15.位相差板の入射角・方位角に対する Re・配向角の変化(実測) 測定ｸﾞﾗﾌ KOBRA-WR Excel RE ｿﾌﾄ(入射角依存性➩全方位特性) ポイント;RE ｿﾌﾄのﾒﾆｭｰ 2.入射角依存性の全方位特性を用い、次のように条件を設定して測定します。入射角 10 50 10 方位角 0 90 5 方位角基準遅相軸 R100nm、R150nm の位相差板の測定例それぞれの試料の Re および配向角の入射角・試料方位角に対する変化はｸﾞﾗﾌ 1∼4 のようになります。 Re の入射角・方位角に対する変化は、現象的な扱いのみで表現するならば、次のような式によってある程度の近似ができます。 R(θ,α)=α-(A×θ2+B×θ)×cos2α ここで、θは入射角、αは傾斜面内での試料の遅相軸方位、 A,B は係数一方、平行ニコル回転時の透過強度図形から定まる実質的な遅相軸方位をφとすると、φとαとの間には差が生じます。ｸﾞﾗﾌ 2,4 をみると、(φ-α)は複雑な変化を示し、単純な近似式で表すことは困難と言えます。 R100nm の測定結果ｸﾞﾗﾌ 1 125 120 115 Re (nm) 110 θ=10゜ θ=20゜ θ=30゜ θ=40゜ θ=50゜ 105 100 95 90 85 80 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 試料方位 α ( °) ｸﾞﾗﾌ 2 12 10 φ-α ( °) 8 θ=10゜ θ=20゜ θ=30゜ θ=40゜ θ=50゜ 6 4 2 0 0 10 20 30 40 50 -2 試料方位 α ( °) 60 70 80 90 R150nm の測定結果ｸﾞﾗﾌ 3 175 170 165 160 θ=10゜ θ=20゜ θ=30゜ θ=40゜ θ=50゜ Re (nm) 155 150 145 140 135 130 125 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 試料方位 ( °) ｸﾞﾗﾌ 4 7 6 5 φ-α ( °) 4 θ=10゜ θ=20゜ θ=30゜ θ=40゜ θ=50゜ 3 2 1 0 0 10 20 30 40 50 -1 試料方位 α ( °) 60 70 80 90