ピエゾステージ PIEZO STAGE INDEX ステージ Stage PS 標準直動 ステージ ・ ・ ・ P12~ PK 開口付き ステージ ・ ・ ・ P24~ PT 回転・チルト ステージ ・ ・ ・ P34~ PF 対物レンズ フォーカス用 ・ ・ ・ P42~ PU 超精密加工機用 ・ ・ ・ P52~ PE 簡易型 アクチュエータ ・ ・ ・ P58~ PP インパクト アクチュエータ ・ ・ ・ P60~ STANDARD LINEAR STAGE APERTURE SHAPE STAGE ROTARY AND TILT STAGE OBJECTIVE LENS FOCUSING STAGE FOR ULTRA-PRECISION MACHINERY SIMPLE ACTUATOR IMPACT ACTUATOR コントローラ Controller NC 単軸専用／ 多軸拡張用 ・ ・ ・ P64~ ピエゾドライバ ・ ・ ・ P70~ SINGLE-AXIS / MULTIPLE-AXES ドライバ Driver PH 8 PIEZO DRIVER 9 ピエゾステージ 応用例 PS 標準直動ステージ Application examples of PIEZO STAGE P12~ STANDARD LINEAR STAGE 干渉計のミラー調整 光ファイバの光軸調整 Mirror alignment of interferometer Optical axis adjustments for optical fiber 微小デバイスの疲労テスト PK 開口付きステージ 透過光学素子のアライメント Fatigue tester of microdevice P24~ APERTURE SHAPE STAGE CCDの画素ずらし （ピクセルシフト） Transmissive optics alignment Pixcel shift of CCD HDDテスタ 表面層への微細切り込み HDD tester Fine cutting to surface layer 摩擦摩耗試験 プローブ顕微鏡 Frictional wear tester 露光装置の 基板アライメント SPM, AFM Photomask substrate alignment of exposure equipment PT 回転・チルトステージ P34~ ROTARY AND TILT STAGE ミラーあおり調整 ナノインプリントなどの 高精度面合わせ Tilt adjustment of mirror PF 対物レンズフォーカス用 P42~ OBJECTIVE LENS FOCUSING 高速フォーカス 画像処理装置応用 High-speed focusing Image processors application Precision parallel mating for nanoimprint PU 超精密加工機用ステージ ダイヤモンド バイト精密送り（平削） Diamond bit precise feeding for planing 10 P52~ FOR ULTRAPRECISE MACHINING ダイヤモンド バイト送り（旋削） Diamond bit precise feeding for lathe turning PP インパクトアクチュエータ 組立部品の仮締状態での微調整 Fine adjustment of temporary tightened assembly P60~ IMPACT ACTUATOR 回転するワークの 芯出し調整 Centering of rotating work 11 用途 Examples of applications 標準直動ステージ STANDARD LINEAR STAGE X軸 AXIS／ XY軸 AXES／ Z軸 AXIS／ XYZ軸 AXES ・HDDテスタ HDD Tester ・分析機器 Analytical Instruments ・レーザ光学系アライメント Laser optic alignment ・ナノメータポジショニング Nanometer positioning ラインナップ Lineup 形状 Shape 機構 Mechanism 直接駆動機構 Direct-drive mechanism 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 高剛性 移動テーブル Built-in displacement sensor 高速応答性 内蔵変位センサ 高分解能 Moving table High resolution High repeatability 軸 Axis Piezo-electric element Piezo-electric element 形状 Shape 機構 Mechanism 直接駆動機構 Direct-drive mechanism ●圧電素子の伸長を機械的に増幅する 変位拡大機構を介した構造を備えています。 XY軸 Axes 変位拡大機構 Several times to several dozens of times longer stroke than direct-drive type can be achieved by adjusting the magnification ratio. High rigidity that allows for stable positioning even under high load. 軸 Axis 形状 Shape 機構 Mechanism 直接駆動機構 Feedback control by the built-in displacement sensor for high positioning reproducibility. Direct-drive mechanism Z軸 Axis 機構による特性の違い Differences of characteristics of the mechanisms （指令値） 直接駆動機構 直接駆動機構 直接駆動機構 Direct-drive Direct-drive 変位拡大機構 Magnification 2000Hz 3800Hz 1600Hz 3400Hz 420Hz 1300Hz 480Hz 280Hz 120Hz 分解能 共振周波数 （0g時） 1nm 1nm 1nm 1nm 2nm 2nm 2nm 2nm 5nm 10nm 3500 Hz 2600 Hz 1600 Hz 1200 Hz 570 Hz 300 Hz 380 Hz 270 Hz 190 Hz 180 Hz 分解能 共振周波数 （0g時） 1/1/1nm 1/1/1nm 2/2/1nm 2/2/2nm 970 Hz 740 Hz 400 Hz 250 Hz ストローク Travel range 6μm 12μm 12μm 30μm 60μm 100μm 100μm 100μm 150μm 300μm Resolution Resonant frequency 掲載頁 PS2H60-012U PS2H95-012U PS2H60-030U PS2H110-030U PS2L50-050U PS2L92-050U PS2L100-080U PS2L50-100U PS2L60-250U P18∼ 型番 掲載頁 Model No. PSVH35-006U PSVH45-012U PSVH60F-012U PSVH80F-030U PSVL45-060U PSVL45F-100U PSVL60-100U PSVL60F-100U PSVL60F-150U PSVL80F-300U Page Page P20∼ Resolution 変位拡大機構 Magnification ［μm］ 繰り返し再現性 Repeatability 耐荷重 Load capacity Generative force 印加電圧 ［V］Applied voltage 時間［msec］Time 印加電圧におけるストローク量は数倍∼ 十数倍違います。 機械的共振周波数の違いが、 位置決め完了 時間に影響します。 フィードバック制御によりどちらも高い位置決め精度を 備えています。 The travel range of magnification mechanism under the same applied voltage is several times to over ten times longer than that of direct-drive mechanism. The difference in mechanical resonance frequency affects the positioning completion time. Thanks to the feedback control, both mechanisms have high positioning accuracy. 軸 Axis XYZ軸 Axes 形状 Shape 機構 Mechanism 直接駆動機構 Direct-drive mechanism 変位拡大機構 Displacement magnification mechanism ストローク Travel range 20/20/12μm 30/30/30μm 80/80/20μm 100/100/100μm Resolution Resonant frequency 型番 Model No. PS3H70-020UA PS3H120-030U PS3L100-080UB PS3L68-100U 掲載頁 Page P22∼ PIEZO DRIVER 1/1nm 1/1nm 1/1nm 1/1nm 2/2nm 2/2nm 2/2nm 2/2nm 10/10nm 型番 Model No. 分解能 発生力 12 12/12μm 12/12μm 30/30μm 30/30μm 50/50μm 50/50μm 80/80μm 100/100μm 250/250μm Resonant frequency 注）1. ストローク量を表す棒線の長さは選定のための目安です。Length of the bar lines that represent the travel range is only for reference for selection. 2. XY軸,XYZ軸における棒線は、最大ストローク軸を表記しています。Bar lines for XY and XYZ axes represent the maximum travel range axis. 3．形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective pages. 13 ドライバ Direct-drive Step response Travel range Magnification ステップ応答量 ストローク ［μm］ 変位拡大機構 Displacement magnification mechanism その他 Others 共振周波数 （0g時） コントローラ 応答性 Step response 分解能 CONTROLLER ストローク Travel range 変位拡大機構 Resolution IMPACT ACTUATOR ●内蔵変位センサによるフィードバック制御で、 高い再現性で位置決めが行えます。 Travel range インパクト アクチュエータ ●剛性が高く、負荷が大きくても 安定した位置決めができます。 ストローク SIMPLE ACTUATOR Displacement magnification mechanism ●拡大率により、直接駆動の数倍∼十数倍の ストロークが達成できます。 Excellent resolution and response is obtainable by means of short in travel range. P14∼ 簡易型 アクチュエータ Structure with a displacement magnification mechanism to mechanically magnify the elongation of piezo-electric element. ●ストロークを抑えることで分解能、 応答性に優れています。 Page 超精密加工機用 圧電素子 Piezo-electric element directly moves the table. PS1H25-006U PS1H35-006U PS1H45-012U PS1H60F-012U PS1H40F-020U PS1H60-020U PS1H80-030U PS1H80F-030U PS1L45-030U PS1L40-050U PS1L60-060U PS1L40-100U PS1L65-250U PS1L66-500U PS1L80-700U 掲載頁 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 圧電素子 ●圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 13000Hz 9700Hz 6200Hz 4100Hz 4100Hz 3300Hz 1900Hz 1900Hz 1500Hz 970Hz 1300Hz 510Hz 360Hz 200Hz 106Hz 型番 Model No. 高再現性 Built-in displacement sensor High-speed response Displacement magnification mechanism 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 2nm 2nm 2nm 10nm 20nm 30nm Resonant frequency OBJECTIVE LENS FOCUSING 超高分解能 Ultra-high resolution 内蔵変位センサ 変位拡大機構 Long stroke 共振周波数 （0g時） 対物レンズ フォーカス用 Moving table Axis 長ストローク High rigidity 移動テーブル X軸 6μm 6μm 12μm 12μm 20μm 20μm 30μm 30μm 30μm 50μm 60μm 100μm 250μm 500μm 700μm 分解能 Resolution ROTARY AND TILT STAGE 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ Travel range 回転・チルト ステージ 特徴 Features ストローク 開口付きステージ 軸 Axis APERTURE SHAPE STAGE Standard Linear Stage is a base series of the Piezo Stages with ample lineup from single-axis type to monolithic 3 axes type. The mechanisms of each axis type are categorized into direct-drive mechanism and displacement magnification mechanism. ・干渉計機器 Interferometer devices 標準直動ステージ 各軸とも機構の違いにより、 「直接駆動機構」と「変位拡大機構」 に分かれています。 ・半導体、 FPD検査装置 Semiconductor and FPD inspection devices STANDARD LINEAR STAGE 『標準直動ステージ』は、単軸から最大3軸一体型まで豊富なラインナップを えたピエゾステージの基本シリーズです。 ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PS ［ピエゾステージ X軸 AXIS PS1H80-030U ストローク Travel range PS1H25 -006U PS1H35 -006U PS1H45 -012U PS1H60F -012U PS1H40F -020U PS1H60 -020U PS1H80 -030U PS1H80F -030U 6μm 6μm 12μm 12μm 20μm 20μm 30μm 30μm クローズ時 Closed-loop オープン時 Open-loop 25μm 25μm 40μm 40μm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm 1nm ±1nm ±1nm ±1nm ±1nm ±1nm ±1nm ±1nm ±1nm 2” / 1” / 1” 2” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 3” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 5N 10N 10N 50N 30N 10N 10N 50N at 0g 13000Hz 9700Hz 6200Hz 4100Hz 4100Hz 3300Hz 1900Hz 1900Hz at 100g 1000Hz 1500Hz 1100Hz 2400Hz 1700Hz 1200Hz 1200Hz 1600Hz 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity 共振周波数 Resonant frequency 剛性 Stiffness 0.05μm/N 0.02μm/N 0.04μm/N 0.07μm/N 0.08μm/N 0.02μm/N 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.7μF 0.7μF 1.4μF 5.4μF 2.1μF 2.1μF 3.4μF 13.6μF 100g 150g 200g 500g 300g 250g 300g 800g アルミ （W） アルミ （W） アルミ （W） 鋼（N） 鋼（N） アルミ （W） アルミ （W） 鋼 （N） リニアリティ Linearity 静電容量 Capacitance 本体質量 Weight 本体材質 （表面処理） Body material Aluminum Aluminum Aluminum Steel Steel ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理／（N） 無電解ニッケルメッキ Aluminum Aluminum Steel PS1L80 -700U ストローク クローズ時 Closed-loop Travel range 30μm 50μm 60μm 100μm 250μm 500μm 700μm オープン時 Open-loop 35μm 75μm 80μm 110μm 300μm 510μm 750μm 1nm 2nm 2nm 2nm 10nm 20nm 30nm ±1nm ±2nm ±2nm ±2nm ±10nm ±20nm ±30nm 1” / 1” / 1” 2” / 2” / 2” 1” / 1” / 1” 4” / 4” / 3” 2” / 3” / 2” 8” / 3” / 3” 2” / 2” / 5” 10N 5N 10N 5N 5N 5N 5N 1500Hz 970Hz 1300Hz 510Hz 360Hz 200Hz 106Hz 560Hz 180Hz 630Hz 130Hz 140Hz 110Hz 66Hz 0.7μm/N 2.7μm/N 0.5μm/N 8.1μm/N 6.5μm/N 11.6μm/N 32.6μm/N 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.2% 0.2% 1.4μF 1.4μF 3.4μF 1.4μF 3.4μF 3.4μF 13.6μF 150g 70g 250g 70g 180g 200g 350g アルミ （W） アルミ （W） アルミ （W） アルミ （W） アルミ （W） アルミ （W） アルミ （W） 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity 共振周波数 Resonant frequency at 0g at 100g 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 静電容量 Capacitance 本体質量 Weight 本体材質 （表面処理） Aluminum Body material Aluminum Aluminum Surface treatment :（W）White alumite /（N）Electroless nickel plating ］ Aluminum Aluminum ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理 Aluminum Aluminum Surface treatment :（W）White alumite ］ OBJECTIVE LENS FOCUSING 0.03μm/N PS1L66 -500U 対物レンズ フォーカス用 0.05μm/N PS1L65 -250U 開口付きステージ 16μm PS1L40 -100U ROTARY AND TILT STAGE 16μm PS1L60 -060U 回転・チルト ステージ 8μm PS1L40 -050U Model No. APERTURE SHAPE STAGE 8μm PS1L45 -030U 型番 STANDARD LINEAR STAGE Model No. 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 標準直動ステージ PS1L 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ 型番 ピエゾステージ PS1H “PIEZO STAGE” STANDARD LINEAR STAGE PIEZO STAGE PS For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］標準直動ステージ SIMPLE ACTUATOR IMPACT ACTUATOR 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency PS1H25-006U-＊ 300 ストローク 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Multiple-axis controller Piezo Driver 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 14 多軸コントローラ Single-axis controller a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (Closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 15 ドライバ 200 単軸コントローラ Travel range 100 0 a ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ PIEZO DRIVER 500 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ コントローラ 400 1000 0 PS1L45-030U PS1L40-050U PS1L60-060U PS1L40-100U PS1L65-250U PS1L66-500U PS1L80-700U CONTROLLER PS1H25-006U PS1H35-006U PS1H45-012U PS1H60F-012U PS1H40F-020U PS1H60-020U PS1H80-030U PS1H80F-030U 1500 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 500 インパクト アクチュエータ PS1L 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ 簡易型 アクチュエータ PS1H 2000 超精密加工機用 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY ■共振周波数［Resonant frequency］ ■寸法図［Drawings］ 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ ■寸法図［Drawings］ PS1L45-030U PS1L45-030U-N 4-φ3.2 Holes, φ6 C'bored Depth 3 PS1L40-050U PS1L40-050U-N 4-M2.5 Depth 3 4-M2.5 Depth 3 40 20 30 35 45 25 20 13.4 10 20 28 35 25 20 15 35 4-M2 Depth 3 Cable Length 2m 4-φ3.2 Holes,φ6 C'bored Depth 3 4-M2.5 Depth 3 PS1L65-250U PS1L65-250U-N 4-φ3.2 Holes, φ6 C'bored Depth 3 4-M2.5 Depth 4 4-M3 Depth 4 PS1L66-500U PS1L66-500U-N 50 40 32 25 29 25 18 32 40 50 52 66 32 40 50 57 65 15.5 16 Cable Length 2m Piezo Cable Sensor Cable 65 66 Cable Length 2m Sensor Cable Piezo Cable 6-M4 Depth 6 6-M3 Depth 6 PS1H80F-030U PS1H80F-030U-N 16 58 70 80 Piezo Cable Sensor Cable 19.5 20 15.5 16 80 16 25 16 25 Piezo Cable Sensor Cable 20 32 45 70 Cable Length 2m Piezo Cable Sensor Cable 80 20 16 25 ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。 ※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 17 ドライバ 58 70 PIEZO DRIVER 16 25 19.5 20 32 45 70 80 70 60 50 32 70 60 50 32 4-φ3.2 Holes, φ6 C'bored Depth 3 4-M3 Depth 4 4-M2 Depth 3 Cable Length 2m 80 80 Cable Length 2m PS1L80-700U PS1L80-700U-N CONTROLLER PS1H80-030U PS1H80-030U-N 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 13.5 コントローラ 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 9.5 6-M4 Depth 6 6-M3 Depth 6 17 13 Cable Length 2m 16 27 34 50 IMPACT ACTUATOR 13.5 Sensor Cable インパクト アクチュエータ Sensor Cable Piezo Cable 16 27 34 50 Piezo Cable 15 60 Cable Length 2m 14.5 60 16.5 20 48 18 12.5 12.5 16 16 40 50 6.7 SIMPLE ACTUATOR 18 26 34 47 簡易型 アクチュエータ 60 4-M3 Depth 3 超精密加工機用 （The backside is the same） 2x2-M2.5 Depth 5 PS1H60-020U PS1H60-020U-N STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY PS1H40F-020U PS1H40F-020U-N 4-φ4.5 Holes,φ8 C'bored Depth 9.5 6-M3 Depth 6 6-M2 Depth 4 15 Piezo Cable Sensor Cable Cable Length 2m 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 3.2 4-M2.5 Depth 5 2-φ2 H7 Depth 4 15 Sensor Cable Piezo Cable Cable Length 2m 19.5 45 70 14.5 Piezo Cable Sensor Cable 20 15.5 16 14 21 30 20 28 50 19 60 Piezo Cable Sensor Cable 20 30 35 32 38 50 60 50 40 32 25 32 25 20 45 12.5 12.5 16 16 40 50 Cable Length 2m 4-M2.5 Depth 3 OBJECTIVE LENS FOCUSING 45 4- φ3.2 Holes, φ6 C'bored Depth 3 対物レンズ フォーカス用 20 25 32 PS1L40-100U PS1L40-100U-N 4-M3 Depth 4 60 4-φ3.5 Holes,φ6.5 C'bored Depth 9.5 4-φ3.5 Holes,φ6.5 C'bored Depth 16 PS1L60-060U PS1L60-060U-N ROTARY AND TILT STAGE 4-M2 Depth 4 Sensor Cable 回転・チルト ステージ 4-φ4.5 Holes,φ8 C'bored Depth 13.5 6-M3 Depth 6 6-M2 Depth 4 PS1H60F-012U PS1H60F-012U-N 14.5 19 Piezo Cable Cable Length 2m 40 15.5 16 Sensor Cable Sensor Cable PS1H45-012U PS1H45-012U-N 45 Cable Length 2m 20 15.5 16 50 Sensor Cable Piezo Cable APERTURE SHAPE STAGE Piezo Cable Piezo Cable 開口付きステージ Cable Length 2m 30 14 21 30 10 20 35 Cable Length 2m 35 20 15 20 25 10 13.4 20 標準直動ステージ 4- φ2.4 Holes,φ4 C'bored Depth 10 4- φ2.4 Holes,φ4.4 C'bored Depth 16 4-φ2.4 Holes, φ4.4 C'bored Depth 10 4-M2 Depth 3 PS1H35-006U PS1H35-006U-N STANDARD LINEAR STAGE PS1H25-006U PS1H25-006U-N ピエゾステージ PS1L 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ PIEZO STAGE PS1H For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 XY軸 AXES PS1L65-250U PS2L 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ （X,Y）12μm （X,Y） 12μm （X,Y） 30μm （X,Y） 30μm （X,Y）1nm （X,Y） 1nm （X,Y） 1nm （X,Y）1nm （X,Y）±1nm （X,Y）±1nm （X,Y）±1nm （X,Y）±1nm 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity 型番 Model No. （X,Y） 0.05μm/N （X,Y）0.05μm/N （X,Y）0.07μm/N （X,Y）0.06μm/N 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance 1.4μF/axis 1.4μF/axis 3.4μF/axis 3.4μF/axis 剛性 Stiffness 本体質量 Weight 本体材質（表面処理）Body material 300g 450g 400g 700g アルミ （W） アルミ （B） アルミ （W） アルミ （B） Aluminum Aluminum Aluminum Aluminum 4-M4,φ3.4 Thru Holes 60 Cable Length 2m 25 4-φ4.5 Holes 50 15 2-Sensor Cables PS2H95-012U PS2H95-012U-N 5 50 （X,Y）2nm （X,Y）10nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y） ±10nm 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” 5N 10N 10N 5N 5N 1300Hz 480Hz 280Hz 120Hz （X）3.6,（Y）2.6μm/N （X,Y）0.17μm/N リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance 1.4μF/axis 6.8μF/axis 6.8μF/axis 1.4μF/axis 2.1μF/axis at 0g Resonant frequency at 100g 180Hz 本体質量 Weight 本体材質（表面処理）Body material 890Hz 380Hz 150Hz 70Hz （X） 0.60, （Y） 0.59μm/N （X）6.7, （Y）5.7μm/N （X） 28.1, （Y） 26.3μm/N 150g 500g 600g 150g 250g アルミ （W） +鋼（N） アルミ （B） アルミ （B） アルミ （W）+鋼（N） アルミ （W） Aluminum+Steel Aluminum ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理／ （B） 黒アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ Aluminum Aluminum+Steel Aluminum Surface treatment :（W） White alumite /（B） Black alumite /（N）Electroless nickel plating］ ■寸法図［Drawings］ PS2L50-050U PS2L50-050U-N 4- φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth8 PS2L92-050U PS2L92-050U-N 4-φ3.4 Holes, φ6 C'bored Depth 8 4-M2 Depth 4 8-M3 Depth 4 4-M3 Depth 6 φ20 50 （X,Y）2nm PS2L100-080U PS2L100-080U-N Cable Length 2m Cable Length 2m 95 18 24 70 2-Piezo Cables 2-Piezo Cables 2-Sensor Cables 42 50 53 2-Sensor Cables Cable Length 2m 2-Sensor Cables 38 25 24 70 60 24 25 16 4-4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 8 50 60 90 16 29 30 20 100 φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 8 4-M4 Depth 8 9-M3 Depth 4 0 200 400 600 800 0 200 400 600 800 42 2-Piezo Cables 25 32 50 52 25.5 26 60 25 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 18 50 50 200 0 16 25 32 40 42 2- Sensor Cables 400 2-Piezo Cables 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 共 振 周波 数［Hz］ PS2L50-050U PS2L92-050U PS2L100-080U PS2L50-100U PS2L60-250U 24.5 搭載負荷 1000 Load［g］ Cable Length 2m 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 19 ドライバ 500 600 PS2L PIEZO DRIVER Resonant frequency PS2H60-012U PS2H95-012U PS2H60-030U PS2H110-030U 1000 0 110 Cable Length 2m 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ 4- φ3.4 Holes, 6 C'bored Depth 8 4-M3 Depth 4 4-M2 Depth 4 コントローラ 1500 PS2H PS2L60-250U PS2L60-250U-N CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 25 4- φ3.4 Holes,φ6 C'bored Depth 8 4-M2 Depth 4 8-M3 Depth 4 52 20 2-Sensor Cables PS2L50-100U PS2L50-100U-N 24 18 24 70 2- Sensor Cables Cable Length 2m 68 60 2-Piezo Cables IMPACT ACTUATOR 92 110 18 20 32 38 80 インパクト アクチュエータ 68 92 Cable Length 2m 4-M3 Depth 6 φ20 50 50 50 7-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth8 80 100 PS2H110-030U PS2H110-030U-N 4-φ 4.5 Holes 50 16 25 32 40 42 24.5 30 18 50 4-M3 Depth 6 4-M2 Depth 4 SIMPLE ACTUATOR 60 2-Piezo Cables 2- Piezo Cables 95 2-Sensor Cables 4-M4,φ3.4 Thru Holes PS2H60-030U PS2H60-030U-N 25 簡易型 アクチュエータ Cable Length 2m 24 18 24 2-Sensor Cables 53 2-Piezo Cables 超精密加工機用 50 （X,Y）2nm STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 80 （X,Y）2nm OBJECTIVE LENS FOCUSING 2-Piezo Cables （X,Y）250μm 420Hz Surface treatment :（W）White alumite /（B） Black alumite ］ ■寸法図［Drawings］ （X,Y）100μm 対物レンズ フォーカス用 ［ 表面処理： （W）白アルマイト処理／（B）黒アルマイト処理 PS2H60-012U PS2H60-012U-N 1600Hz （X,Y）80μm ROTARY AND TILT STAGE 共振周波数 1200Hz （X,Y）50μm 回転・チルト ステージ 10N 3400Hz 1800Hz （X,Y）50μm Closed loop 耐荷重 Load capacity 10N 1600Hz 1300Hz PS2L60-250U ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 10N at 100g PS2L50-100U 繰り返し位置決め精度 Repeatability 3800Hz Resonant frequency PS2L100-080U 分解能 Resolution 10N 共振周波数 PS2L92-050U クローズ時 ストローク Travel range 2000Hz at 0g PS2L50-050U 開口付きステージ PS2H110-030U APERTURE SHAPE STAGE PS2H60-030U 16 Closed loop PS2H95-012U 標準直動ステージ クローズ時 ストローク Travel range PS2H60-012U 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. ピエゾステージ PS2H “PIEZO STAGE” STANDARD LINEAR STAGE PIEZO STAGE PS For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］標準直動ステージ Z軸 AXIS PSVL60F-100U PSVH80F-030U 6μm 12μm 12μm 30μm 1nm 1nm 1nm 1nm ±1nm ±1nm ±1nm ±1nm 1” / 2” / 1” 1” / 2” / 1” 1” / 2” / 1” 1” / 2” / 1” クローズ時 Closed loop 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity 型番 Model No. 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity 50N 50N 1600Hz 1200Hz 1200Hz 1000Hz 共振周波数 0.02μm/N 0.03μm/N 0.01μm/N 0.01μm/N 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance 0.7μF 1.4μF 5.4μF at 100g 750Hz 剛性 Stiffness 本体質量 Weight 本体材質（表面処理）Body material 900Hz 25 15 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 2” / 2” / 2” 6” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” 260Hz 230Hz 160Hz 160Hz 1.9μm/N 1.2μm/N 2.9μm/N 1.6μm/N リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 13.6μF 静電容量 Capacitance 1.4μF 1.4μF 2.8μF 5.4μF 2.1μF 13.2μF 本体質量 Weight 330Hz 本体材質（表面処理）Body material 230Hz 150g 300g 250g 1000g 600g 2000g アルミ （W） 鋼（N） アルミ （W） 鋼（N） 鋼 （N） 鋼 （N） Aluminum Steel Aluminum ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ ■寸法図［Drawings］ Steel Steel Steel Surface treatment :（W） White alumite /（N）Electroless nickel plating ］ 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 32 PSVL45-060U PSVL45-060U-N PSVL45F-100U PSVL45F-100U PSVL60-100U PSVL60-100U-N 32 25 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 26 45 40 32 25 45 50 32 25 32 25 4-M2 Depth 4 60 Cable Length 2m Cable Length 2m Piezo Cable Piezo Cable Cable Length 2m Piezo Cable 80 70 25 25 16 16 6-M3 Depth 6 Sensor Cable Sensor Cable PSVL60F-150U PSVL60F-150U-N IMPACT ACTUATOR PSVL60F-100U PSVL60F-100U-N Sensor Cable PSVL80F-300U PSVL80F-300U-N Sensor Cable 100 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 4-M2 Depth 4 4-M2 Depth 4 Sensor Cable 70 50 32 Cable Length 2m Piezo Cable Sensor Cable 38 4-M4 Depth 5 4-M3 Depth 5 70 50 32 4-M3 Depth 5 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 32 80 32 4-M3 Depth 5 Cable Length 2m Piezo Cable 0 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 28 80 38 50 32 25 50 32 25 200 60 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency PSVL45-060U PSVL45F-100U PSVL60-100U PSVL60F-100U PSVL60F-150U PSVL80F-300U 50 32 25 Cable Length 2m Piezo Cable Sensor Cable ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 21 ドライバ 搭載負荷 1000 Load［g］ 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 60 コントローラ 800 PSVL 50 32 25 PIEZO DRIVER 200 300 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 32 60 CONTROLLER 400 600 4-M2 Depth 4 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 54 Cable Length 2m Piezo Cable PSVH35-006 PSVH45-012U PSVH60F-012U PSVH80F-030U 400 32 4-M3 Depth 5 インパクト アクチュエータ 50 16 16 12.5 12.5 70 50 32 32 6-M4 Depth 6 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ 600 4-M2 Depth 4 45 PSVH80F-030U PSVH80F-030U-N 6-M3 Depth 6 6-M2 Depth 4 60 80 50 32 25 60 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 34 800 32 25 32 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 26 60 SIMPLE ACTUATOR 50 32 25 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 26 45 超精密加工機用 45 25 15 ±10nm 簡易型 アクチュエータ 共 振 周波 数［Hz］ ±5nm Sensor Cable ■共振周波数［Resonant frequency］ Resonant frequency ±2nm 2.1μm/N Piezo Cable Sensor Cable 20 ±2nm STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 60 200 ±2nm 1.6μm/N Resonant frequency Cable Length 2m Cable Length 2m Piezo Cable 0 ±2nm 4-M2 Depth 4 Sensor Cable 0 10nm 10N at 0g at 100g 32 25 PSVH 5nm 180Hz 36 Piezo Cable 1000 2nm 10N Steel 32 25 Cable Length 2m PSVH60F-012U PSVH60F-012U-N 2nm 190Hz Surface treatment :（W）White alumite /（N）Electroless nickel plating ］ 4-M2 Depth 4 2nm 10N 鋼（N） PSVH45-012U PSVH45-012U-N 2nm 270Hz 1800g 26 35 PSVH35-006U PSVH35-006U-N 300μm 5N 750g 45 150μm 380Hz 鋼 （N） 4-φ2.4 Holes, φ4.2 C'bored Depth 22 100μm OBJECTIVE LENS FOCUSING 35 100μm 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ 100μm 10N 150g ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理／（N） 無電解ニッケルメッキ 60μm 300Hz アルミ （W） Steel PSVL80F -300U 5N 70g Aluminum PSVL60F -150U 570Hz アルミ （W） Aluminum PSVL60F -100U 60 Resonant frequency PSVL60 -100U ROTARY AND TILT STAGE 10N 2600Hz PSVL45F -100U 回転・チルト ステージ 10N 共振周波数 Closed loop 分解能 Resolution 3500Hz at 0g クローズ時 ストローク Travel range PSVL45 -060U 開口付きステージ PSVH60F-012U APERTURE SHAPE STAGE PSVH45-012U STANDARD LINEAR STAGE ストローク Travel range PSVH35-006U 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 標準直動ステージ PSVL 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ 型番 Model No. ピエゾステージ PSVH “PIEZO STAGE” STANDARD LINEAR STAGE PIEZO STAGE PS For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］標準直動ステージ XYZ軸 AXES PS3L68-100U Closed loop （X,Y,Z）30μm （X,Y,Z）1nm （X,Y,Z） 1nm （X,Y,Z） ±1nm （X,Y,Z）±1nm 1” / 1” / 1” 2” / 2” / 2” 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity ストローク Travel range 共振周波数 （X,Y） 0.2, （Z） 0.1μm/N （X） 0.15, （Y） 0.19, （Z） 0.37μm/N 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance （X,Y） 2.15,（Z） 5.4μF （X）6.8,（Y） 6.8, （Z） 2.8μF 1700g 900g 本体材質 （表面処理）Body material 鋼 （N） Steel アルミ （W） 3-Piezo Cables Cable Length 2m 5N 250Hz （X）0.70, （Y）0.74,（Z）0.38μm/N （X）6.4, （Y）6.9, （Z）5.5μm/N リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance （X,Y）6.8,（Z）2.8μF （X,Y）1.4,（Z）2.8μF at 100g 330Hz 本体材質 （表面処理）Body material Surface treatment :（W）White alumite /（N） Electroless nickel plating］ 130Hz 700g 400g アルミ （W） アルミ （W） Aluminum Aluminum ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理 ■寸法図［Drawings］ 3-Piezo Cables PS3L100-080UA PS3L100-080UA-N Cable Length 2m 68 60 52 40 32 20 PS3L68-100U PS3L68-100U-N 3-Sensor Cables 4-M3 Depth 6 60 100 60 Cable Length 2m 3-Sensor Cables 3-Piezo Cables 3-Piezo Cables 29 Cable Length 2m 30 8-M4 Depth 4 100 8-M3 Depth 4 6 12.5 120 30 60 90 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 8 16 25 40 65 60 100 16 25 29 IMPACT ACTUATOR 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 8 8-M4 Depth 4 8-M3 Depth 4 16 25 インパクト アクチュエータ 16 25 SIMPLE ACTUATOR 4- φ4.5 Holes 4-M3 Depth 3 4-M2 Depth 3 簡易型 アクチュエータ 3-Sensor Cables 120 20 40 68 80 50 40 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 20 3-Sensor Cables Surface treatment :（W）White alumite ］ 超精密加工機用 6-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 6.5 10N 400Hz OBJECTIVE LENS FOCUSING 60 50 40 4” / 4” / 2” 本体質量 Weight Aluminum PS3H120-030U PS3H120-030U-N 70 2” / 2” / 2” 対物レンズ フォーカス用 PS3H70-020UA PS3H70-020UA-N （X,Y,Z）±2nm at 0g Resonant frequency 本体質量 Weight ■寸法図［Drawings］ （X,Y） ±2, （Z）±1nm ROTARY AND TILT STAGE 540Hz ［ 表面処理： （W）白アルマイト処理／（N） 無電解ニッケルメッキ （X,Y,Z）2nm 回転・チルト ステージ 770Hz 剛性 Stiffness （X,Y）2,（Z）1nm 耐荷重 Load capacity 10N at 100g （X,Y,Z）100μm Closed loop ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 740Hz Resonant frequency （X,Y）80,（Z）20μm クローズ時 繰り返し位置決め精度 Repeatability 10N 共振周波数 PS3L68-100U 分解能 Resolution 970Hz at 0g PS3L100-080UA 開口付きステージ （X,Y） 20,（Z） 12μm 型番 Model No. APERTURE SHAPE STAGE PS3H120-030U STANDARD LINEAR STAGE クローズ時 ストローク Travel range PS3H70-020UA 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 標準直動ステージ PS3L 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ 型番 Model No. ピエゾステージ PS3H “PIEZO STAGE” STANDARD LINEAR STAGE PIEZO STAGE PS For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］標準直動ステージ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. Resonant frequency 600 400 200 0 800 共 振 周波 数［Hz］ PS3H70-020UA PS3H120-030 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ PS3L 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ PS3L100-080UA PS3L68-100U 600 ストローク a 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCM6000,7000 PH103 Multiple-axis controller Piezo Driver Travel range 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） 400 Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 200 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 22 PS3H70-020UA-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） 最大3軸まで接続可能。 