応用分野：材料分析及び評価技術分野：分析技術グラフェン伝導層を用いた絶縁物のオージェ電子分光分析シーズ保有機関：京都府中小企業技術センター発明者：鴨井督技術の概要絶縁物の材料微小部の組成分析及び数nmの最表面の測定手法グラフェンを絶縁物に転写・グラフェンを数mmサイズで任意の絶縁基板上に転写することで導電性を付与することが可能。オージェ電子分光分析によって絶縁物の極表面の観測が可能に・従来、困難であった酸化物材料等の絶縁物における微小部・極表面組成分析が可能。技術の特徴グラフェンを絶縁物に転写することでオージェ電子分光分析が可能オージェ電子分光分析は絶縁物の測定ができない・オージェ電子分光分析は物質の数nm程度の極表面組成を判定できる反面、分析試料に電子線を照射するため、絶縁物試料ではチャージアップの影響で、分析を行うことができない。導電性を与えるために・絶縁物観測のためには金属膜コート等により導電性の付与が必要になるが、膜厚数nm以下の導電膜を均一につける技術が必要であった。そこで、本シーズにおいては、導電性付加のために、１原子シート状物質であるグラフェンを用いた。グラフェンの特長・グラフェンは炭素原子のみで構成された厚さ0.3nm の１原子層材料であり、材料極表面の解析を補助する。・1原子シート構造であることから、絶縁物の表面に極薄の均一膜を形成することが可能。・柔軟性を有するため、曲面形状等へも展開できる。グラフェン層を透かして絶縁物最表面の情報を取得・絶縁性の高いセラミック基板に対して、明瞭な電子顕微鏡（SEM）像並びにオージェピークを観測。・セラミックの1粒子をターゲットにして観測が可能であることなど、微小部分析が可能。グラフェン膜 Si基板上へ転写されたグラフェン膜技術の活用例 Mg系セラミックのオージェ電子分光分析結果先端材料・電子顕微鏡技術への利用・他の電子顕微鏡技術への応用電子線マイクロアナライザ（EPMA）、エネルギー分散型Ｘ線分析（EDX）・電子顕微鏡・最先端材料の分析（薄膜材料、微細パターン解析） EDX EPMA ・電子線マイクロアナライザ技術開発の経緯絶縁物の簡易的測定法の確立を目指す従来のオージェ電子分光分析は、対象が導電性物質に限られていたため、絶縁物の最表面を簡易に観測できる方法の確立が望まれていた。そこで、京都府中小企業技術センターでは絶縁物に導電膜を付与する研究を行い、本シーズ技術を開発した。本シーズはオージェ電子分光分析のみならず、 EDXやEPMA等の電子顕微鏡技術にも応用が可能であることから、今後、様々な分野への応用が期待される。オージェ電子分光分析装置産官金による連携支援産官金・産業支援機関による共同研究、共同開発における体制構築、推進支援・研究開発資金獲得支援、販路探索等の事業化支援・官民連携による新たな製品の検査手法の試験研究支援及び共同開発・企業が抱える課題解決及び研究開発の援助・研究開発、事業化のための資金調達、融資支援・事業化、企業経営コンサルティング企業の方へ一言オージェ電子分光分析装置は材料の研究開発から品質管理に至るまで幅広い場面で利用されています。本シーズは今まで金属・半導体材料等の導電性材料に限定されていた測定対象を大きく広げるものです。今後、この技術をさらに発展させていくことで、皆様が抱える課題の解決に貢献していきたいと考えております。これまでに来所いただいたお客様はもとより、新しい企業の方々も積極的にご利用ください。特許の情報、その他 ■ 特許の情報又は知財権利化の構想・特許情報：現状は出願実績なし・今後の知財権利化の構想今後は本シーズ技術を進展させるための研究を継続し、これらの研究過程において顕著な成果が得られた場合には当該技術に関連する知的財産の権利化又はノウハウによる保護を検討する予定である。２．グラフェン：グラフェンは、炭素原子が蜂の巣状に結合したシート状物質である。グラファイトはグラフェンが複数積層し、カーボンナノチューブは単層あるいは多層のグラフェンを円筒状にしたものである。電子移動度が非常に高く、導電性材料として研究開発が進んでいる。単層グラフェンの作製技術が最近脚光を浴び、新しい半導体材料への応用などが期待されている。 ■ その他の情報グラフェンの構造用語解説１．オージェ電子分光分析：オージェ分析は、試料に電子線を照射し、発生するオージェ電子を分光することにより、試料極表面（数nm）における微小部の組成分析が可能な分析手法である。オージェ電子分光分析 ⇒ この資料についての問合わせ先：近畿経済産業局産学官連携推進室公益財団法人新産業創造研究機構 TEL TEL ０６－６９６６－６１６４０７８－３０６－６８０５