技術コラム144-Macro ダミーウエハ上の大小のターゲットから仮想原点を求め、カメラウエハの精度を求める理論 innovating measurement technology TM CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.144 カメラウエハの仮想ターゲットを使った精度確認 測定器の位置精度を確認することはとても大切です。今回は、カメラウエハ の原点が中央にあるかどうかを確認する方法を紹介します。ポリイミド製（低 アウトガス仕様）のシールを用います。 ﾍﾞｸﾄﾙX1 角度A ﾍﾞｸﾄﾙY1 ２． 中点を求める式： ダミーウエハのオリエンテーション角度を手で回して調整します。 角度180度（180度±0.1度）の 時の座標（X180,Y180) 角度0度（0度±0.1度） の時の座標（X0,Y0) ダミーウエハ ポリイミド製 シール 座標1＝(X1,Y1) 座標2＝(X2,Y2) １． オリエンテーション角度を求める式 （ダミーウエハの仮想原点を求める目的） ﾍﾞｸﾄﾙX1＝X2‐X1 ﾍﾞｸﾄﾙY1＝Y2‐Y1 距離A＝ﾍﾞｸﾄﾙX1&Y1の二乗平均平方根 角度A＝acos（ﾍﾞｸﾄﾙX1÷距離1） ※ﾍﾞｸﾄﾙY1にて象限の定義を条件文にて行います。 角度270度（270度±0.1度）の 時の座標（X270,Y270) 角度90度（90度±0.1度） の時の座標（X90,Y90) 中点X=（X0+X90+X180+X270)÷4、 中点Y=（Y0+Y90+Y180+Y270)÷4 座標(X0,Y0) ３． 仮想原点を求める式 0度の座標を基準として、仮想原点ベクトル（角度Bと距離B）を求める。 ﾍﾞｸﾄﾙX2=中点X－Xa、ﾍﾞｸﾄﾙY2=中点Y－Ya 距離B=ﾍﾞｸﾄﾙX2&Y2の二乗平均平方根 角度B 角度B＝acos（ﾍﾞｸﾄﾙX2÷距離2） 手で貼り付けます。 ※ﾍﾞｸﾄﾙY1にて象限の定義を条件文にて行います。 角度0度（0度±0.1度） の時の座標（X0,Y0) ﾍﾞｸﾄﾙY2 直径70mmの赤色シールの中央部に大小 の黒色ターゲットが配置されている。 丁寧に奥に突き当てます。 ﾍﾞｸﾄﾙX2 ４． 仮想原点からの座標 （カメラウエハ中心位置を確認する目的） 座標X4=X3+距離B×cos((角度B+角度C)) 座標Y4=Y3+距離B×sin((角度B+角度C)) 上段へ挿入 下段へ挿入 カメラウエハの視野から外れない程度 （±5mm位）にて、シールを貼ります。 仮想原点 座標(X4,Y4) 簡略に説明します。 １．大小ターゲットによる２つの座標からオリエンテーション角度 を定義します。 ２．０度、９０度、１８０度、２７０度のオリエンテーション角度を手 で調整して、その時の大ターゲットからの座標の中点を計算しま す。 ３．０度の座標を基準として、中点を求める。それが仮想原点。 座標(X3,Y3) キャリアカセット カメラウエハの精度確認の手順 １．カメラウエハとダミーウエハを挿入。 ２．測定マクロを立ち上げます。 ダミーウエハの仮想原点からカメラウエ ハ中央までのの距離を測定します。（右 にその理論式を説明します） 角度B 角度C ４．仮想原点からの座標を求める。 これによりカメラウエハの中心位置の精度を確認します。 この角度に なります！ ３．カメラウエハを回転させ、丁寧に奥に 突き当て、仮想原点からの座標が常に中 央にあることを確認します。 カメラウエハＡＴＳ ダミーウエハ中央（仮想原点）からカメラウエハ中 央までの座標を計算にて求める。 カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 5900 Golden Hills Drive Minneapolis, MN 55416, USA Phone: +1-743-542-5000 FAX: +1-763.542.5100 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム144-Macro
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