Up to 3 axes can be controlled. Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) P64∼ 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 23 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ PIEZO DRIVER Resonant frequency PS3H ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 800 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 用途 Examples of applications 開口付きステージ APERTURE SHAPE STAGE X軸 AXIS／ XY軸 AXES／ Z軸 AXIS／ XYZ軸 AXES ・半導体、 FPD関連装置 Semiconductor & FPD-related inspections ・顕微鏡試料テーブル Microscope tables ・露光装置 Photolithography systems, Exposure devices ・分光分析機器 Spectroscopic instruments ・マッピング測定 Mapping measurements ストローク 特徴 Features 200mm コンパクトから大開口まで対応 小型デバイスに適したコンパクトな開口タイプから、 大きなパネルをアライメントできる大開口タイプも えています。 軸 Axis 分解能 外形サイズ （開口サイズ） Dimensions (aperture size) Model No. 27mm Various aperture sizes 小開口 30/30μm 1/1nm 100×100（40×40）mm PK2H100-030U 大開口 Small aperture Various types from compact aperture type suitable for small devices and large aperture type for alignment of larger panels are available. 30/30μm 1/1nm 130×130（54×54）mm PK2H130-030U 1/1nm 150×150 （70×70）mm PK2H150-050U 2/2nm 100×100（50×50）mm PK2L100-080U 100/100μm 2/2nm 64×64（φ20） mm PK2L64-100U 100/100μm 2/2nm 76×76 （φ32）mm PK2L76F-100U 100/100μm 2/2nm 130×130（50×50）mm PK2L130-100U 100/100μm 2/2nm 150×150 （70×70）mm PK2L150-100U 5/5nm 150×150 （70×70）mm PK2L150-200U 10/10nm 150×150 （70×70） mm PK2L150-300U 5/5nm 280×280 （200×200）mm PK2L280-200U 分解能 外形サイズ （開口サイズ） Dimensions (aperture size) Model No. 形状 ストローク Shape Large opening Travel range 50/50μm 80/80μm XY軸 一体構造でクロストーク極小 Axes XY軸やXYZ軸などの複合軸は一体機構で設計しており、 通常の単軸重ね合わせ構造で発生しやすい非直交性を抑えています。 Ultra-small crosstalk in integral structure 200/200μm Composite axes such as XY axis and XYZ axis are designed as an monolithic mechanism and the non-orthogonality that is common to normal single-axis superposition structures is suppressed. ［X軸とY軸の重ね合わせ］ Superposition of X axis and Y axis 300/300μm 概念図 Conceptual diagram ［XY軸一体機構］ Y axis X axis 各軸が独立しており、 Xの動きにおけるY成分の エラーは補正されない。 200/200μm Integral XY-axis structure X軸圧電素子 Piezo for X Resolution 型番 P26∼ 掲載頁 Page P28∼ crosstalk Y Each axis is independent and any error of Y composition in X movement is not corrected. X 軸 補正した 動き Corrected motion Axis Y axis sensor スムーズで正確な走査や円駆動が可能 Travel range Axis 型番 60×60 （30×30）mm PKVH60-012U 2nm 64×64（30×30） mm PKVL64F-100U 100/100μm 2nm 100×100（56×56）mm PKVL100-100U 10nm 84×84 （40×40）mm PKVL84F-300U 分解能 外形サイズ （開口サイズ） 300/300μm 掲載頁 Page P30∼ 高精度フィードバック制御により信頼性の高い動作が行えます。 Smooth and accurate scanning and circular driving Amplitude Power O.F. O.F. Offset On Set. Output Off Sensor Monitor Input Err. Sensor Input Set. Sensor Monitor Input Err. Off Mon. Offset Output Sensor Input Mon. On Over Load NCC X axis Y axis 40 XYZ軸 40 60 80 100 X axis [μm] XY軸ステージの各軸に90°位相差をもつ正弦波を入力し動作させることで滑らかな円弧駆動も可能です。 周波数や振幅、搭載荷重にあわせてPIDゲイン調整を最適化することでスムーズな動作が行えます。 Smooth circular driving is also possible by actuating each axis of the XY-axis stage with sine-wave input with 90 deg. phase difference. You can optimize the PID gain adjustment according to the frequency, amplitude and carry load to make operations smooth. 24 ※円弧補間機能は備えておりません。真円度は 搭載負荷や駆動周波数などの条件により異なります。 ※Circular interpolation function is not available. The circularity varies depending on conditions such as installing load and driving frequency. Dimensions (aperture size) 型番 Model No. 1/1/1nm 130×130（φ38） mm PK3H130-030UA 2/2/1nm 150×150 （56×56）mm PK3H150-050UA 100/100/30μm 2/2/1nm 150×150 （56×56）mm PK3L150-100UA 100/100/100μm 2/2/2nm 150×150 （56×56） mm PK3L150-100U 5/5/2nm 150×150 （56×56）mm PK3L150-200UA 10/10/2nm 150×150 （56×56）mm PK3L150-300UA 200/200/100μm 300/300/100μm 掲載頁 Page P32∼ PIEZO DRIVER 20 Resolution 注）1. ストローク量を表す棒線の長さは選定のための目安です。Length of the bar lines that represent the travel range is only for reference for selection. 2. XY軸,XYZ軸における棒線は、最大ストローク軸を表記しています。Bar lines for XY and XYZ axes represent the maximum travel range axis. 3．形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective pages. 25 ドライバ Axes 20 0 Travel range 50/50/30μm Y axis Time ストローク 30/30/20μm 60 [μm] 形状 Shape CONTROLLER Power Axis 80 X axis Y axis Over Load 軸 100 The precision feedback control allows for highly reliable operations. コントローラ 1nm 100/100μm 12μm Z軸 Resolution IMPACT ACTUATOR Y軸圧電素子 Piezo for Y ストローク インパクト アクチュエータ X axis sensor 形状 Shape 超精密加工機用 PK1L45-100U SIMPLE ACTUATOR 45×55（14×12）mm Page 簡易型 アクチュエータ 2nm 掲載頁 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY PK1L60-030U 100μm 型番 Model No. OBJECTIVE LENS FOCUSING 60×70（27×16） mm Axis Dimensions (aperture size) 対物レンズ フォーカス用 1nm 30μm X軸 Resolution ROTARY AND TILT STAGE 外形サイズ （開口サイズ） Travel range 回転・チルト ステージ 分解能 形状 Shape 開口付きステージ 軸 Axis 標準直動ステージ ラインナップ Lineup APERTURE SHAPE STAGE "Aperture Shape Stage" is a series of stages with clear aperture on the center of moving table. Aperture shape stages are suited for applications such as fine alignment of an optical device that transmits laser beam, ultra structure observation in combination with microscope and analytical equipment and precise mapping measurement, etc. ・走査型プローブ顕微鏡 SPM, AFM STANDARD LINEAR STAGE 『開口付きステージ』 は、 移動テーブル中央に開口部 （透過穴） を有したラインナップです。 レーザを透過させる光学デバイスの 微調アライメントや、顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察、 高精度マッピング測定などに適しています。 ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PK ［ピエゾステージ X軸 AXIS ■寸法図［Drawings］ PK1L60-030U PK1L60-030U PK1L60-030U-N 60 50 36 30 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 5 27 2” / 1” / 2” 0.08μm/N 7.2μm/N リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance 3.4μF 1.4μF 共振周波数 Resonant frequency at 100g 1400Hz 剛性 Stiffness 本体質量 Weight 本体材質（表面処理）Body material Piezo Cable 170Hz 150g 100g アルミ （B） アルミ （B） Aluminum ROTARY AND TILT STAGE 5N 490Hz Clear Aperture Cable Length 2m Sensor Cable Aluminum Surface treatment :（B） Black alumite］ OBJECTIVE LENS FOCUSING PK1L45-100U PK1L45-100U-N 45 35 25 18 12 15 4-M2 Depth 4 45 55 Clear Aperture SIMPLE ACTUATOR 簡易型 アクチュエータ Piezo Cable 超精密加工機用 4-φ3.4 Holes, φ6 C'bored Depth 5 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 20 14 対物レンズ フォーカス用 ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 回転・チルト ステージ 10N 2800Hz at 0g 16 1” / 1” / 2” 24 ±2nm 30 ±1nm 15.5 耐荷重 Load capacity 2nm APERTURE SHAPE STAGE ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 1nm 開口付きステージ 繰り返し位置決め精度 Repeatability 100μm 16 分解能 Resolution 30μm 4-M3 Depth 6 50 Closed loop PK1L45-100U 70 クローズ時 PK1L60-030U STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model Number 標準直動ステージ PK1L ストローク Travel range ピエゾステージ “PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE PIEZO STAGE PK For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］開口付きステージ Cable Length 2m IMPACT ACTUATOR 16 インパクト アクチュエータ 15.5 Sensor Cable ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 800 ストローク a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Travel range 600 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 400 200 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 26 PK1L60-030U-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 27 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PK1L60-030U PK1L45-100U PIEZO DRIVER Resonant frequency PK1L ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 1000 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ XY軸 AXES PK2L76F-100U PK2L クローズ時 Closed loop 分解能 Resolution （X,Y） 30μm （X,Y） 30μm （X,Y） 50μm （X,Y） 1nm （X,Y） 1nm （X,Y） 2nm （X,Y）±1nm （X,Y）±1nm （X,Y）±2nm 1” / 1” / 2” 1” / 1” / 1” 2” / 2” / 2” ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity PK2L100 -080U 型番 Model Number ストローク Travel range （X,Y）2nm 繰り返し位置決め精度 Repeatability 耐荷重 Load capacity 1700Hz 1300Hz 共振周波数 （X,Y） 0.05μm/N （X,Y） 0.04μm/N （X,Y）0.04μm/N 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% リニアリティ Linearity 静電容量 Capacitance （X,Y） 6.8μF （X,Y） 6.8μF （X,Y） 9.6μF 静電容量 Capacitance at 100g 剛性 Stiffness 本体質量 Weight 本体材質 （表面処理）Body material 1000g 1200g アルミ （B） アルミ （B） Aluminum PK2H130-030U PK2H130-030U-N Cable Length 2m Clear Aperture 2-Piezo Cables 2” / 2” / 2” 10N 10N 10N 10N 10N 10N 10N 240Hz 580Hz 420Hz 370Hz 240Hz 150Hz 200Hz 200Hz 490Hz 370Hz 320Hz 90Hz（2kg） 210Hz 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 500g 300g 1000g 900g 1200g 1100g 1200g 2300g アルミ （B） アルミ （B） 鋼（N） アルミ （B） アルミ （B） アルミ （B） アルミ （B） アルミ （B） Aluminum Aluminum Steel Aluminum Aluminum Aluminum Aluminum Aluminum Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］ PK2L76F-100U PK2L76F-100U-N 32 40 60 76 30 31.5 29 φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 8 4-M4 Depth 8 2-Piezo Cables 64 29.5 Clear Aperture 20 28 50 SIMPLE ACTUATOR 130 64 28 30 30 29 35 2-Sensor Cables 54 106 110 Cable Length 2m 簡易型 アクチュエータ Cable Length 2m 35 4-R10 40 Clear Aperture 4-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth 25.5 4-M3 Depth 6 φ32(Clear Aperture) 76 4-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth 24.5 4-M3 Depth 6 φ20(Clear Aperture) Cable Length 2m 32 8-M4 Depth 4 2-Sensor Cables 110 54 130 40 2” / 2” / 4” 超精密加工機用 100 2” / 2” / 5” STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 90 70 2” / 2” / 5” 300Hz 2-Sensor Cables 8-M3 Depth 6 25 29 30 Cable Length 2m 2-Sensor Cables 2-Sensor Cables 2-Piezo Cables Cable Length 2m 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ 300 8-M3 Depth 6 234 200 90 70 PK2L150-100U PK2L150-200U PK2L150-300U PK2L280-200U 150 PK2L100-080U PK2L64-100U PK2L76F-100U PK2L130-100U 400 70 50 共 振 周波 数［Hz］ 8-M5 Depth 8 8-M3 Depth 6 (Clear Aperture) 200 100 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 4-M5, φ8 C'bored Depth 6.8 30 50 30 70 106 130 29 30 4-6.4 Holes, 11 C'bored Depth 6.8 25 30 70 90 125 150 25 29 30 55 100 200 234 264 280 27 55 25 28 4-φ5.5 Holes, φ10 C'bored Depth 5.7 ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 29 ドライバ 500 PK2L Clear Aperture Y PIEZO DRIVER 1000 Resonant frequency PK2H100-030U PK2H130-030U PK2H150-050U 500 130 PK2H X CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 2-Sensor Connectors 2-Piezo Connectors Clear Aperture コントローラ 2-Piezo Cables 1500 PK2L280-200U PK2L280-200U-N 280 30 70 90 125 PK2L150-200U-N PK2L150-300U PK2L150-300U-N IMPACT ACTUATOR PK2L150-100U PK2L150-100U-N PK2L150-200U インパクト アクチュエータ 25 150 共 振 周波 数［Hz］ （X,Y）5nm 10N PK2L64-100U PK2L64-100U-N 50 60 90 4-6.4 Holes,φ11 C'bored Depth 6.8 Resonant frequency （X,Y）10nm （X,Y）6.8μF （X,Y）2.8μF （X,Y）2.8μF （X,Y）13.6μF （X,Y）13.6μF （X,Y）9.6μF （X,Y）19.2μF （X,Y）19.2μF PK2L130-100U PK2L130-100U-N 28 2” / 2” / 2” Cable Length 2m 4-M5,φ8 C'bored Depth 6.8 2-Piezo Cables 200 （X,Y） 5nm 530Hz 0.1% PK2L100-080U PK2L100-080U-N 100 0 2” / 2” / 2” ■寸法図［Drawings］ 25 2-Sensor Cables 150 2” / 2” / 4” 410Hz 24.5 100 0 （X,Y）2nm 2-Piezo Cables 40 42 60 84 4-M5,φ8 C'bored Depth 4.3 （X,Y）2nm ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ 8-M3 Depth 6 Clear Aperture PK2H150-050U PK2H150-050U-N Cable Length 2m （X,Y）2nm OBJECTIVE LENS FOCUSING Y 2-Sensor Cables PK2L280 -200U 対物レンズ フォーカス用 X PK2H100-030U PK2H100-030U-N Surface treatment :（B） Black alumite］ PK2L150 -300U （X,Y）0.60μm/N（X） 4.1（Y） , 3.7μm/N（X） 1.8, （Y） 1.7μm/N（X,Y）0.4μm/N （X,Y） 0.5μm/N （X,Y） 0.8μm/N （X,Y）1.4μm/N （X,Y）1.0μm/N 本体材質 （表面処理）Body material Aluminum 2-Sensor Cables 2-Piezo Cables at 100g 本体質量 Weight 600g ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 ■寸法図［Drawings］ Resonant frequency 1100Hz アルミ （B） Aluminum at 0g 4” / 2” / 2” 100 Resonant frequency （X,Y）2nm 50 60 共振周波数 PK2L150 -200U ROTARY AND TILT STAGE 50N 1200Hz PK2L150 -100U 回転・チルト ステージ 50N 1500Hz PK2L130 -100U （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±5nm （X,Y）±10nm （X,Y）±5nm ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 50N PK2L76F -100U （X,Y）80μm （X,Y）100μm （X,Y）100μm （X,Y）100μm （X,Y）100μm （X,Y）200μm （X,Y）300μm （X,Y）200μm 分解能 Resolution 2500Hz at 0g PK2L64 -100U APERTURE SHAPE STAGE PK2H150-050U 開口付きステージ 繰り返し位置決め精度 Repeatability PK2H130-030U 2-Piezo Cables ストローク Travel range PK2H100-030U STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model Number 標準直動ステージ PK2H 2000 ピエゾステージ “PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE PIEZO STAGE PK For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］開口付きステージ Z軸 AXIS ピエゾステージ “PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE PIEZO STAGE PK For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］開口付きステージ PKVL64F-100U PKVL クローズ時 ストローク Travel range 型番 Model Number 分解能 Resolution 2500Hz 共振周波数 0.02μm/N 剛性 Stiffness at 100g 10nm ±2nm ±2nm ±10nm 1” / 2” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 10N 10N 10N 480Hz 480Hz 210Hz 1.1μm/N 1.0μm/N 2.8μm/N at 0g Resonant frequency 1400Hz 剛性 Stiffness 2nm at 100g 340Hz 350Hz 170Hz リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance 2.8μF 静電容量 Capacitance 2.8μF 6.8μF 6.8μF 250g 本体質量 Weight 本体質量 Weight アルミ （B） 本体材質 （表面処理）Body material 25 60 32 30 550g アルミ （B）+ 鋼（N） Aluminum+Steel Aluminum ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ ■寸法図［Drawings］ PKVL64F-100U PKVL64F-100U-N 25 Aluminum + Steel Surface treatment :（B） Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］ PKVL100-100U PKVL100-100U-N OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ Surface treatment :（B）Black alumite］ 500g アルミ （B） PKVL84F-300U PKVL84F-300U-N 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 30 20 84 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 25 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 70 40 25 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 8-M4 Depth 4 25 70 Clear Aperture 40 84 90 30 56 25 100 32 30 64 4-M4 Depth 4 Clear Aperture 25 8-M3 Depth 4 Clear Aperture Cable Length 2m Piezo Cable Piezo Cable Sensor Cable Piezo Cable Cable Length 2m SIMPLE ACTUATOR Piezo Cable 4-M3 Depth 4 Cable Length 2m 29 30 30 30 36 IMPACT ACTUATOR Sensor Cable Sensor Cable インパクト アクチュエータ Cable Length 2m Sensor Cable 簡易型 アクチュエータ 25 20 Clear Aperture 25 90 30 56 20 25 32 30 60 25 4-M4 Depth 4 32 30 20 超精密加工機用 25 64 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 100 4-M3 Depth 4 対物レンズ フォーカス用 ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 PKVH60-012U PKVH60-012U-N 本体材質 （表面処理）Body material Aluminum 400g アルミ （B）+鋼 （N） ROTARY AND TILT STAGE 0.1% 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity 開口付きステージ Resonant frequency 2nm APERTURE SHAPE STAGE 共振周波数 300μm 耐荷重 Load capacity 10N at 0g 100μm ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 1” / 1” / 1” 耐荷重 Load capacity 100μm Closed loop 繰り返し位置決め精度 Repeatability ±1nm ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling PKVL84F–300U 分解能 Resolution 1nm 繰り返し位置決め精度 Repeatability PKVL100-100U クローズ時 ストローク Travel range 12μm Closed loop PKVL64F-100U STANDARD LINEAR STAGE PKVH60-012U 型番 Model Number 標準直動ステージ PKVH ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 1000 500 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ PKVL PKVL64F-100U PKVL100-100U PKVL84F-300U 400 ストローク a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Travel range 300 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 200 100 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 30 PKVH60-012U-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 31 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ 1500 0 500 PKVH60-012U PIEZO DRIVER Resonant frequency PKVH ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 2000 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ XYZ軸 AXES ピエゾステージ “PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE PIEZO STAGE PK For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］開口付きステージ PK3H130-030UA PK3L ストローク Travel range クローズ時 Closed loop 型番 Model Number （X,Y） 30,（Z） 20μm （X,Y） 50, （Z） 30μm ストローク Travel range （X,Y,Z） 1nm （X,Y）2, （Z） 1nm （X,Y,Z）±1nm （X,Y）±2, （Z）±1nm 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity クローズ時 Closed loop 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability PK3L150-100UA PK3L150-100U PK3L150-200UA PK3L150-300UA （X,Y）100,（Z）30μm （X,Y）100,（Z）100μm （X,Y）200,（Z）100μm （X,Y）300, （Z）100μm （X,Y）2,（Z）1nm （X,Y）2,（Z）2nm （X,Y）5,（Z）2nm （X,Y）10,（Z）2nm （X,Y）±2,（Z）±1nm （X,Y） ±2, （Z）±2nm （X,Y）±5,（Z） ±2nm （X,Y） ±10, （Z） ±2nm 4” / 4” / 4” 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 4” 2” / 2” / 4” ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity 680Hz 580Hz 共振周波数 （X,Y） 0.08,（Z） 0.19μm/N （X,Y） 0.1,（Z） 0.2μm/N 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance （X,Y） 6.8,（Z） 4.3μF （X,Y） 9.6,（Z） 6.8μF 静電容量 Capacitance （X,Y）9.6,（Z）6.8μF （X,Y）13.6,（Z）6.8μF （X,Y）9.6,（Z）6.8μF （X,Y）19.2, （Z）6.8μF ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理／（N） 無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］ Aluminum+Steel Cable Length 2m PK3H150-050U PK3H150-050U-N 3-Piezo Cables Cable Length 2m 1200g 1200g アルミ （B） アルミ （B） Aluminum+Steel ■寸法図［Drawings］ Cable Length 2m Cable Length 2m 3-Piezo Cables 8-M3 Depth 3 (Clear Aperture) (Clear Aperture) (Clear Aperture) 3-Sensor Cables Clear Aperture 29 30 20 20 29 20 30 30 56 96 125 20 29 30 4-φ6.4 Holes, φ11 C'bored Depth 6.8 30 56 90 125 29 25 30 150 150 150 25 IMPACT ACTUATOR 130 30 56 96 125 インパクト アクチュエータ 32 50 76 106 超精密加工機用 8-M3 Depth 5 Aluminum SIMPLE ACTUATOR 130 Aluminum Surface treatment :（B） Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］ PK3L150-100U PK3L150-100U-N PK3L150-200UA PK3L150-200UA-N PK3L150-300UA PK3L150-300UA-N 3-Piezo Cables 3-Sensor Cables 4-φ6.6 Holes, 11 C'bored Depth 6.8 4-φ6.6 Holes, 11 C'bored Depth 6.8 8-M3 Depth 5 Aluminum 簡易型 アクチュエータ 76 1300g アルミ （B） STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY φ38 1300g 3-Sensor Cables 3-Sensor Cables 4-M3 Depth 5 4-M4 Depth 5 M5, 8 C'bored Depth 6.8 190Hz アルミ （B） +鋼（N） ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ PK3L150-100UA PK3L150-100UA-N 3-Piezo Cables 240Hz OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ PK3H130-030UA PK3H130-030UA-N 本体材質（表面処理）Body material Aluminum+Steel 300Hz （X）0.5,（Y）0.7, （Z）1.1μm/N （X）0.8,（Y）1.0,（Z）1.1μm/N （X）1.4,（Y）1.6, （Z）1.3μm/N 90 56 本体材質（表面処理）Body material 390Hz 対物レンズ フォーカス用 1300g アルミ （B）+鋼 （N） 10N 210Hz （X,Y）0.3, （Z）0.2μm/N 本体質量 Weight 1100g アルミ （B）+鋼 （N） 10N 280Hz 150 本体質量 Weight at 100g 10N 350Hz 56 96 剛性 Stiffness Resonant frequency 10N 430Hz 150 at 100g 150 Resonant frequency 56 96 共振周波数 at 0g ROTARY AND TILT STAGE 10N 670Hz 回転・チルト ステージ 10N 820Hz at 0g 開口付きステージ PK3H150-050UA APERTURE SHAPE STAGE PK3H130-030UA STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model Number 標準直動ステージ PK3H ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 600 400 200 0 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 800 500 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ PK3L PK3L150-100UA PK3L150-100U PK3L150-200UA PK3L150-300UA 400 300 ストローク 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCM6000,7000 PH103 Multiple-axis controller Piezo Driver 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 100 0 a Travel range 200 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 32 PK3H130-030UA-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） 最大3軸まで接続可能。 Up to 3 axes can be controlled. Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) P64∼ 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 33 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PK3H130-030UA PK3H150-050U PIEZO DRIVER Resonant frequency PK3H ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 1000 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 用途 Examples of applications 回転・チルトステージ ROTARY AND TILT STAGE θx／θy／θz ・レーザ光軸調整 Laser optical axis adjustment ・精密平行面合わせ Precision parallel mating ・光学デバイス微小角調整 Small angle adjustment for optical devices ・キャビティ長調整 Cavity length adjustment ・レーザ加工用ミラーアライメント Mirror alignment for laser processing ・チルト調整 Tilt adjustment ラインナップ Lineup Type 形状 Shape For optical mirror tilting 回転、チルト（傾斜）、ゴニオなど 形状 Shape PT2M40-800S 800秒 （≒0.22°） （≒3.9mrad） 型番 Model No. 最大振れ角 Deflection angle Page 0.05秒 （≒0.24μrad） P36∼ 0.05秒 （≒0.24μrad） 0.02秒 （≒0.10μrad） P38 分解能 掲載頁 Page Rotation, tilt (inclination) and goniometry, etc. Types with various rotation axes are available for various purposes. 光学ミラー用 For optical mirror tilting チルトタイプ Tilt type チルト 回転タイプ ゴニオタイプ Rotary type 傾斜＋昇降タイプ Goniometry type PT1T60-500S Tilt type Inclination + Lifting type タイプ Type 形状 Shape Angular displacement ［秒］ 圧電素子 内蔵変位センサ Piezo-electric element Built-in displacement sensor 300秒 （≒0.08°） （≒1.5mrad） PT1G100-500S 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） タイプ Type 掲載頁 Page 0.02秒 （≒0.10μrad） P40 0.02秒 （≒0.10μrad） 型番 Model No. 最大振れ角 Deflection angle 分解能 Resolution PT3V80F-400S ±400秒 （≒±0.11°） （≒±1.9mrad） （Z）100μm 0.02秒 （≒0.10μrad） PT3V100-800S ±800秒 （≒±0.22°） （≒±3.9mrad） （Z）300μm 0.04秒 （≒0.10μrad） 掲載頁 Page P41 大型ミラー 注）形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective page 35 ドライバ 傾斜＋昇降 形状 Shape Inclination + Lifting type Large mirror 34 PT1G100-300S 分解能 Resolution Sensor output voltage θx Compatible with large mirror As the piezo element used as a driving source has a strong generative force, even a large and heavy mirror can be steadily and precisely positioned. This may support irregular sizes. For details, please feel free to contact us. センサ出力電圧 ［V］ 最大振れ角 Deflection angle 0.2秒 （≒1.0μrad） PIEZO DRIVER 駆動源として用いているピエゾ素子は高い発生力を持っているため 重量のある大型ミラーも安定して高精度に位置決めできます。 規格外品にも対応しますのでご相談ください。 Goniometry type 型番 Model No. P39 コントローラ 大型ミラーにも対応 ゴニオ PT1C60-1800S 1800秒 （≒0.50°） （≒8.7mrad） 0.05秒 （≒0.24μrad） CONTROLLER θy 形状 Shape 800秒 （≒0.22°） （≒3.9mrad） Page IMPACT ACTUATOR The sensor integrated in Rotary and Tilt Stage is a linear sensor that measures the linear displacement. Therefore, the conversion factor to read the voltage signals output by the sensor as an angle [sec] is used. Type PT1C60-800S Resolution インパクト アクチュエータ Sensor output タイプ 角度変位 『回転、チルトステージ』に内蔵しているセンサは直線変位を 測定するリニアセンサです。そのため、センサから出力される 電圧信号を角度[秒]として読み取る換算係数にて対応します。 最大振れ角 Deflection angle SIMPLE ACTUATOR Rotary type 型番 Model No. 簡易型 アクチュエータ 回転 センサ出力について 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 超精密加工機用 掲載頁 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 分解能 Resolution OBJECTIVE LENS FOCUSING Type 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 掲載頁 対物レンズ フォーカス用 タイプ 色々な回転軸をもつタイプを え、目的に応じて選定できます。 PT1M36-500S 分解能 Resolution ROTARY AND TILT STAGE 特徴 Features 最大振れ角 Deflection angle 回転・チルト ステージ 光学ミラー用 型番 Model No. 開口付きステージ タイプ APERTURE SHAPE STAGE レーザ光スキャニング、ミラーアライメント、面合わせなどに最適です。 Rotary and Tilt Stage is a series of stages that allows for fine angle adjustment by means of piezo driving. Although the maximum angular displacement is small, these stages have characteristics such as high-speed response and excellent position reproducibility and they are optimal for laser beam scanning, mirror and plane alignment, etc. 標準直動ステージ STANDARD LINEAR STAGE 『回転・チルトステージ』は、ピエゾ駆動による微小な角度調整が行えるラインナップです。 最大角度変位量は小さいながら、高速応答性、高い位置再現性といった特性を備えており ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PT ［ピエゾステージ OPTICAL 光学ミラー用 FOR MIRROR TILTING ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGE PIEZO STAGE PT For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］回転・チルトステージ PT2M40-800S PT2M(θx /θy) PT1M36-500S 型番 Model No. 最大振れ角 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 最大振れ角 Deflection angle 分解能 Resolution 分解能 Resolution Resonant frequency 8000Hz at 7g モーメント剛性 Moment stiffness 1N at 0g 共振周波数 Resonant frequency 4100Hz 330Hz at 50g 250Hz モーメント剛性 Moment stiffness 290秒/Nm （θx）4200,（θy）4300秒/Nm リニアリティ Linearity 0.2% 静電容量 Capacitance 1.4μF 静電容量 Capacitance 0.75μF/axis 本体質量 Weight 100g 本体質量 Weight アルミ （B） ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 300g Surface treatment :（B）Black alumite］ Aluminum+Steel ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理／ （N） 無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（B） Black alumite /（N） Electroless nickel plating ］ PT1M36-500S PT1M36-500S-N PT2M40-800S PT2M40-800S-N OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ 2-Sensor Cables 7 30 4-φ3.5 Holes 32 36 42 16 60 40 Piezo Cable 4 5 6 16 18 29 4- R 8 SIMPLE ACTUATOR Cable Length 2m 簡易型 アクチュエータ Sensor Cable 22 超精密加工機用 Cable Length 2m STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 36 2-Piezo Cables 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ 25 アルミ （B） +鋼（N） 本体材質 （表面処理）Body material Aluminum ROTARY AND TILT STAGE 0.2% 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity 本体材質 （表面処理）Body material APERTURE SHAPE STAGE 共振周波数 （θx/θy）±0.05秒（≒±0.24μrad） 耐荷重 Load capacity 0.3N at 0g （θx/θy）0.05秒（≒0.24μrad） 繰り返し位置決め精度 Repeatability ±0.05秒 （≒±0.24μrad） 耐荷重 Load capacity （θx/θy）800秒（≒0.22°） （≒3.9mrad） 開口付きステージ 繰り返し位置決め精度 Repeatability PT2M40-800S Deflection angle 0.05秒 （≒0.24μrad） STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 標準直動ステージ PT1M(θx) 20 4-M3 Depth 4 16 4-M2 Depth 4 16 16 8-M3 Depth 4 IMPACT ACTUATOR 40 45 インパクト アクチュエータ 16 ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 最大振れ角 2000 a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Deflection angle 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） 1500 Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 1000 500 0 0 100 200 搭載負荷 300 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 36 PT1M36-500S-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 37 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PT1M36-500S PT2M40-800S 2500 PIEZO DRIVER Resonant frequency PT1M,PT2M ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 3000 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ チルト／回転 TILTING ／ ROTARY PT1T60-500S PT1C［回転 Rotary］ 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 最大振れ角 Deflection angle 分解能 Resolution 0.2秒（≒1.0μrad） ±0.05秒 （≒±0.24μrad） ±0.2秒 （≒±1.0μrad） at 0g Resonant frequency at 100g モーメント剛性 Moment stiffness 400秒/Nm 10N 10N 640Hz 240Hz 250Hz 160Hz 2500秒/Nm 2300秒/Nm リニアリティ Linearity 0.2% 0.2% 静電容量 Capacitance 2.8μF 静電容量 Capacitance 2.8μF 3.4μF 本体質量 Weight 300g 本体質量 Weight 200g 300g アルミ （B） アルミ （B） アルミ （B） 本体材質 （表面処理）Body material 本体材質 （表面処理）Body material Aluminum ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 Surface treatment :（B）Black alumite］ Aluminum ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理 Surface treatment :（B）Black alumite］ PT1C60-800S PT1C60-800S-N Piezo Cable PT1C60–1800S PT1C60-1800S-N 4-φ4.5 Holes, C'bored Depth 15 4-M2 Depth 3 4-M3 Depth 4 φ40 φ16 (Clear Aperture) 40 32 40 70 Sensor Cable Piezo Cable 60 40 60 19.5 Cable Length 2m 20 SIMPLE ACTUATOR 50 29 Sensor Cable 簡易型 アクチュエータ 8-M2 Depth 3 30 Piezo Cable 30 4-M3 Depth 3 38 25 16 50 60 29 4-φ4.5 Holes, φ8C'bored Depth16 3-φ4.5 Holes,φ8 C'bored Depth 23 超精密加工機用 16 25 32 4-M3 Depth 6 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY Cable Length 2m 20 60 5 Sensor Cable 50 Cable Length 2m OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ PT1T60-500S PT1T60-500S-N Aluminum ROTARY AND TILT STAGE 0.2% 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity 開口付きステージ 0.05秒（≒0.24μrad） 共振周波数 600Hz モーメント剛性 Moment stiffness 1800秒（≒0.50°） （≒8.7mrad） 耐荷重 Load capacity 1800Hz at 100g 800秒（≒0.22°） （≒3.9mrad） APERTURE SHAPE STAGE Resonant frequency 最大振れ角 繰り返し位置決め精度 Repeatability 10N at 0g PT1C60-1800S 分解能 Resolution ±0.02秒 （≒±0.10μrad） 耐荷重 Load capacity PT1C60-800S Deflection angle 0.02秒 （≒0.10μrad） 繰り返し位置決め精度 Repeatability 型番 Model No. STANDARD LINEAR STAGE PT1T60-500S 型番 Model No. 