほど反射光が増加） EX‐43：反射率に対する厚みの変化量が大きいので、マッピングのアルゴリズ ムに対応するために、微妙な感度調整が必要。 EX‐43Q：反射率が低い窒化酸化膜から、高いアルミ膜までの広い反射率範 囲において厚みの変化量が少ないので、感度調整が簡単。 カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム110-Mapping
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