SU-8020の使用方法 - 法政大学 [HOSEI UNIVERSITY]

SU-8020電界放出型走査電子顕微鏡
使用方法
精密分析室
2014/11/20
目次
3 準備・始動
4
7 二次電子像の観察
11 画像の調整
試料の準備
挿入
11 反射電子像の観察
12 非点収差補正
14 試料交換の方法
15 観察の終了
17 フラッシングとメニューボタン変更
19 ＭＥＮＵ階層２
22
6 電子線の発生
21
13
10 STEM像の観察
画像の保存
16
装置の停止
18 ＭＥＮＵ階層１
停電時および装置完全停止
停電復帰後および装置立ち上げ時
23 試料室に空気を導入時の操作
終了
2
準備・始動
１. DISPLAY SWをONにして
装置を立ち上げる
２. SU-8000をクリック
３. パスワードは無く
リターンを押す
PC-SEMが起動
４. HV表示部をクリックしてHV設定
メニューを表示させる
５. フラッシングをするよう表示されたら、フラッシング
強度が２であることを確認して実行する
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3
試料の準備挿入
１試料を準備し必要に応じて金をコーティングする
など導電化処理をする
２試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう
調整して、ローレットがきってあるネジで固定する
Standard
３
オペレーションパネル/ステージで試料サイズを
2inchesで試料の横幅を設定する
試料高さはStandardを選択
４
加速電圧がOFFであることを確認する
原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する
Ｚは８mmも確認
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4
５
AIRを押し試料交換室が大気になるとブザー
が鳴る
６
試料交換室を手前に引き、試料交換室
を押さえながら交換棒を押し出す
UNLOCK にした交換棒の先端に試料ホル
ダーをセットし、交換棒をLOCK
にして試料ホルダーを
セットする
７交換室を押さえながら交換棒を引き、
10 交換棒をUNLOCKにし、カチッと音がするまで引く
交換棒がカチッと音が
するまで引く
11 CLOSEボタンを押すと
ブザー音が鳴る
８
交換室を押し、EVACボタンを押して真空が
上がるとブザーが鳴る
９
OPENボタンを押して試料交換室のガラス
窓から覗き、ゆっくり交換棒を押してＸｃ
ランプがつくまで押し込んで試料をセット
する
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5
電子線の発生
１．ステージで試料サイズ・高さを入力する
２．基本/電子光学系条件
プローブ電流 Norm
ＥＤＳで感度が弱いときは
Highにする
ＷＤ 8.0mm
検出器 SE
３．加速電圧をON 通常は15kV
試料は時計方向に９０°回転して観察される
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6
二次電子像の観察
クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブ
スキャンスピード
スキャンの開始・停止
アパーチャーアライメント
オートフォーカス
ダイレクトセーブ
オート画像調整
オートブライトコントロール
低倍
キャプチャーボタン
右のアルファベットがスピード
高倍切り替え
イメージシフト
明るさ
コントラスト
Coarse
倍率
Fine
非点補正・軸調整
フォーカス
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7
反射電子像の観察
１．ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入
するこの際Ｚは必ず７mm以上にする
２．ステージタブのBSEがオレンジに
なっていることを確認する
３．ステージタブの信号選択でPDBSEを選択する
４．詳細設定から検出器の設定をする
５．素子の組み合わせで３つの
構成が選べる
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8
６．信号処理調整する
７．終わったらハンドルを右回りにまわして
検出器をもどしておく
８．Ｚを８にして、
信号選択をSED２次電子にもどす
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9
ＳＴＥＭ像（明視野、暗視野）の観察
１．試料をホルダーにセットして
通常の方法で試料室にセット
する
明視野用
暗視野用
２．加速電圧は２０～３０ｋＶで使用する
信号選択はＴＥにする
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10
画像の調整
１．フォーカスを変化して像が動くときは
アライメント（ビーム、アパーチャ）調整
を押してＸ、Ｙを調整して像の動きを止める
スティグマ
倍率
明るさ
コントラスト
フォーカス
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11
非点収差補正
AUTO(STIGM)自動で非点補正をする
非点収差がない場合フォーカスで均一にぼやける
アンダーフォーカス
最良点
オーバーフォーカス
非点収差がある場合フォーカスで不均一にぼやける
STIGMA/ALIGNMENT X Y
注：非点補正をするときはフォーカス
をあわせながら調整する
ぼけの方向が違ってくる
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12
信号による特質
信号電子
SE
性質
場面
信号量が多く、検出効率も高い
チャージアップしない試料の一般観察
最表面で発生し高分解能
試料最表面の超高分解能形態観察に有利
エッジコントラストが強い
電位コントラストが得られる
チャージアップの影響を受けやすい
LA-BSE
信号量は少ない
チャージアップする試料の一般観察
組成情報と形状情報が混在
組成情報の強調
内部情報が得られる
エッジコントラストの低減
エッジコントラストが弱い
適用可能分野が比較的広い
チャージアップの影響が小さい
HA-BSE
信号量は少ない
組成コントラストの強調