標準直動ステージ PT1T［チルト Tilting ］ 共振周波数 ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGE PIEZO STAGE STAGES PT For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］回転・チルトステージ 60 IMPACT ACTUATOR インパクト アクチュエータ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 800 600 400 200 0 100 200 300 400 搭載負荷 500 Load［g］ 回転 PT1C PT1C60-800S PT1C60-1800S 400 最大振れ角 300 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 200 100 0 a Deflection angle 0 100 200 300 400 搭載負荷 500 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 38 PT1T60-500S-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 39 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PT1T60-500S 1000 0 500 PIEZO DRIVER Resonant frequency チルト PT1T ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 1200 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ ／ ゴニオ／傾斜+昇降 GONIOMETRY INCLINATION + LIFTING PT3V80F-400S PT3V［ 傾斜＋昇降 Inclination+Lifting ］ PT1G100-500S 型番 Model No. 最大振れ角 300秒 （≒0.08°） （≒1.5mrad） 500秒 （≒0.14°） （≒2.4mrad） 最大振れ角 0.02秒 （≒0.10μrad） 0.02秒 （≒0.10μrad） ±0.02秒 （≒±0.10μrad） ±0.02秒 （≒±0.10μrad） Deflection angle 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability at 0g at 100g 20N 260Hz 260Hz 230Hz モーメント剛性 Moment stiffness （Z）2nm （Z）10nm （θx/θy）0.02秒（≒0.10μrad） ±0.02秒 （≒±0.10μrad） 230Hz 0.2% 0.2% （θx）390秒/Nm,（θy）320秒/Nm,（Z）1.0μm/N （θx）420秒/Nm,（θy）330秒/Nm,（Z）2.0μm/N 静電容量 Capacitance 4.8μF 4.8μF リニアリティ Linearity 0.2% 0.2% 本体質量 Weight 700g 700g 静電容量 Capacitance 2.8μF/axis 6.8μF/axis アルミ （B）+鋼 （N） アルミ （B）+鋼 （N） ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理／（N） 無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］ at 100g 230Hz モーメント剛性 Moment stiffness Aluminum+Steel 本体質量 Weight 1200g 1000g 本体材質 Body material 鋼（N） アルミ （W）+鋼 （N） Steel Aluminum+Steel ［ 表面処理： （W） 白アルマイト処理／ （N）無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（W） White alumite /（N）Electroless nickel plating ］ 88 100 36 26 36 16 50 68 70 80 3-Sensor Cables 3-Piezo Cables 16 Piezo Cable Z2 Cable Length 2m Z1 Z1 16 25 Cable Length 2m 70 88 90 16 25 SIMPLE ACTUATOR Cable Length 2m Sensor Cable Z3 80 Cable Length 2m 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 8-M4 Depth 6 4-M3 Depth 6 Sensor Cable Piezo Cable Z2 31 IMPACT ACTUATOR インパクト アクチュエータ 32 31 32 100 簡易型 アクチュエータ 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 24 8-M4 Depth 6 4-M3 Depth 6 Z3 Rotation Center 100 Rotation Center 50 26 30 90 70 50 32 4-φ4.5Holes, φ8 C'bored Depth 25 3-Pivot Points 8-M4 Depth 4 9-M3 Depth 4 超精密加工機用 90 100 PT3V100-800S PT3V100-800S-N STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 30 90 70 50 32 4-φ4.5Holes,φ8 C'bored Depth 25 3-Pivot Point 9-M3 Depth 4 3-Sensor Cables 100 PT3V80F–400S PT3V80F–400S-N 68 PT1G100-500S PT1G100-500S-N 100 PT1G100-300S PT1G100-300S-N OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ 対物レンズ フォーカス用 ■寸法図［Drawings］ 190Hz ROTARY AND TILT STAGE 270Hz at 0g 回転・チルト ステージ リニアリティ Linearity ±0.04秒 （≒±0.19μrad） 10N Resonant frequency 68.7秒/Nm （θx/θy）0.04秒（≒0.19μrad） 10N 共振周波数 240Hz Aluminum+Steel （≒3.9mrad） （θx/θy）±800秒（≒0.22°） （Z）300μm 耐荷重 Load capacity 28.6秒/Nm 本体材質 （表面処理）Body material （≒1.9mrad） （θx/θy）±400秒（≒0.11°） （Z）100μm 繰り返し位置決め精度 Repeatability 3-Piezo Cables Resonant frequency 20N 分解能 Resolution PT3V100-800S APERTURE SHAPE STAGE 耐荷重 Load capacity 傾斜 Inclination 昇降 Lifting 傾斜 Inclination 昇降 Lifting Deflection angle PT3V80F-400S 開口付きステージ PT1G100-300S STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 標準直動ステージ PT1G［ゴニオ Goniometry ］ 共振周波数 ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGE PIEZO STAGE STAGES PT For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］回転・チルトステージ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 共 振 周波 数［Hz］ Resonant frequency 200 100 0 300 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ 傾斜＋昇降 PT3V PT3V80F-400S PT3V100-800S 最大振れ角 200 a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Deflection angle 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 100 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 40 PT1G100-300S-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し（オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 41 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PT1G100-300S PT1G100-500S PIEZO DRIVER Resonant frequency ゴニオ PT1G ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 300 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 用途 Examples of applications 対物レンズフォーカス用 OBJECTIVE LENS FOCUSING 横型 HORIZONTAL TYPE／ 縦型 VERTICAL TYPE／ 箱形 BOX TYPE ・画像処理機器 Image processors ・共焦点顕微鏡 Confocal microscopes ・レーザ加工 Laser processing ・半導体、 FPD検査装置 ・干渉計形状測定 STANDARD LINEAR STAGE Interferometer shape measurement 形状 ストローク Shape 分解能 Travel Range Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability 呼び径 Nominal diameter 小径 選べる3つのタイプ 1nm 15μm Small dia. ±1nm 大径 3 types are available Large dia. 箱型タイプ Box type 独自の方向変換機構により、本体を 薄くしたまま上下方向に動作します。 ストロークの種類も豊富です。 剛性が高く応答性を重視した構造です。 重いレンズや高速フォーカスを求める 用途に適しています。 対物レンズを中心とした対称形両持ち 構造とし、製造・検査装置への組み込み 搭載に適したタイプです。4本のねじで 確実に設置固定します。 2nm 200μm This type has an object center impeller structure centered at the objective lens and is suited for integration into manufacturing/inspection devices. It is securely installed and fixed by 4 screws. 300μm 大径 ±5nm 10nm ±10nm 20nm ±20nm 分解能 繰り返し位置決め精度 Large dia. 大径 Large dia. 大径 Large dia. P44∼ PFHW**-200U PFHW**-300U PFHW**-400U Travel distance (Target position) タイプ Type 形状 Shape ストローク Travel Range Resolution Repeatability 呼び径 Nominal diameter 小径 2nm 100μm Vertical type ±2nm 大径 Large dia. 各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・M20.32×0.706 ・M25×0.75 ・M26×0.706 ・M32×0.75 We can also provide customized fine adjustment mechanisms for special large-size lens focusing or a revolver for objective lens. タイプ Type 形状 Shape ストローク Travel Range 30μm 箱型 100μm 各メーカのねじ径に対応できるよう数種類のねじサイズを えています。 また、オプションでねじ径変換リングも用意しています。 Several screw sizes are available to ensure compatibility with thread diameters of various brands.A thread diameter conversion ring is also available as an option. レボルバ用ステージ Stage for a revolver レボルバ取付例 Attaching example 分解能 繰り返し位置決め精度 1nm ±1nm PFB**-30U 2nm ±2nm PFB**-100U 10nm ±10nm PFB**-300U Resolution Repeatability 型番 Model No. 掲載頁 Page P48∼ PIEZO DRIVER 300μm P46∼ PFVW**-100U 注）1. ストローク量を表す棒線の長さは選定のための目安です。Length of the bar lines that represent the travel range is only for reference for selection. 2. 形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective pages. 43 ドライバ Box type PFVC**-100U CONTROLLER ねじ径 Thread diameter 特殊大型レンズのフォーカス調整や レボルバの微調機構もご相談ください。 Page コントローラ Objective lens of various brand can be fitted 掲載頁 IMPACT ACTUATOR 縦型 Small dia. 型番 Model No. インパクト アクチュエータ 時間 [msec] Time 42 PFHW**-100U SIMPLE ACTUATOR 5nm PFHC**-100U 簡易型 アクチュエータ 移動量 [ μm] 大径 Large dia. Horizontal type 400μm 20mm ±2nm PFHW**-015U 超精密加工機用 This type has a high rigidity and responsive structure.This is suited for applications with heavy lens or requiring high-speed focusing. 100μm 横型 PFHC**-015U STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY Thanks to its unique change-direction mechanism, it may move up and down even with the thin body part.There is also a variety of stroke types. 小径 Small dia. Page OBJECTIVE LENS FOCUSING 縦型タイプ Vertical type 掲載頁 対物レンズ フォーカス用 横型タイプ Horizontal type 型番 Model No. ROTARY AND TILT STAGE Type 回転・チルト ステージ 型タイプ APERTURE SHAPE STAGE ラインナップ Lineup 開口付きステージ 『対物レンズフォーカス用』は、対物レンズの焦点調整用に専用設計したステージです。 顕微鏡や各種の検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります。 特徴 Features 標準直動ステージ ・高速フォーカス High-speed focusing Semiconductor & FPD-related Inspections Stages for Objective Lens Focusing are exclusively designed for focusing of objective lens. Being integrated in a microscope or inspection/measurement and observation devices, they can speed-up lens focusing and improve the accuracy. ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PF ［ピエゾステージ PFHW PFHC**-015U, 100U 5nm 10nm 20nm ±1nm ±2nm ±5nm ±10nm ±20nm 2” / 1” / 2” 1” / 1” / 2” 3” / 1” / 2” 2” / 1” / 2” 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 370Hz 300Hz 240Hz 1.78μm/N 1.80μm/N 2.99μm/N 4.16μm/N 5.95μm/N 0.1% 0.1% 0.1% 0.1% 0.2% 6.8μF 6.8μF 6.8μF 160g 160g 160g 290Hz 0.62μm/N 0.86μm/N 0.1% 0.1% 2.8μF 2.8μF 110g 430Hz 160g 110g 160g 180Hz 50 Sensor Cable Cable Length 2m φ14 150Hz Aluminum+Steel ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理／（R） レイデント Surface treatment :（B）Black alumite /（R） Raydent］ φ14 M20.32×0.706 M25×0.75 M20.32×0.706 M25×0.75 M20.32×0.706 M25×0.75 φ32.5 φ32.5 66 58 PFHW**- 015U, 100U, 200U, 300U, 400U PFHW**- 015U-N, 100U-N, 200U-N, 300U-N, 400U-N 32 M32×0.75 大径のみ選択可 Large diameter only 正立用 For upright R 倒立用 For inverted mark R Different large diameter and small diameter blank N mark N Built-in displacement sensor 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） ■共振周波数［Resonant frequency］ 横型 PFHC,PFHW 500 Thread diameter of M20.32 on both revolver and objective lens sides, upright, 200μm and integral sensor PFHW2020-200U PFHW**-200U PFHW**-300U PFHW**-400U 300 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver 200 100 0 0 100 200 300 400 搭載負荷 500 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 45 ドライバ レボルバ側、対物レンズ側ともねじ径M20.32、 正立用、 200μm、 センサ内蔵の場合 PFHC**-015U PFHW**-015U PFHC**-100U PFHW**-100U 400 ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ PIEZO DRIVER Large dia. ●型番例 Model No. example ※The diameter of a screw changes according to model No. ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 変位センサ無し （オープンループ動作） PFHC Small dia. ※The diameter of a screw changes according to model No. Capacitive Sensor (closed loop) No displacement sensor (open loop) 68 CONTROLLER 無記名 φ42 φ42 コントローラ ④内蔵変位センサ PFHW M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 76 共 振 周波 数［Hz］ blank 大径・小径の違い M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 Upright / inverted 無記名 M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 IMPACT ACTUATOR ③正立 / 倒立 φ14 8 ※レボルバ側と対物レンズ側で異なるねじ径の組み合わせでも選択可能 A combination of different thread diameters on the revolver side and objective lens side is also possible M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 インパクト アクチュエータ Revolver side thread diameter 44 φ14 ※上記以外のねじ径についてはお問い合わせください。 For thread sizes other than those listed above, please contact us. レボルバ側ねじ径 Outside dia. of lens 60 60 大径のみ選択可 Large diameter only Cable Length 2m 20 Objective lens side thread diameter M26×0.706 13 対物レンズ側ねじ径 26 26 Uplight / inverted M25×0.75 Cable Length 2m Sensor Cable SIMPLE ACTUATOR 正立/倒立選択 25 Piezo Cable A 簡易型 アクチュエータ Travel range Piezo Cable A M20.32×0.706 8 Built-in displacement sensor A 倒立用 Inverted 20 内蔵変位センサ 20 A 倒立用 Inverted Resonant frequency ストローク ①レボルバ側ねじ径 Revolver side thread diameter ②対物レンズ側ねじ径 Objective lens side thread diameter STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY ④ 正立用 Upright 超精密加工機用 ■型番構成［Composition of model No.］ ①②③ ※The diameter of a screw changes according to model No. ※The diameter of a screw changes according to model No. 正立用 Upright PFHC＊＊＊-015U-＊ M20.32×0.706 M25×0.75 OBJECTIVE LENS FOCUSING アルミ （B）+鋼（R） 本体材質 （表面処理）Body material Piezo Cable A Cable Length 2m 対物レンズ フォーカス用 220Hz 390Hz 470Hz Select from the following table 270Hz 520Hz 680Hz 静電容量 Capacitance 本体質量 Weight Piezo Cable A 下表から選択 950Hz A 倒立用 Inverted 13 26 at 120g A 倒立用 Inverted ROTARY AND TILT STAGE Resonant frequency Large dia. 回転・チルト ステージ at 0g Large dia. 2nm 適用ねじ径 Applicable thread dia. 共振周波数 大径 Large dia. 1nm 2” / 1” / 1” Pitching/Yawing/Rolling 400μm 8 ピッチング/ヨーイング/ローリング 大径 13 Repeatability Large dia. 300μm 大径 APERTURE SHAPE STAGE 繰り返し位置決め精度 Small dia. 200μm 開口付きステージ 分解能 Resolution Large dia. 大径 26 Small dia. 