研究課題中間評価調書平成 20 年度 □ 当初予算 □ 補正予算機関名産業技術総合研究センター課題コード課題名 ( 月) H180906 記入日平成 20 事業年度 H18 年度～ H22 年 8 月 21 日年度高速・高精度アクチュエータの開発機関長名中西大和担当(班)名高度技術研究所ナノメカニカル技術開発Gr 連絡先 018-866-5800 担当者名森英季政策コード H 政策名産業の技術力･競争力の源となる科学技術基盤の形成施策コード 1 施策名科学技術を支える産･学･官それぞれの機能強化施策目標名(評価指標) 年間特許出願件数目標コード 1 重点（事項名）精密加工・ナノテクノロジー基盤種別研究 ○ 開発 ○ 試験調査その他県単 ○ 国補 ○ 共同 ○ 受託その他評価対象課題の内容１．研究の概要磁気記録や光記録の高密度化、半導体の微細線化等に伴い、0.1ナノメートルの超精密位置決め技術が求められている。圧電素子を応用したナノモーションアクチュエータは、県内企業が磁気記録検査装置用に実用化しているが、今後更に厳しくなる性能要求に対し、市場ニーズを先取りした研究開発を継続する。また、この技術をベースに半導体及び液晶関連の製造・検査装置に向けて、500μm角のX-Y平面内の位置決めを行うナノモーションステージを新たに研究開発する。将来的には1000μm以上という大きな変位量も半導体や液晶関連の製造検査分野で要求されており、高速で高精度な電磁力を応用したリニアアクチュエータの研究開発も平行して継続する。２．課題設定の背景（問題の所在、市場・ニーズの状況等）ハードディスク装置（ＨＤＤ）用磁気ヘッドの検査装置は、現在9万台以上が工場内で稼働していると推定され、ＨＤＤの需要拡大に伴って更に増加することが必要になるものと予想されている。現在、県内企業により商品化されたナノモーションアクチュエータの価格は約6万円で、この検査装置への占有率を50%と仮定してもアクチュエータ単体で30億円近い市場が現存している。また更に高記録密度化に伴ったアクチュエータの新規需要と市場規模の拡大が予想されている。一方、半導体や液晶産業を支える製造検査装置分野では、パターンの微細化に伴ったアクチュエータが要求されており、HDD向け以上の市場規模が期待される。本研究では、”高速と高精度”を位置決め技術の課題とした県内産業の育成を図る。３．課題設定時の最終到達目標 ①研究の最終到達目標 ① Nano-motion Actuator の開発共振周波数: 5kHzを維持しながら、30μm，50μm，100μm，300μm，500μmと動作範囲を広げ、3σにて0.1nm以下の位置決め精度をコントローラを含めたシステムとしての実現。半導体や液晶関連分野の検査や製造時の微動調整用アクチュエータとして2D型の高速・高精度ステージの研究開発。 ② Linear Actuator の開発 100μmストロークステージの開発を継続し、最大速度: 100μm/s で位置決め精度0.1nm以下の静圧空気軸受けとVCMを基本とするリニアモータの研究開発を行う。またこの技術を2D型に発展させた平面駆動型モータを開発し、10μm角以上のＸ－Ｙ平面内を高速に走査し、高精度な位置決め技術の確立を目指す。 ②研究成果の受益対象（対象者数を含む）及び受益者への貢献度アクチュエータのシステム化で不可欠な駆動アンプや制御回路は、県内企業が連携して実用化を進めており、今後、統一ブランドでシステム受注できる環境を育成するため、幹事会社を中核とする県内企業間の連携を強化し、事業化を図ることが県内産業への貢献となるものと考える。４．全体計画及び財源実施内容 Nano-motion Actuator Linear Actuator 計画予算額(千円) 当初予算額(千円) 一般財源財源国費内訳その他（全体計画において到達目標計画実績） 18 19 20 21 22 年度年度年度年度年度 ① 最大変位30,50m仕様の開発 ② 最大変位60m仕様の開発 ③ 最大変位300m仕様の開発 ④ 最大変位 500m仕様の開発 ⑤ X-Y平面駆動型の開発 ⑥ NMAの耐久性及び信頼性試験 ① 100μmストロークステージの開発(継続)と応用化 ② 弾性支持機構を組み合わせた円筒型VCMの開発 ③ VCM型X-Y平面モータの開発 ④ 高速・高分解能型荷重センサーの開発 (最終年度) 年度合計 16,920 18,050 18,050 19,750 21,600 94,370 4,530 6,374 5,679 16,583 4,530 6,374 5,679 16,583 (標準様式～裏) 観点１． A ーニズの状況変化２．効果 B C D ＜内部評価委員＞ 500μm角のX-Y平面内の位置決めを行うナノモーションステージという新たなニーズが発生しており、ニーズに対応した研究開発が必要である。＜外部評価委員＞・記録メディア、半導体超精密位置決め技術へのニーズは多くの分野で拡大している。Ａ．ニーズの増大とともに研究目的の意義も高まっているＣ．ニーズの低下とともに研究目的の意義も低くなってきているＢ．ニーズに大きな変動はないＤ．ニーズがほとんどなく、研究目的の意義がほとんどなくっている A B C D ＜内部評価委員＞県内企業へ技術移転がはかられ、県内企業が製造販売を行っており、研究開発の効果は大きいといえる。今後、半導体関連業種への適用など、新たな展開を目指すべきである。＜外部評価委員＞・県内企業への技術移転の成果が拡大していることは好ましい。システムとしての開発を進展させ付加価値を上げることが期待される。・競争が激しい分野なので開発のスピードアップが必要。Ａ．大きな効果が期待されるＢ．効果が期待される３． A B Ｃ．小さいな効果が期待されるＤ．効果はほとんど見込めない C D ＜内部評価委員＞問題は無いといえる。進＜外部評価委員＞捗・計画通りではあるが、もっと開発ペースをあげるべき。状況Ａ．計画以上に進んでいるＢ．計画通りに進んでいる４．目標達成阻害要因の状況 A B Ｃ．計画より遅れているＤ．計画より大幅に遅れている C D ＜内部評価委員＞無し＜外部評価委員＞・開発加速のために、産学官連携の枠を広げることが望ましい。・各種メモリーの価格、容量がテーマ設定時と変わっている可能性があり、達成ハードルの適正度合に注意が必要。Ａ．目標達成を阻害する要因がほとんどないＢ．目標達成を阻害する要因が少しあるＣ．目標達成を阻害する要因があるＤ．目標達成を阻害する要因が大いにあるＡ当初計画以上の成果が期待できるＢ当初計画どおりの成果が期待できるＣさらなる努力が必要であるＤ継続する意義は低い評価を踏まえた研究計画等への対応産学官連携を維持発展させながら、半導体や液晶関連の製造検査装置に要求される新たなニーズに対応している。生産性に直結する高速化を踏まえたサブナノメートルレベルの位置決め技術は未踏領域であり、この領域の技術開発を先行することで、新たな事業展開を図ることが可能となる。総合評価（参考）過去の評価結果事前Ｂ中間（19年度） B 中間（年度）中間（年度）中間（年度）中間（年度）