EMAX-Evolutionの使用方法簡易版精密分析室 2014/11/20 1 目次起動の前に- 起動-4 初期画面-5 検出する元素がわかっている場合-6 3 検出器の挿入-7 分析方法の選択-8 マッピング-9 マップデータの収集-10 マップ作成-11 定量結果の表示-13 分析条件の変更-１5 データの保存方法-17 マップ像の色変更12 マッピングライン系列の変更-14 分析結果を確認したいとき16 テンプレート一覧-18 終わり方-20 2 起動の前に目的のＳＥＭ像を出しておきＳＥＭのＷＤＺを15.0mmにする ENTERを押す観察してデッドタイムが低いときはＳＥＭのプローブ電流をhighにする目次に戻る 3 起動電源ＳＷを入れる EMAXevolutionを起動する新しいプロジェクトの作成でファデータの保存先を指定する C:\Users\Public\Documents\(研究室）\(個人名）目次に戻る 4 初期画面ディフォルトで炭素になっているので金に変更する目次に戻る 5 検出する元素がわかっている場合元素を選択して含めるをクリック目次に戻る 6 検出器の挿入検出器は１２時方向からここをクリック測定位置にする目次に戻る 7 分析方法を選択するアナライザポイント＆ＩＤラインスキャンマップ最適化目次に戻る 8 マッピングをするとき画像の取り込みを選択し開始をクリックすると画像が取り込まれる新しい視野を取り込むときはここをクリック目次に戻る 9 マップデータの収集開始でマッピングが始まる適当なところで停止目次に戻る 10 マップ作成必要な元素を選択目次に戻る 11 マップ像の色変更マップ像の大きさが変わる色を選択目次に戻る 12 マッピングライン系列の変更周期律表で選択した元素の詳細をクリックするライン系列を選ぶ目次に戻る 13 定量結果の表示アナライザポイント＆ＩＤラインスキャンマップ最適化目次に戻る 14 収集条件の変更マップ POINT ID アナライザラインスキャンプロセスタイム（１－６）は大きいほど分解能が高い標準は５デッドタイムは２０%位にする、上がらないときはＳＥＭのビームをHIGHにす目次に戻る 15 分析結果を確認したいときデータビューより目的の分析領域をクリックすると結果が表示される右クリックで編集でき、ファイル名に反映されるもし表示されないときは表示/データビューにチェックする目次に戻る 16 データの保存方法レポートテンプレートを表示させる分類から選択ＷＡＲＤファイルの見本が表示される目次に戻る 17 テンプレート一覧マップ分類マップ：１８種類タイトル Word Excel マップ像（１２枚） ● ● 電子線像＋マップ像（４枚） ● ● 電子線像＋マップ像（５枚） ● 電子線像＋マップ像（８枚） ● 電子線像＋マップ像（９枚） ● 電子線像＋スペクトル＋マップ像（４枚） ● 電子線像＋スペクトル＋マップ像（９枚） ● ● 電子線像＋レイヤー像＋マップ像（４枚） ● ● 電子線像＋レイヤー像＋マップ像（９枚） ● ● 相マップ（１２枚） ● ● 電子線像＋相マップ（４枚） ● ● 電子線像＋相マップ（５枚） ● 電子線像＋相マップ（８枚） ● 電子線像＋相マップ（９枚） ● ● 電子線像＋各相の情報＋相マップ（４枚） ● ● 電子線像＋各相の情報＋相マップ（９枚） ● ● 電子線像＋相イメージ＋相マップ（４枚） ● ● 電子線像＋相イメージ＋相マップ（９枚） ● ● 目次に戻る 18 テンプレート一覧分類スペクトル：６種類画像：２種類ラインスキャン：２種類定量：５種類その他：２種類タイトル Word Excel 電子線像＋スペクトル（１枚）縦 ● ● 電子線像＋スペクトル（３枚） ● ● 電子線像＋スペクトル（４枚） ● 電子線像＋スペクトル（６枚）縦 ● ● 電子線像＋スペクトル（９枚） ● ● 電子線像＋比較スペクトル ● ● 電子線像＋コメント ● ● 電子線像＋画像 ● ● 電子線像＋ラインスキャン（重ねて） ● ● 電子線像＋ラインスキャン（並べて） ● ● 電子線像＋スペクトル＋定量結果（概要）縦 ● ● 電子線像＋スペクトル＋定量結果（概要）横 ● ● 電子線像＋定量結果（複数） ● ● 電子線像＋比較スペクトル＋定量結果（複数） ● ● スペクトル＋定量結果（一覧詳細） ● ● Blank 横 ● ● Blank 縦 ● ● 目次に戻る 19 終わり方 1.プロジェクトを必ず保存する 2.検出器を戻すどちらかの方法で 3.ＳＥＭのＷＤを8mmに戻す 4.Windowsを終了したら電源ＳＷをOFF 目次に戻る 20 用語集エスケープピーク処理エスケープピークとは検出器に入射したＸ線がある定まった確率で1.74eVだけ低く検出されるピークです。正しい特性Ｘ線ピーク強度を求めるためには、エスケープピークを除いた後、本来のエネルギー位置（1.74eVエネルギーの高いところ)に加える必要があるピーク分離特性Ｘ線の重なりを分離する処理「オーバーラップファクタ法」と「リファレンススペクトル法」があるストイキオメトリ試料が酸化物や窒化物などの化合物である場合に設定します。ストイキオメトリで分析する元素と他の元素の化合比を「化学式の変更」から設定します。バックグラウンド減算正しい特性Ｘ線ピークの強度を求めるためには、バックグラウンドの成分の減算を「クレイマー法」を用いて行いますＺＡＦ補正計算スペクトル処理で求めた各元素の特性Ｘ線強度を補正計算して濃度を求める処理で、「スタンダード法」と「スタンダード・レス」法がありますデッドタイム検出器の不感時間、検出器に信号が入って処理する時間がかかるため数え落としが生じる。Ｘ線の計数率が高くなるとデッドドタイムが大きくなるコンタミネーション電子線を当てることによって鏡体中の炭化水素系の残量ガスが観察面に付着し汚れとなって見えるエミッション電流電子銃から放出される電子電流この一部が絞りを通ってプローブ電流になるガンマ補正画像信号の増幅器では、入力信号と出力信号は直線関係にある。これを曲線にすることで画像の明るい部分を抑えながら暗い部分を増幅したり、暗い部分を抑えながら明るい部分を増幅することができる。これをガンマ補正と言う。 21 コア・ロス電子試料の原子の内殻電子を励起させて、その原子特定のエネルギーを損失した状態ででてくる電子。コア・ロス電子を測定することにより、元素の種類、状態密度、原子間距離などの情報が得られる。 22