簡易型アクチュエータ SIMPLE ACTUATOR 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］・圧電素子に予圧をかけてヒンジ機構に組み込んだアクチュエータです。・Actuator with piezo-electric element integrated in the hinge mechanism by preloading. ・Threaded holes are prepared on the ﬁxing and traveling surfaces for ease of installation. ・The standard cable length is 2 m and the cable end is a lead wire (discrete wire). Upon request, we can also provide longer cable length and BNC connectors. ・固定面と移動面にネジ穴を設け簡単に取り付けできます。・ケーブル長は標準2m、ケーブル端はリード線（バラ線）です。ご要望に応じ、ケーブル長延長やBNCコネクタなどにも対応します。 22 15 20 24 14 18 20 26 24 26 32 61 55 61 35 Fine adjustment in nanometers ・固着や滑り（スティックスリップ）の無いスムーズな動作 Utilization of piezo-electric element in experiments and research & development Smooth operations with no anchoring or slippage (stick slip) PE1H-016U PE1H-032U PE1H-038U ストローク（オープンループ）Travel range (Open loop) 14μm 16μm 32μm 38μm 発生力 Generated force 900N 3500N 1000N 4200N 共振周波数（at 0g）Resonant frequency 2500Hz 本体材質（表面処理）Body material アルミ（B） Aluminum 1800Hz 3500Hz 1800Hz アルミ（B）アルミ（B）アルミ（B） Aluminum Aluminum Aluminum ［表面処理：（B）黒アルマイト処理変位量 (μm) 1 回目 2 回目以降クリープ現象最小変位量 0 0 定格電圧ヒステリシス 58 電圧（V） 0 10 クリープ 20 時間（分） 36 28 20 10 36 13 28 34 6 6 18 10 ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage. 型番 Model No. ストローク（オープンループ）Travel range (Open loop) 発生力 Generated force 共振周波数（at 0g）Resonant frequency 本体材質（表面処理）Body material PE1L-100U PE1L-300U 100μm 300μm 50N 60N 450Hz 250Hz 鋼（N）鋼（N） Steel Steel ［表面処理：（N）無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（N）Electroless nickel plating ］ 59 ドライバステップ電圧入力 Low-noise driver for driving a simple actuator. There are 3 types and each corresponds to certain output current magnitude. For details of the driver, please refer to Page 70. Resin Sealed PIEZO DRIVER 圧電履歴（圧電ドリフト） 10 Piezo Driver for driving In open loop operations, hysteresis and creeping occur. 30 70 20 簡易アクチュエータを駆動するための低ノイズドライバです。出力電流の大きさにより3タイプ用意しています。ドライバの詳細はP70をご覧ください。 Resin Sealed 30 コントローラオープンループ動作となるため、ヒステリシスやクリープが生じます。 Hysteresis and creeping 5 40 50 CONTROLLER 駆動用ピエゾドライバ 2-M3 Depth 6 2-M3 Depth 6 5 ヒステリシスとクリープ 6-φ3.5 Holes, φ6.5C'bored Depth 3.5 PE1L-300U 20 Several times longer stroke than that of single piezo-electric element. As it is horizontally mounted and displaced in the perpendicular directions, integration with thinner wall is possible. 4-φ3.5 Holes, φ6.5C'bored Depth 3.5 10 A type focusing on response and generative force. Stable operations are endured even under high load. PE1L-100U IMPACT ACTUATOR 圧電素子単体の数倍のストロークを備えています。横置きで垂直方向に変位するため厚さを抑えた組み込みが可能です。インパクトアクチュエータ応答性と発生力を重視したタイプです。高負荷でも安定した動作が行えます。 30 変位拡大機構［Displacement magniﬁcation mechanism］ SIMPLE ACTUATOR 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］・ケーブル長は標準2m、ケーブル端はリード線（バラ線）です。ご要望に応じ、ケーブル長延長やBNCコネクタなどにも対応します。簡易型アクチュエータ Direct-drive type and Displacement magniﬁcation mechanism type ・An actuator with a long travel range realized by its displacement magniﬁcation mechanism. ・Elastic hinge guide does not cause friction and backlash and is suitable for scanning and ﬁne operations. ・The standard cable length is 2 m and the cable end is a lead wire (discrete wire). Upon request, we can also provide longer cable length and BNC connectors. 13 直接駆動タイプと変位拡大機構タイプ・弾性ヒンジガイドのため摩擦やバックラッシュが無く、スキャニングや微細な動作に適しています。超精密加工機用・変位拡大機構により長ストロークが得られるアクチュエータです。 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 変位拡大機構［Displacement magniﬁcation mechanism］特徴 Features 最大変位量 Surface treatment :（B）Black alumite］ OBJECTIVE LENS FOCUSING ・実験や研究開発における圧電素子の利用 PE1H-014U 型番 Model No. 対物レンズフォーカス用 Integration of piezo-electric actuator into a device 変位量 (μm) 6 6 12 12 6 6 6 6 6 12 12 41 41 ・ナノメートル単位の微調動作 ROTARY AND TILT STAGE ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage. 回転・チルトステージ 6 55 32 35 Simple Actuator is an actuator with the piezo-electric element integrated in its elastic hinge mechanism. Tapped holes help ﬁxing and removal while the travel guide helps achieving highly linear movement. No built-in displacement sensor. 用途 Examples of applications 30 22 15 22 15 30 22 15 30 14 18 APERTURE SHAPE STAGE 変位センサは内蔵しておりません。開口付きステージ『簡易型アクチュエータ』は、圧電素子を弾性ヒンジ機構に組み込んだ構造のアクチュエータです。タップ穴付きで固定や取り外しが簡単に行え、移動ガイドを備えているため真直性の高い動きが得られます。 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 2-M3 Depth 5 PE1H-038U 30 2-M3 Depth 5 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 2-M3 Depth 5 PE1H-032U 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 2-M3 Depth 5 標準直動ステージ PE1H-016U 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 STANDARD LINEAR STAGE PE1H-014U ・圧電アクチュエータの機器組み込みピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PE ［ピエゾステージ For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。