組成情報多く、形状情報は少ない
内部情報の観察
内部情報が得られる
材料によっては、信号の発生率が極めて小
エッジコントラストが弱い
さい
チャージアップの影響が小さい
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13
画像の保存
クイックセーブのときはファイル/クイックセーブ
から保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を
自動でつけて保存してくれる
１．スキャンスピードSlowで画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影
２．画像リスト内の必要な画像を
選択（黄色の枠内）し、
保存ボタンを押す
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14
試料交換の方法
１．加速電圧をOFF
２．試料位置を原点に戻す
３．OPENボタンを押しブザー音がなる
４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる
までの挿入する
６．CLOSEボタンを押しブザー
が鳴ったらAIRボタンを押して、
ブザーが鳴るまで待つ
５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら
交換棒をストッパーがかかるまで引く
７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す
交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す
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15
観察の終了
１．加速電圧をOFF
２．試料位置を原点に戻す
３．OPENボタンを押しブザー音がなる
４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる
までの挿入する
５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら
交換棒をストッパーがかかるまで引く
６．CLOSEボタンを押しブザー
が鳴ったらAIRボタンを押して、
ブザーが鳴るまで待つ
７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す
交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す
８．交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けてEVACを押す
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16
装置の停止
１．交換室パネルのＥＶＡＣが点灯していることを
確認する
２．PC-SEMとWindowsを終了する
３．コンソール右のDISPLAYスイッチをOFFにする
チラーの電源と連動しているので、忘れない
ように
ＯＦＦ
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17
フラッシングとメニューボタンの変更
フラッシングをするときは
ここをクリック
をクリックすると
ボタンが変更
できる
２を確認
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18
Ｍｅｎｕ階層１
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19
Ｍｅｎｕ階層２
20
長いほどチャージしやすい
21
停電時および装置完全停止時の操作
１．日常停止操作を行う
２．排気系操作パネルの
EVAC POWERスイッチをOFFにする
３．対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ３５分後に停止する
排気系操作パネルの表示部にPOFFが表示されれば停止完了です
４．排気系操作パネルのイオンポンプの電源
スイッチ(IP 1—3)をOFFにする
ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、
IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE
の各ブレーカーをOFFにした後、
MAINブレーカーをOFFにする
５．配電盤のブレーカーを
OFFにする
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22
停電復帰後および装置立ち上げ時
１．配電盤の電源ブレーカーを投入する。
冷却水を流し（本体背面の流量
メーターが1.0～1.5L/minであることを確認
２．ディスプレイ背面の電源ブレーカーの
MAINブレーカーをONにする
停電で停止した場合、ブレーカーがOFFに
なっていない場合はいったんすべての
ブレーカーをOFFにしてから電源を投入して下さい
３．IP,EVAC,DISPLAYの各ブレーカーをONにする。(OUTER BAKEは通常はOFF)
４．排気系操作パネルのSTAGE POWER,EVAC POWER,イオンポンプ電源SW(IP 1---3)
をONにするリセットＳＷのランプが点灯しないときはリセットＳＷを押す
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23
試料室に空気を導入時の操作
１．電子銃高圧をOFFにする
２．対物レンズ可動絞りの加熱を
OFFにして３０分まつ
３．ＳＣＡＩＲスイッチを３秒間押す。スイッチのランプが点滅状態になり、
空気導入シーケンスがスタートする。
試料室の排気
４．排気系操作パネルのＳＣＥＶＡＣを押す、スイッチが点滅を始め
試料室排気シーケンスがスタートする。３０分程度で排気完了
するが、高圧印可まで１時間以上まつ。
５．ＳＣＥＶＣスイッチが点灯してから３０分経過後、対物レンズ可動絞り
加熱スイッチをＤＥＧＡＳにして加熱を始める。
約１時間後ＡＵＴＯにする
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24

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