クロスセクションポリシャー

クロスセクションポリシャー使用手順書
1
2
レバー
電源は常にON
研磨量調整つまみ
VENTボタンを押して、外気を導入する。
レバーをLからFへ切替えて、試料台ホルダーを解除
する。
試料室開閉口は数分後に自然に開く。
4
3
マスクを持ち上げる。
マスク
5
試料ホルダー（赤丸）を右にスライドして取り出
す。
6
試料台
バネ
締めねじ
試料台（7mm幅×11mm長×6mm高さ）
試料台ホルダー
締めねじを緩めて試料台をホルダーから外す
外した試料台とホルダー。試料はバネ力で挟むよ
うになっている。
1
7
8
研磨したい断面
1mm
研磨したい面が１ｍｍ程度試料台から出るよう
に試験片を試験台に接着して、ホルダーおよび
装置に装着する。
9
ビーム径
試験片
4
2
3
試料ホルダーを元の位置に固定し、マスクを下ろした後
に、試料台回転つまみ（１）、マスク角度調整つまみ（２）、
試料台左右位置調整つまみ（３）により試料の研磨位置
を調整する。
顕微鏡を見ながら試験片がマスク端から３目盛り程
度出るように研磨量調整つまみ（写真１）、マスク移
動つまみ４（写真８）で調整する（１目盛りは25mm）。
十字線の交点がビームの中心になる。
マスク
顕微鏡
試料
マスク端
（少し高くなっている）
顕微鏡の像（上下逆に見える！、マスク端と試
料の位置は同時にピントが合わない）
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マスク位置調整
つまみ
試料台
マスクは損傷するので使う位置を右端からマスク
位置調整つまみにより２目盛りづつ左側へ移動さ
せる（１目盛りは1ｍｍ移動、アルゴンビームの直
径は２ｍｍ）。
11
研磨位置の調整が完了したら開閉ドアを閉める。自動的に
真空装置が作動する。真空計ランプがLからHに点灯する
まで待つ。
真空計ランプ
レバーを下げながら正面のスタートボタンを押すと、ア
ルゴンビームが照射され、電圧計と電流計が表示され
る。電流計下のつまみで電圧を所望の大きさに設定
（最大6ｋV）したのちに、アルゴン調整つまみで最大電
流になるよう調整する（約120mA)。その後、最大電流
の80％程度まで落ちるようにアルゴンを調整する。
12
アルゴン調
整つまみ
レバー
13
１～３番ボタンにより加工時間と分を設定
して、Resetボタンにより決定する。
決定
時間
分

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