小径 8 呼び径 Nominal diameter 100μm 大径 20 15μm 小径 50 クローズ時 Closed-loop Travel range 正立用 Upright 20 ストローク 正立用 Upright STANDARD LINEAR STAGE PFHC**-015U PFHW**-015U PFHC**-100U PFHW**-100U PFHW**-200U PFHW**-300U PFHW**-400U 型番 Model No. PFHC**-015U-N, 100U-N 標準直動ステージ PFHC［小径 Small diameter］／PFHW［大径 Large diameter］ ■寸法図［Drawings］ 13 26 横型 HORIZONTAL TYPE ピエゾステージ “PIEZO STAGE” FOR OBJECTIVE LENS PIEZO STAGE PF For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］対物レンズフォーカス用 PFVW PFVC**-100U PFVC**-100U-N クローズ時 ストローク Travel range 49 40 PFVW**-100U A 100μm Closed loop 小径 呼び径 Nominal diameter 大径 Small dia. A A Large dia. A 2nm ±2nm ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 1” / 3” / 1” φ15 1.09μm/N リニアリティ Linearity 静電容量 Capacitance 250g 39.5 65 300g ※The diameter of a screw changes according to stage form. Surface treatment :（B） Black alumite］ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. PFVC＊＊-100U-＊ ③ 内蔵変位センサ ストローク Built-in displacement sensor Objective lens side thread diameter 25 M25×0.75 26 M26×0.706 大径のみ選択可 Large diameter only 32 M32×0.75 大径のみ選択可 Large diameter only SIMPLE ACTUATOR 対物レンズ側ねじ径 M20.32×0.706 ※レボルバ側と対物レンズ側で異なるねじ径の組み合わせでも選択可能 A combination of different thread diameters on the revolver side and objective lens side is also possible ※上記以外のねじ径についてはお問い合わせください。 For thread sizes other than those listed above, please contact us. レボルバ側ねじ径 無記名 blank 大径・小径の違い N mark N Different large diameter and small diameter IMPACT ACTUATOR ③内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Outside dia. of lens Thread diameter of M20.32 on both revolver and objective lens sides, upright, 100μm and integral sensor PFVC2020-100U 共 振 周波 数［Hz］ 300 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver 200 100 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 47 ドライバ レボルバ側、対物レンズ側ともねじ径M20.32、 正立用、 100μm、 センサ内蔵の場合 400 PIEZO DRIVER ●型番例 Model No. example PFVC Resonant frequency Small dia. PFVC**-100U PFVW**-100U 500 コントローラ 600 Large dia. ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 縦型 PFVC,PFVW PFVW インパクト アクチュエータ Revolver side thread diameter 46 簡易型 アクチュエータ Travel range 20 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY ①② ①レボルバ側ねじ径 Revolver side thread diameter ②対物レンズ側ねじ径 Objective lens side thread diameter 超精密加工機用 ■型番構成［Composition of model No.］ OBJECTIVE LENS FOCUSING Piezo Cable Sensor Cable 対物レンズ フォーカス用 Piezo Cable Sensor Cable Aluminum ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 71 ※The diameter of a screw changes according to stage form. アルミ （B） 本体材質（表面処理）Body material 13 13 Cable Length 2m φ33 6.8μF 本体質量 Weight 20.5 M20.32×0.706 M25×0.75 Cable Length 2m 0.1% M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 51.5 0.72μm/N ROTARY AND TILT STAGE 390Hz M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 回転・チルト ステージ 剛性 Stiffness 750Hz 470Hz 2.5 1000Hz at 120g Select from the following table 51.5 at 0g Resonant frequency 1” / 2” / 1“ M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 下表から選択 適用ねじ径 Applicable thread dia. 共振周波数 φ15 APERTURE SHAPE STAGE 繰り返し位置決め精度 Repeatability 開口付きステージ 分解能 Resolution STANDARD LINEAR STAGE PFVC**-100U PFVW**-100U PFVW**-100U-N 標準直動ステージ PFVC［小径 Small diameter］／PFVW［大径 Large diameter］ 型番 Model No. ■寸法図［Drawings］ 18 縦型 VERTICAL TYPE ピエゾステージ “PIEZO STAGE” FOR OBJECTIVE LENS PIEZO STAGE PF For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］対物レンズフォーカス用 “PIEZO STAGE” FOR OBJECTIVE LENS PFB*-300U ■寸法図［Drawings］ PFB*-030U PFB*-030U-N 80 6 60 100μm 300μm 1nm 2nm 10nm ±1nm ±2nm ±10nm 2” / 2” / 2” 2” / 2” / 2” Closed loop 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 1” / 1” / 1” 60 30μm クローズ時 下表から選択 耐荷重 Load capacity at 0g 共振周波数 Resonant frequency 3100Hz at 300g Select from the following table 210Hz 490Hz 0.02μm/N 0.40μm/N 1.98μm/N リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance 10.2μF 13.4μF 13.4μF 600g 600g 剛性 Stiffness 本体質量 Weight 600g φ25 φ42 Aluminum Surface treatment :（B） Black alumite］ OBJECTIVE LENS FOCUSING PFB*-100U, 300U PFB*-100U-N, 300U-N ■型番構成［Composition of model No.］ Built-in displacement sensor Travel range M20.32×0.706 25 M25×0.75 26 M26×0.706 60 20 86 内蔵変位センサ Objective side thread diameter A ②内蔵変位センサ Capacitive Sensor (closed loop) φ25 変位センサ無し （オープンループ動作） No displacement sensor (open loop) Sensor Cable M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 50 mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH103 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Multiple-axis controller Piezo Driver 500 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 48 多軸コントローラ Single-axis controller Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 49 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ 1000 単軸コントローラ PIEZO DRIVER Resonant frequency PFB**-030U PFB**-100U PFB**-300U 1500 φ42 コントローラ 2000 ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 箱型 PFB IMPACT ACTUATOR N Cable Length 2m Built-in displacement sensor インパクト アクチュエータ blank Piezo Cable 12.5 無記名 70 80 SIMPLE ACTUATOR Objective side thread diameter 簡易型 アクチュエータ ※上記以外のねじ径についてはお問い合わせください。 For thread sizes other than those listed above, please contact us. 対物レンズ側ねじ径 A 超精密加工機用 ①対物レンズ側ねじ径 4-M5, φ8 C'bored Depth 42 (From the back) STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY PFB＊-030U-＊ ストローク M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 対物レンズ フォーカス用 ［ 表面処理： （B）黒アルマイト処理 ② Cable Length 2m アルミ （B） 本体材質（表面処理）Body material ① Piezo Cable ROTARY AND TILT STAGE 150Hz 4-M4 Depth 8 回転・チルト ステージ 330Hz A 12.5 1800Hz Sensor Cable A 開口付きステージ PFB*-300U APERTURE SHAPE STAGE PFB*-100U 50 ストローク Travel range PFB*-030 STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 4-R20 標準直動ステージ PFB 80 箱型 BOX TYPE ピエゾステージ For delivery time and prices, please refer to P6 P6 PIEZO STAGE PF 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］対物レンズフォーカス用 Accessories for object lens focusing stage 対物レンズフォーカス用ステージの取付方法 ●横型 For delivery time and prices, please refer to P6 How to set a stage of objective lens focusing Horizontal type ・ 「横型用レボルバ取付リング」をレボルバに締め込みセットします。 ・ Tighten the revolver fitting ring for Horizontal type into the revolver. Revolver fitting ring for Horizontal type 横型本体 工具 Horizontal type body Ring tightening tool セットボルト Set bolt ・ Fit the objective lens to the Horizontal type body. 六角ドライバ Hex driver APERTURE SHAPE STAGE 対物レンズ Objective lens 型番 Model No. 横型用レボルバ取付リング PFRA20：M20.32×0.706 PFRA25：M25×0.75 PFRA26：M26×0.706 PFRA32：M32×0.75 Revolver fitting ring for Horizontal type φ36 φ15 ・ Tighten the revolver fitting ring for Vertical type into the revolver. 工具 Ring tightening tool ・ Fit the objective lens to the Vertical type body. ・ Fit the Vertical type body into the revolver fitting ring and insert the tip pin of the supplied tool. Then rotate it clockwise until it stops. 12 5 6 Vertical type body 対物レンズ Objective lens SIMPLE ACTUATOR Box type ・箱型本体に対物レンズを取り付けます。 M5ネジ ・箱型本体と取付面を合わせ、M5ネジで上側から、 またはM4ネジで下側から固定します。 M5 screw 5 型番 Model No. PFRD20：M20.32×0.706 PFRD25：M25×0.75 PFRD26：M26×0.706 Thread conversion adaptor コントローラ 5.5 Box type body CONTROLLER ねじ径変換アダプタ （横型／縦型 共通） 箱型本体 M32×0.75 IMPACT ACTUATOR Fitting plane ・ Align the Box type body with the fitting plane and fix it with M5 screws from the top side or M4 screws from the down side. インパクト アクチュエータ 取付面 ・ Fit the objective lens to the Box type body. PFRD 簡易型 アクチュエータ ●箱型 超精密加工機用 5 縦型本体 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 6 φ14 10.9 PFRB20：M20.32×0.706 PFRB25：M25×0.75 PFRB26：M26×0.706 PFRB32：M32×0.75 ・縦型本体をレボルバ取付リングにはめ込み、 付属の工具の先端ピンを差し込んで 右回しに動かなくなるまで回して固定します。 Revolver fitting ring for Vertical type OBJECTIVE LENS FOCUSING 型番 Model No. ・縦型本体に対物レンズを取り付けます。 縦型用レボルバ取付リング 対物レンズ フォーカス用 PFRA ・ 「縦型用レボルバ取付リング」をレボルバに締め込みセットします。 ROTARY AND TILT STAGE Revolver fitting ring for Vertical type Vertical type 回転・チルト ステージ 縦型用レボルバ取付リング ●縦型 開口付きステージ ・ Fit the Horizontal type body into the revolver fitting ring and fix it by set bolts by using the supplied hex driver. STANDARD LINEAR STAGE ・横型本体をレボルバ取付リングにはめ込み、 付属の六角ドライバを用いてセットボルトで固定します。 横型用レボルバ取付リング 標準直動ステージ ・横型本体に対物レンズを取り付けます。 PFRB ピエゾステージ 対物レンズフォーカス用アクセサリ P6 PIEZO STAGE 納期、価格についてはこちらを参照ください。 φ33 対物レンズ Objective lens 50 51 ドライバ M4 screw PIEZO DRIVER M4ネジ 用途 Examples of applications 超精密加工機用 STAGE FOR ULTRA-PRECISION MACHINERY X軸 AXIS／ XY軸 AXES ・高速工具制御 High-speed tool control, FTS ・ワーク位置決め Work positioning ・微細切削、 研削加工 Fine cutting and grinding ・高荷重物の精密位置決め 軸 形状 ストローク Shape Travel range 他のピエゾステージと比較して数倍大きな発生力を持つ 積層型圧電素子を選定しています。 80μm ストローク Travel range 3000 4000 PU1H150F-060U 2nm ±2nm PU1L70F-080U 分解能 繰り返し位置決め精度 Repeatability Model No. 1nm ±1nm PU2H70F-030U Ultra-prevision feeding of tool edge ［外付けドライバの追加 Addition of external driver ］ 加工機用ステージを高速駆動させるには大きな電流が必要となり、コントローラに備わっているピエゾドライバでは容量が不足します。 この場合、外付けのピエゾドライバを接続することで、高速駆動が可能になります。 Large current is required for high-speed driving of a stage for processing machinery and the capacity of the driver equipped on the controller is not sufficient. Therefore, connect an external driver to proceed with high-speed driving. CONTROLLER アナログ入力 RS232C ステップ分解能 Step resolution センサケーブル For continuous driving of a sine wave with increased frequency, etc., an external driver with high output current capacity should be used. PIEZO DRIVER 周波数を上げた正弦波などの連続駆動には、 高い出力電流容量を備えた外付けドライバを用います。 指令ポジションへの精密位置決めの場合は、 コントローラに直接接続して動作可能です。 For precision positioning to the command position, the stage and the controller can be directly connected. 53 ドライバ コントローラ NCS6000/NCS7000 ピエゾケーブル 本体サイズ：80×90×35mm 本体材質： 鋼材 PU2H90F-030U 高出力ピエゾドライバ PH301 / PH601 35mm PU1H80F-030U ±1nm コントローラ Unlike vibration cutting, tool position is precisely controlled by means of feedback control by the built-in displacement sensor. 1nm IMPACT ACTUATOR 振動切削とは違い、内蔵変位センサによるフィードバック制御で 工具の送り量を高精度にコントロールしています。 Page インパクト アクチュエータ 工具刃先の超高精度送り 掲載頁 SIMPLE ACTUATOR example. Piezo-electric elements used vary depending on stages. 型番 注）1. ストローク量を表す棒線の長さは選定のための目安です。Length of the bar lines that represent the travel range is only for reference for selection. 2. 形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective pages. 加工機用ステージ 52 ±2nm 簡易型 アクチュエータ 850［N］ 30μm 1nm 本体サイズ：80×80×20mm 本体材質： 鋼材 2nm P56∼ Axes 精密加工機用 ステージ 20mm PU1H80F-030U Resolution 30μm XY軸 本体比較例 PS1H80F-030U ±1nm 超精密加工機用 2000 発生力［N］ ※1軸ステージの比較例です。使用する圧電素子はステージ種類により異なります。 ※Comparison 形状 Shape 3500［N］ ※custom 1700［N］ 1000 Piezo-electric element of standard linear stages 標準直動ステージ 1nm STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY Axis 直動ステージの 圧電素子 The main unit is made of steel in order to ensure the stability during processing. The structure is so robust that the processing accuracy is not impaired by chatter vibration, etc. PU1H70F-012U Stacked piezo-electric elements that has a generative force several times as large as that of other Piezo Stage products are used. Piezo-electric element of stages for processing machinery High rigidity ±1nm Page Piezo-electric elements with large generative force is used 軸 加工時の安定性を確保するため本体材質として 鋼材を使用。ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない 堅牢な本体構造となっています。 60μm 大発生力圧電素子を選定 加工機用ステージの 圧電素子 堅牢な本体 1nm 掲載頁 OBJECTIVE LENS FOCUSING Processing fluid and anti-mist measures are applied to the sealed structure to prevent even tiny chips from entering. 型番 対物レンズ フォーカス用 Dust-proof and drip-proof measures Model No. P54∼ Axis 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、 小さな切り などの浸入も防ぎます。 Repeatability ROTARY AND TILT STAGE 30μm X軸 繰り返し位置決め精度 回転・チルト ステージ 12μm 特徴 Features 分解能 Resolution 開口付きステージ ラインナップ Lineup Axis 防塵防滴の対策 Precision positioning of high load object 標準直動ステージ ・精密金型加工 Precision metal processing APERTURE SHAPE STAGE Stage for Ultra-precision Machinery is a stage that realizes the nano-micro-processing for ultra-precision cutting. This can control the positioning at high rate and high accuracy for the tool cutting and work (processing object) movement. ・ダイヤモンドバイトの送り Diamond bit feeding STANDARD LINEAR STAGE 『超精密加工機用』は、精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工物）の移動を高速・高精度に位置制御できます。 ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PU ［ピエゾステージ “PIEZO STAGE” FOR ULTRA-PRECISION MACHINERY AXIS PU1L ストローク Travel range PU1H150F-060U 12μm 30μm 60μm 1nm 1nm 2nm ±1nm ±1nm ±2nm 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” 1” / 1” / 1” クローズ時 Closed-loop 分解能 Resolution 繰り返し位置決め精度 Repeatability ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity PU1L70F-080U 型番 Model No. クローズ時 Closed-loop ストローク Travel range 80μm 分解能 Resolution 2nm 繰り返し位置決め精度 Repeatability ±2nm ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 1” / 1” / 1” 耐荷重 Load capacity 50N 50N 50N 2200Hz 1900Hz 650Hz 550Hz （1kg） 共振周波数 0.01μm/N 0.02μm/N 0.03μm/N 剛性 Stiffness リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 0.1% リニアリティ Linearity 0.1% 静電容量 Capacitance 5.4μF 13.6μF 27.2μF 静電容量 Capacitance 6.8μF 本体質量 Weight 1300g 1700g 5000g 本体質量 Weight 1500g 本体材質（表面処理）Body material 鋼 （N） 鋼 （N） 鋼 （N） 本体材質（表面処理）Body material 鋼（N） 共振周波数 Resonant frequency at 100g 2700Hz 剛性 Stiffness Steel Steel PU1H70F-012U PU1H70F-012U-N PU1H80F-030U PU1H80F-030U-N 760Hz 0.19μm/N Steel ［ 表面処理： （N）無電解ニッケルメッキ ■寸法図［Drawings］ Surface treatment :（N） Electroless nickel plating］ PU1H150F-060U PU1H150F-060U-N PU1L70F-080U PU1L70F-080U-N 35 10 20 28 50 70 Cable Length 2m Sensor Cable 120 46 20 Sensor Cable 15 50 70 90 Piezo Cable 4-φ5.5 Holes, φ9.5 C'bored Depth 20 19 15 Sensor Cable Cable Length 2m PU1H80F-012U PU1H80F-030U PU1H150F-060U PU1L70F-080U 2500 2000 PU1H70F-012U-＊ ストローク 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH301 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Travel range Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 1000 500 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (Closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） Without sensor (Open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 55 ドライバ 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） 1500 0 a PIEZO DRIVER 共 振 周波 数［Hz］ PU1H,PU1L ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER Resonant frequency ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. Piezo Cable ■共振周波数［Resonant frequency］ 54 40 70 80 39.5 33 34 2-M4 Depth 6 40 31 4-M4 Depth 8 IMPACT ACTUATOR 80 Ground Cable 6-M6 Depth 9 15 インパクト アクチュエータ 40 Piezo Cable 2-M4 Depth 4 32 10 20 45 16 40 60 70 16 4-φ5.5 Holes, φ9.5 C'bored Depth 21 4-M3 Depth 6 SIMPLE ACTUATOR Piezo Cable 15 7 11 簡易型 アクチュエータ Sensor Cable 20 12 150 12-M4 Depth 8 4-φ5.5 Holes 34.5 6 8 4-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth 12 8-M3 Depth 4 9 50 15 24 105 Ground Cable 16 16 10 10 90 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 138 110 65 超精密加工機用 150 9 OBJECTIVE LENS FOCUSING ■寸法図［Drawings］ Surface treatment :（N）Electroless nickel plating］ at 100g 対物レンズ フォーカス用 ［ 表面処理： （N） 無電解ニッケルメッキ Resonant frequency 1000Hz ROTARY AND TILT STAGE Steel at 0g 回転・チルト ステージ 50N 4300Hz at 0g 開口付きステージ PU1H80F-030U APERTURE SHAPE STAGE PU1H70F-012U STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 標準直動ステージ PU1H 3000 ピエゾステージ PU X軸 For delivery time and prices, please refer to P6 P6 PIEZO STAGE 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］超精密加工機用 PU2H70F-030U PU2H70F-030U-N 繰り返し位置決め精度 Repeatability （X,Y）±1nm 1” / 1” / 1” 2” / 1” / 1” ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling 耐荷重 Load capacity at 0g 共振周波数 Resonant frequency at 100g 50N 30N 1800Hz 890Hz 1400Hz 剛性 Stiffness 16 （X,Y）±1nm 2-Piezo Cables 40 （X,Y） 1nm 16 （X,Y） 1nm 分解能 Resolution 30 810Hz リニアリティ Linearity 0.1% 0.1% 静電容量 Capacitance （X,Y）3.4μF （X,Y）6.8μF 本体質量 Weight 1500g 3000g 本体材質（表面処理）Body material 鋼 （N） 鋼 （N） Steel 15 5 ROTARY AND TILT STAGE （X,Y） 0.04μm/N 100 40 60 Steel Surface treatment :（N） Electroless nickel plating］ OBJECTIVE LENS FOCUSING 80 50 32 50 2-Sensor Cables SIMPLE ACTUATOR 90 4-φ4.5 Holes, φ8 C'bored Depth 4.5 4-M4 Depth 6 4-M3 Depth 6 2-Piezo Cables 簡易型 アクチュエータ 80 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 32 超精密加工機用 90 PU2H90F-030U PU2H90F-030U-N 対物レンズ フォーカス用 ［ 表面処理： （N） 無電解ニッケルメッキ 回転・チルト ステージ （X,Y）0.05μm/N 開口付きステージ （X,Y） 30μm 8-M3 Depth 4 2-Sensor Cables APERTURE SHAPE STAGE （X,Y） 30μm 6-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth 12 33 クローズ時 Closed-loop PU2H90F-030U 34 ストローク Travel range PU2H70F-030U 1-Ground Cable STANDARD LINEAR STAGE 型番 Model No. 移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。 The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 標準直動ステージ PU2H ■寸法図［Drawings］ 60 PU2H90F-030U 70 AXES ピエゾステージ “PIEZO STAGE” FOR ULTRA-PRECISION MACHINERY PIEZO STAGE PU XY軸 For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ［ピエゾステージ］超精密加工機用 Cable Length 2m 37 36.5 IMPACT ACTUATOR インパクト アクチュエータ ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 1600 ストローク a 単軸コントローラ 多軸コントローラ ピエゾドライバ NCS6000,7000 NCM6000,7000 PH301 単軸専用コントローラ。 コンパクトで低コスト。 Up to 3 axes can be controlled. Single-axis controller Multiple-axis controller Piezo Driver Travel range 1200 外形寸法 （長方形の場合は短辺を表記） Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong) 800 400 0 0 200 400 600 800 搭載負荷 1000 Load［g］ ・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage. ・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load. 56 PU2H70F-030U-＊ a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor 無記名 blank N mark N 静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作） Capacitive Sensor (Closed loop) 変位センサ無し （オープンループ動作） Without sensor (Open loop) Controller dedicated to single axis type. Compact and low cost. P64∼ 最大3軸まで接続可能。 内蔵変位センサ無しの オープンループ時に使用。 Used for open loop without built-in displacement sensor. P70∼ 57 ドライバ 共 振 周波 数［Hz］ PU2H70F-030U PU2H90F-030U PIEZO DRIVER Resonant frequency PU2H ■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］ コントローラ 2000 ■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］ CONTROLLER ■共振周波数［Resonant frequency］ 簡易型アクチュエータ SIMPLE ACTUATOR 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ ・圧電素子に予圧をかけてヒンジ機構に組み込んだアクチュエータです。 ・Actuator with piezo-electric element integrated in the hinge mechanism by preloading. ・Threaded holes are prepared on the fixing and traveling surfaces for ease of installation. ・The standard cable length is 2 m and the cable end is a lead wire (discrete wire). Upon request, we can also provide longer cable length and BNC connectors. ・固定面と移動面にネジ穴を設け簡単に取り付けできます。 ・ケーブル長は標準2m、ケーブル端はリード線（バラ線）です。 ご要望に応じ、ケーブル長延長やBNCコネクタなどにも対応します。 22 15 20 24 14 18 20 26 24 26 32 61 55 61 35 Fine adjustment in nanometers ・固着や滑り（スティックスリップ） の無いスムーズな動作 Utilization of piezo-electric element in experiments and research & development Smooth operations with no anchoring or slippage (stick slip) PE1H-016U PE1H-032U PE1H-038U ストローク （オープンループ）Travel range (Open loop) 14μm 16μm 32μm 38μm 発生力 Generated force 900N 3500N 1000N 4200N 共振周波数 （at 0g）Resonant frequency 2500Hz 本体材質 （表面処理）Body material アルミ （B） Aluminum 1800Hz 3500Hz 1800Hz アルミ （B） アルミ （B） アルミ （B） Aluminum Aluminum Aluminum ［ 表面処理： （B） 黒アルマイト処理 変位量 (μm) 1 回目 2 回目以降 クリープ現象 最小変位量 0 0 定格電圧 ヒステリシス 58 電圧 （V） 0 10 クリープ 20 時間（分） 36 28 20 10 36 13 28 34 6 6 18 10 ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 型番 Model No. ストローク （オープンループ）Travel range (Open loop) 発生力 Generated force 共振周波数 （at 0g）Resonant frequency 本体材質 （表面処理）Body material PE1L-100U PE1L-300U 100μm 300μm 50N 60N 450Hz 250Hz 鋼（N） 鋼 （N） Steel Steel ［ 表面処理： （N）無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（N）Electroless nickel plating ］ 59 ドライバ ステップ電圧入力 Low-noise driver for driving a simple actuator. There are 3 types and each corresponds to certain output current magnitude. For details of the driver, please refer to Page 70. Resin Sealed PIEZO DRIVER 圧電履歴 （圧電ドリフト） 10 Piezo Driver for driving In open loop operations, hysteresis and creeping occur. 30 70 20 簡易アクチュエータを駆動するための低ノイズドライバです。 出力電流の大きさにより3タイプ用意しています。 ドライバの詳細はP70をご覧ください。 Resin Sealed 30 コントローラ オープンループ動作となるため、ヒステリシスやクリープが生じます。 Hysteresis and creeping 5 40 50 CONTROLLER 駆動用ピエゾドライバ 2-M3 Depth 6 2-M3 Depth 6 5 ヒステリシスとクリープ 6-φ3.5 Holes, φ6.5C'bored Depth 3.5 PE1L-300U 20 Several times longer stroke than that of single piezo-electric element. As it is horizontally mounted and displaced in the perpendicular directions, integration with thinner wall is possible. 4-φ3.5 Holes, φ6.5C'bored Depth 3.5 10 A type focusing on response and generative force. Stable operations are endured even under high load. PE1L-100U IMPACT ACTUATOR 圧電素子単体の数倍のストロークを備えています。 横置きで垂直方向に変位するため厚さを抑えた組み込みが可能です。 インパクト アクチュエータ 応答性と発生力を重視したタイプです。 高負荷でも安定した動作が行えます。 30 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ SIMPLE ACTUATOR 直接駆動機構［Direct-drive mechanism］ ・ケーブル長は標準2m、ケーブル端はリード線（バラ線）です。 ご要望に応じ、ケーブル長延長やBNCコネクタなどにも対応します。 簡易型 アクチュエータ Direct-drive type and Displacement magnification mechanism type ・An actuator with a long travel range realized by its displacement magnification mechanism. ・Elastic hinge guide does not cause friction and backlash and is suitable for scanning and fine operations. ・The standard cable length is 2 m and the cable end is a lead wire (discrete wire). Upon request, we can also provide longer cable length and BNC connectors. 13 直接駆動タイプと変位拡大機構タイプ ・弾性ヒンジガイドのため摩擦やバックラッシュが無く、 スキャニングや微細な動作に適しています。 超精密加工機用 ・変位拡大機構により長ストロークが得られるアクチュエータです。 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 変位拡大機構［Displacement magnification mechanism］ 特徴 Features 最大変位量 Surface treatment :（B）Black alumite］ OBJECTIVE LENS FOCUSING ・実験や研究開発における圧電素子の利用 PE1H-014U 型番 Model No. 対物レンズ フォーカス用 Integration of piezo-electric actuator into a device 変位量 (μm) 6 6 12 12 6 6 6 6 6 12 12 41 41 ・ナノメートル単位の微調動作 ROTARY AND TILT STAGE ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in figure by applying the voltage. 回転・チルト ステージ 6 55 32 35 Simple Actuator is an actuator with the piezo-electric element integrated in its elastic hinge mechanism. Tapped holes help fixing and removal while the travel guide helps achieving highly linear movement. No built-in displacement sensor. 用途 Examples of applications 30 22 15 22 15 30 22 15 30 14 18 APERTURE SHAPE STAGE 変位センサは内蔵しておりません。 開口付きステージ 『簡易型アクチュエータ』は、圧電素子を弾性ヒンジ機構に組み込んだ構造のアクチュエータです。 タップ穴付きで固定や取り外しが簡単に行え、移動ガイドを備えているため真直性の高い動きが得られます。 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 2-M3 Depth 5 PE1H-038U 30 2-M3 Depth 5 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 2-M3 Depth 5 PE1H-032U 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 2-M3 Depth 5 標準直動ステージ PE1H-016U 4-φ3.5 Holes, φ6.5 C'bored Depth 4.5 STANDARD LINEAR STAGE PE1H-014U ・圧電アクチュエータの機器組み込み ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PE ［ピエゾステージ For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 用途 Examples of applications インパクトアクチュエータ IMPACT ACTUATOR ・仮締め状態の部品の位置決め Positioning of temporarily tightened parts ・精密圧入 Precision press-in ・ディスクや回転部品のセンタリング Centering of discs and rotary parts ・レンズの芯出し Lens centering ・レーザオプティクスの光軸調整 Optical axis adjustment for laser optics ・加振源 Oscillation source Impact Actuator is an electric hammer that applies a striking force to the work (object) to move it by using the inertia force of rapid expansion and contraction of the piezo-electric actuator. The actuator can be used for fine position adjustment of components during assembly and rotation centering, etc. ROTARY AND TILT STAGE 構造 回転させながらの芯出し調整のような使い方には、 1本のアクチュエータで調整します。 2-way adjustment 1-way adjustment As 1 actuator works in 1 direction, locate 2 opposed actuators for traveling in both directions. 圧電素子 For applications such as centering adjustment while rotating, etc., use 1 actuator for adjustment. Piezo-electric element SIMPLE ACTUATOR 0 0 0.005 0.01 The top end of the actuator is abruptly elongated in sub-milliseconds to impact an object and then quickly returns to its original position. Displacement of the top end that instantaneously jumps out varies depending on the set impact intensity. The jump-out amount of the top end is not the travel distance 60 インパクトアクチュエータ Impact actuator エアシリンダ Air cylinder インパクトアクチュエータ PP103 使用の場合 ①インパクト力：大 ステップ移動量：約1.9μm / step ②インパクト力：中 ステップ移動量：約1.1μm / step PIEZO DRIVER アクチュエータの先端部はサブミリ秒の短時間で急峻に伸長し、接触した対象物に打撃力を与え、直ちに元の位置に戻ります。 瞬間的に飛び出す先端部の変位量は、設定したインパクト強度に応じて変わります。 先端の飛び出し量がそのまま対象物の移動量ではありません。 （ストロークという考え方ではありません） 面 動ガイド：摩擦係数 0.22 インパクト対象物：質量 10.4 ［kg］, 材質SUS エア圧：約0.2MPa 固定治具 Fixture 61 ドライバ 時間 [sec] Time 0.015 ■測定条件 CONTROLLER 5 移動データ例 Data example コントローラ 大 中 小 10 IMPACT ACTUATOR Displacement of the top end 先端部変位量 [μm] 周波数：100Hz インパクト力 15 インパクト アクチュエータ Displacement of actuator top end under impact 簡易型 アクチュエータ インパクト時のアクチュエータ先端部の変位量 超精密加工機用 1本のアクチュエータで1方向の移動のみとなりますので、 両方向への移動には対向した2本のアクチュエータを配置します。 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 一方向調整 OBJECTIVE LENS FOCUSING Top end（impact part） 両方向調整 対物レンズ フォーカス用 先端部（インパクト部） アクチュエータの配置 Actuator location 回転・チルト ステージ 特徴 Features Rear end（fixing weight） 開口付きステージ APERTURE SHAPE STAGE 組み立て途中の部品の微細位置調整や、回転芯出しなどに応用できます。 後端おもり 標準直動ステージ STANDARD LINEAR STAGE 『インパクトアクチュエータ』は、圧電アクチュエータを急峻に伸縮させたときの慣性力を利用し、 ワーク（対象物）に打撃力を与えて移動させる電子ハンマーです。 Mechanism ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PP ［ピエゾステージ PP 102 インパクトアクチュエータを駆動させるための専用コントローラ・ドライバです。 （注）ピエゾステージ用のコントローラやドライバではインパクトアクチュエータは駆動できません。 φ14 h9 Piezo Cable A dedicated controller driver to drive the impact actuator. Note : The controllers and drivers for Piezo Stage cannot drive the impact actuator. 8 10 62 種類 Type Piezo Cable SD301 型番 Model No. φ18 h9 PP 103 多軸用 Multi-axes 1軸専用 Single-axis 3.3 φ18 φ10 8 44 10 70 外観 Appearance ・アクチュエータを1本だけ接続し駆動できます。 ・コントローラとドライバを1ケースに収めコンパクトです。 ・安価です。 Piezo Cable 主な特徴 M3 Depth 4 ・1 actuator can be connected for driving. ・The controller and driver are housed in 1 case for space saving. ・Price reasonable. φ6 φ12 φ40 Main features 11 67 1本, 1 Axis 1∼8本, 1∼8 Axes 10パターン固定（1,2,3,5,10,20,30,40,50,100Hz） Fixed 10 patterns 10パターン任意割り当て（1∼100Hz max） Any 10 patterns can be allocated 外部I/O External I/O RS232C Connectable number of actuator PP102 型番 Model No. PP103 最大発生力※ Generated force PP104 850N インターフェース Interface 17μm 35μm 共振周波数 Resonant frequency 16kHz 7kHz 6.5kHz ※使用する圧電素子へのDC電圧印加時の静的特性値です。 5 φ 6 3 4 先端コマ例2 Example 5 10 φ 6 先端コマ例3 Example ■パネル機能 Panel function SD301 フロント Front panel 対象物への押し当て Pressing against object パルスの繰り返し周波数を設定します MAGNITUDE EMERGENCY パルス強度調整用ツマミです 非常停止ボタン OVERLOAD 手動式 ピーク電流を超過すると、 出力が停止し点灯します Manual type INTERNAL / EXTERNAL パルス制御を外部から行う場合に 切り替えます リア The easy-to-hold pencil shape can be pushed against any point by hand. The unit can also be turned ON/OFF by hand. インパクト周波数の設定 STRENGTH （矢印） ボタン押下でアクチュエータが 動作します インパクト強度の設定 EXTERNAL I/O 外部からの制御信号の入力端子です OUTPUT PCリモート操作と ハンディターミナル操作の 切り替えボタンです GROUP A, B アクチュエータの 接続端子です アクチュエータの接続端子です 63 ドライバ This can automate approaching/evacuating and is suited for control of multiple axes. Air pressure serves as the rear end weight, so the impact force can be compensated by air pressure adjustment. SPEED ボタン押下で連続動作モードに なります PIEZO DRIVER 62 ペンシル型でホールドし易い形状とし、手に持って 任意の箇所に押し当てて使うことができます。 