走査型プローブ顕微鏡(AFM, PFM etc)
試料台
＊ 試料の上部にカンチレバー(針)がセットされ、カンチレバーと試料間に作用する原子間力を
検出し、微小領域の表面形状や物性を測定します。
当研究室では、作製した薄膜の表面形状を確認したり、強誘電体評価システムと連動する
ことで、電圧を印加したときの試料の変化(圧電性)を観察しています。