手元操作でON-OFFができます。 出力するGROUP軸の設定 REPEAT REMOTE／MANUAL Rear panel 近接・退避の自動化が可能となり、複数軸の制御に適しています。 エアー押圧が後端おもりの役割となり、 エアー圧の調整でインパクト力を補完できます。 AXIS CONTROLLER Air cylinder type ST1000 + SC1000 + SD101C コントローラ エアシリンダ式 FREQUENCY IMPACT ACTUATOR Example 12.7 ST1000 : 0.7kg , SC1000 : 0.8kg , SD101C : 5.0kg インパクト アクチュエータ 先端コマ例1 4 3kg SR φ 1 5 W180×D240×H100mm 本体質量 Weight M3 φ 6 62VA ST1000 : W110×D189×H60mm, SC1000 : W190×D200×H54mm, SD101C : W260×D350×H88mm SIMPLE ACTUATOR 18 5 0. SR 50VA 簡易型 アクチュエータ The tip contacting an object may be removed and replaced with a preferred shape. 4 AC100 V ±10%, 50/60 Hz 外形寸法 Dimensions 対象物に接する先端コマは、外して任意の形状に付け替えできます。 (5) 電源 Power supply 消費電力 Power consumption 先端コマの形状例 Example of tip shape M3 過電流保護回路 Overcurrent protective circuit 保護回路 Protect circuit 超精密加工機用 9μm STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 最大変位量※ Displacement M3 パルス周期 Pulse cycle OBJECTIVE LENS FOCUSING アクチュエータ接続本数 対物レンズ フォーカス用 8 ・This consists of 3 units: a handy terminal (ST1000), a controller (SC1000) and a driver (SD101C). ・Up to 8 actuators can be connected and driving axis switching and intensity setting can be easily performed by using the handy terminal. ・RS232C interface is available, so command control by PC is also possible. ROTARY AND TILT STAGE Cable Length 1m 回転・チルト ステージ PP 104 ・ハンディターミナル（ST1000） とコントローラ （SC1000） と ドライバ（SD101C） の3体で構成されます。 ・アクチュエータを最大8本接続でき、 ハンディターミナルで 駆動軸の切り替えや強度設定も簡単に行えます。 ・RS232Cインターフェース付きでPCによる指令制御も可能です。 APERTURE SHAPE STAGE M3 Depth 6 開口付きステージ φ6 SC1000+ST1000+SD101C 標準直動ステージ 37 M3 Depth 6 φ10 STANDARD LINEAR STAGE φ13.6 3.3 φ6 Cable Length 1m Cable Length 1m ピエゾステージ コントローラ・ドライバ Controller / Driver PIEZO STAGE インパクトアクチュエータ Impact actuator For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 各インターフェースと機能 Interfaces and functions 制御コントローラ ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE NC ［ピエゾステージ CONTROLLER ①PI（D）ゲイントリマ PI（D）Gain trimmer ②LED サーボ切替 ③差分信号 Differencial signal A controller for Piezo Stage driving control. With integral control circuit, driver and displacement sensor amplifier, the controller is directly connected with the Piezo Stage to control the closed loop. High-precision positioning without hysteresis and creeping is possible. Piezo voltage monitor 軽量コンパクト 1∼3軸までスロット用意 安価 将来的な軸の追加が可能 Slot for axes 1-3 are prepared Axis can be added later Response characteristics can be tuned by PI（D）gain trimmer PID gain adjustment trimmer is located on top. Each gain value can be tuned freely according to Piezo Stage connected and use conditions. D 単軸専用×3台より低コスト I P Cost less than 3 single-axis units Three options of control interface ※7000 series Sensor monitor to output the signals from the displacement sensor in the Piezo Stage as voltage and differential signals to output the deviation between the command signal and actual operation are provided. Operation status of the stage can be observed in real time by using an oscilloscope, etc. コントローラ出力端子 センサモニタ 指令信号 差分信号 Command signal ■ゲインオーバー Over gain センサモニタ Sensor monitor 差分信号 Differential signal ピエゾステージから出ているピエゾケーブルとセンサケーブルを 直接コントローラにつなぐだけですぐに使えます。 Control board, driver board and displacement sensor amplifier board all in one unit This controller is ready for use just by connecting the piezo cable and sensor cable from the Piezo Stage directly to the controller. ピエゾステージ Piezo stage 変位センサ Displacement sensor Standard Piezo driver Control board センサアンプ基板 Sensor amplifier Analog command function is available to all models as an input interface to give position commands to the Piezo Stage. Digital command (serial and parallel) function is also available as an option. For details of selection, refer to P67. 標準装備 ピエゾドライバ基板 制御基板 Choices of position command input interface 位置指令信号 Position command signal オプション Option Analog input 単機能シリアル Limited-function serial オプション 高機能シリアル オプション パラレル Option Option 64 アナログ入力 High-function serial コントローラ Controller ピエゾドライバ Status indicator LEDs Power 電源ON時に点灯 lluminated when power is ON Overflow ドライバ出力電圧が仕様値を越えた場合に点灯 lluminated when the driver output voltage exceeds the specification value Piezo driver Overload 制御基板 保護回路が働きピエゾへの出力遮断時に点灯 Control board 変位センサアンプ lluminated when the output to the Piezo is shut off by the protective circuit Sensor amplifier Parallel 65 ドライバ Piezo-electric element Controller 多軸コントローラ Multi-axis controller ピエゾステージに位置指令を与える入力インターフェースとして、 アナログ指令を全機種で標準装置。オプションでデジタル指令 （シリアル、パラレル）を追加できます。 選定の詳細は → P67 状態を知らせるLED② PIEZO DRIVER 圧電素子 コントローラ 単軸コントローラ Single-axis controller 選べる位置指令入力インターフェース④⑥ CONTROLLER A control board for PID analog feedback, an amplifier board for displacement sensor and a piezo-driving driver board are compactly packed into one unit. Just connecting Piezo Stage directly ステージ動作 Piezo stage response コントローラ PIDアナログフィードバックを司る制御基板の他、 変位センサ用アンプ基板とピエゾ駆動ドライバ基板を コンパクトにまとめて搭載しています。 ※縦軸の電圧倍率は各ライン毎に異なります。 指令信号 Position command signal IMPACT ACTUATOR ピエゾステージを直接つなぐだけで すぐに高精度な位置決めが可能 鈍い立ち上がり Slow response インパクト アクチュエータ 1台で、制御基板、ドライバ基板、 変位センサアンプ基板を全て搭載 オーバーシュート とリンギング Ringing, Over shoot SIMPLE ACTUATOR 特徴 Features 簡易型 アクチュエータ ■適正ゲイン Suitable gain ■低ゲイン Low gain Output monitor signals that can visualize the operations STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 制御インターフェースの 選択が多い P・I・Dゲイン調整トリマを上部に配置。接続するピエゾステージや 使用条件に合わせて各ゲイン値を任意にチューニング可能です。 ピエゾステージ内蔵の変位センサ信号を電圧として出力する 「センサモニタ」や、指令信号と実動作の偏差を出力する 「差分信号」を装備。オシロスコープなどでステージの動作状況を リアルタイムに観察できます。 超精密加工機用 Reasonable price 動作を視覚化できる出力モニタ信号③⑤ OBJECTIVE LENS FOCUSING NCM6000, 7000 PI（D）ゲイントリマで 応答特性をチューニング可能① 対物レンズ フォーカス用 NCS6000, 7000 詳細は→P67 ROTARY AND TILT STAGE Multi-axes expansion Light and compact ⑥デジタルインターフェース（オプション） Digital interface (Option) ピエゾドライバモニタ 回転・チルト ステージ 多軸拡張用 Single-axis ④アナログ入力 Analog input APERTURE SHAPE STAGE ヒステリシスやクリープの無い高精度な位置決めが可能です。 単軸専用 ⑤センサモニタ Sensor monitor Servo selector 開口付きステージ ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです。 制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし、 ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます。 標準直動ステージ STANDARD LINEAR STAGE P I ：6000シリーズ PID：7000シリーズ シリーズ Series 6000 7000 6000 7000 型番 Model No. NCS61□□C NCS71□□C NCM6□□□C NCM7□□□C ■機能説明［Function descriptions］ シリーズの選択 6000シリーズ ○ RoHS ○ ○ 7000シリーズ 7000 Series 3軸 3 axes Input ・Easy to use by connecting to USB port on PC ※USB-RS232C converter is separately required. Additional option ・2 or 3 axes can be controlled with commands and monitored by one interface. ・Waveform generation and macro functions are available. ・As digital signals are used, it is less subject to noises. シリアル追加 Serial After purchasing the controller, you can install additional module(s) (separately sold). ●Additional axis module : To be inserted into an empty slot of the multi-axis case(NCM) to add a control axis. ●Digital interface module : Serial or parallel interface can be added. ・軸増設モジュール 1 軸追加 ・シリアル IF モジュール追加 ・Added a control axis ・Added serial IF Serial I/O O.F. コマンド送受信 Offset On Sensor Monitor Off 16bit信号 Offset On Sensor Monitor Off Sensor Input Output Sensor Input Output RS232C ステージ動作 パラレルIF ステージ動作 NANO CONTROL CO.,LTD. NANO CONTROL CO.,LTD. ③単機能シリアル Limited-function serial RS232Cインターフェースでコマンド指令を与えて位置決めします。 コマンド機能を限定したシリアルオプションで、 単軸専用コントローラのみ 選択できます。 To give commands by the RS232C interface to perform positioning. Command functions are limited and only single-axis controller (NCS) can be added. ［選定目安］ ・A/D, D/A分解能が高い（18bit） ・静的位置決め動作のみで、波形生成やマクロ機能は不要 ［Reference for selection］ ・D/A resolution is high (18-bit) ・Basic operations only; no waveform generation and macro functions are used Note: To add module(s), the controller unit must be returned to us. 66 67 ドライバ （注）追加モジュールの増設には、 コントローラ本体を当社に返送いただく必要があります。 パラレルIOボード搭載 パソコン O.F. PIEZO DRIVER ●軸増設モジュール：多軸拡張用 （NCM） の空きスロットに挿入し、制御軸の追加が行えます。 ●デジタルインターフェースモジュール：シリアルまたはパラレルインターフェースを追加できます。 ・軸増設モジュール 1 軸追加 ・Added a control axis Power Over Load Power Over Load パソコンのシリアル インターフェース P ie z o C o n t ro lle r 上位指令機器 P i e z o C o n t ro l l e r 上位指令機器 単機能シリアル追加 Limited-function serial ・High-speed communication with the superior host is enabled to provide commands by parallel binary data. ・As digital signals are used, it is less subject to surrounding noises. ・The parallel cable can be extended to place it farther from the superior host. コントローラ パラレル追加 Parallel コントローラ購入後、追加モジュール（別売）を増設することも可能です。 ・パラレルケーブルを延長し上位ホストと距離が離せる ［Reference for selection］ ［Reference for selection］ 追加オプション 1 2 3 ・波形生成やマクロ機能を備えている ・デジタル信号のためノイズの影響を受けにくい CONTROLLER ■追加ユニット［Additional module］ アナログ電圧のみ Analog voltage ・2軸、3軸でも1つのインターフェースで指令や監視ができる ・パラレルのバイナリデータで指令するため 上位ホストと高速通信可能 ・デジタル信号のため周囲ノイズの影響を受けにくい Set 6000 Series 0 16bitのバイナリデータで位置指令を与えます。 Mon 6000シリーズ 2軸 2 axes ⇒詳細 P68 ［選定目安］ Set 6 7 1軸 1 axis 低ノイズタイプ Low-noise type ステージ動作 NANO CONTROL CO.,LTD. To provide position commands by 16-bit binary data. Mon Selected series 1 2 3 Standard equipment Input端子 To give commands by RS232C interface to perform positioning. ※USB-RS232C変換器が別途必要です。 汎用タイプ General-purpose type Sensor Input Output IMPACT ACTUATOR シリーズ選択 標準装備 D/A変換器搭載 パソコン インパクト アクチュエータ Number of axis 1 2 Sensor Monitor SIMPLE ACTUATOR 多軸拡張用 Multi-axes Input interface Offset On Off 簡易型 アクチュエータ 入力インターフェース O.F. Over Load ②パラレル Parallel ・PCのUSBとつなげて簡単に使える Output current 正弦波入力 ①高機能シリアル High function serial ［選定目安］ 出力電流 ケース種類 Hz デジタル入力は以下の3種類から選択できます。 The following 3 options of digital input are available. RS232Cインターフェースでコマンド指令を与えて位置決めを行います。 NCS 6 1 0 1 C 軸数 ・For continuous scanning operations of sine wave and triangular wave, etc. ・As no A/D and D/A conversion is performed, command signals are processed fast ・Available to all controllers with no additional cost ●デジタル入力（追加オプション）Digital input (Option) ※CE対応は構成により異なります。 詳細はお問い合わせ下さい。 CE Marking varies depending on model No. P ie z o C o n t ro lle r Power ファンクションジェネ レータなどの信号 発生器 Parallel I/O ○ 上位指令機器 超精密加工機用 CE Marking※ ステージ動作 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 5.4kg 正弦波入力 OBJECTIVE LENS FOCUSING 2.7kg 単軸専用 Single-axis ●アナログ入力（標準装備）Analog input (Standard equipment) アナログ電圧 0∼10Vを入力し位置決めを行います。 Analog voltage of 0 to 10 V is input to perform positioning. ［Reference for selection］ W236×D388×H140mm Case type アナログ入力とデジタル入力（3種類）は以下の機能特徴があります。 Functional features of analog input and digital input (3 types) are as follows. 対物レンズ フォーカス用 100VA W87.5×D365×H135.8mm ■型番構成［Composition of model No.］ Input interface ［選定目安］ ・正弦波や三角波など連続したスキャニング動作をさせる ・A/D, D/Aの変換がないため、指令信号に対する処理速度が速い ・標準装備で駆動できリーズナブル AC100∼120V / AC200∼240V 切替式 50VA 入力インターフェース Err. 負荷ショート検出と過熱保護回路による圧電素子の出力遮断 Shut-off of output from piezo-electric element by overheat protective circuit 本体質量 Weight 変位センサ Dゲイン Input センサモニタ, ピエゾモニタ, 差分信号 Sensor monitor, Piezo monitor, differential signal 外形寸法 Dimensions ピエゾ素子 Iゲイン ROTARY AND TILT STAGE Low-noise type : Average current 60mA, Peak current 500mA, Output ripple noise 1mVp-p 消費電力 Power consumption - 回転・チルト ステージ 低ノイズタイプ：平均電流 60mA, ピーク電流 500mA, 出力リップルノイズ 1mVp-p 電源 Power supply + Err. Serial General-purpose type : Average current 40mA, Peak current 120mA, Output ripple noise 5mVp-p 保護回路 Protective circuit 変位センサ Set シリアル （RS232C） Serial or Limited-function serial or Parallel モニタ用出力 Monitor output ピエゾモニタ センサモニタ シリアル （RS232C） または単機能シリアル（RS232C） またはパラレル （16bit） □出力電流 Output current ピエゾアンプ Pゲイン センサモニタ 汎用タイプ：平均電流 40mA, ピーク電流 120mA, 出力リップルノイズ 5mVp-p S M P ゲイン I ゲイン Serial I/O Additional option サーボ切替 ピエゾ素子 - アナログ電圧 0∼10V Analog voltage Standard equipment 追加オプション + LPF アナログ Input ピエゾモニタ PID アナログ PID analog A circuit focusing on high-speed positioning 開口付きステージ Input interface 標準装備 PI アナログ PI analog 高速位置決めを重視した回路です。 APERTURE SHAPE STAGE □入力 インターフェース PID アナログ PID analog シリアル／パラレル Input Input 切替 ピエゾアンプ アナログ Input 7000 series Mon PI アナログ PI analog Feedback control type サーボ切替 7000シリーズ Err. フィードバック制御方式 S スロープ Input □制御軸数 Number of control axes 1∼3軸 1∼3 Axes A circuit focusing on stable positioning control 標準直動ステージ シリアル／パラレル Input Input 切替 位置決めの安定制御を重視した回路です。 STANDARD LINEAR STAGE 外観 1軸 1 Axis Selection of controller series 6000と7000は以下の機能特徴があります。 Functional features of 6000 and 7000 are as follows. 6000 series Appearance ピエゾステージ 多軸拡張用 Multi-axes PIEZO STAGE 単軸専用 Single-axis ケース種類 Case type For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 ●RS-232C シリアルインターフェース 高機能シリアル 単機能シリアル 16bitパラレル Limited-function serial 16bit parallel ・16bitパラレル信号で位置制御が行えます。 ・単軸専用コントローラ（NCS）のみに搭載できます。 （注）多軸コントローラ（NCM）には適用できません。 ・上位の指令装置と接続するためのパラレルケーブル（1.5m）が1本付属します。 Serial interface connector 機能比較 Function comparison ピン番号 信号 Signal 16bit 18bit 1 DATA 0（入力） Input 単軸（NCS） , 多軸 （NCM） の両コントローラ 単軸コントローラ （NCS） のみ 適用コントローラ Available controller Both single（NCS）and multi axis （NCM）controller 通信仕様 Communication specification Pin No. 2 Only added to single-axis （NCS）controller 3 4 ピンアサイン Connector pin assignment 5 6 1 NC データ数 Data number 8bit 8bit 2 RxD 3 TxD 送信データ Sending data ストップビット Stop bit 1bit 1bit 4 NC - None None 5 GND GND 6 NC - フロー制御 Flow control None or RTS/CTS RTS/CTS 7 RTS デリミタ Delimiter CRLF or CR or LF CRLF 8 CTS 9 NC コマンド文字列 サーボ切替コマンド SV Xn 10 12 送信要求 Request to send 送信可能 Transmittable 電圧印加コマンド Voltage application command MR Xn LM Xn1 n2 n3 VA Xn VR Xn PS? X Monitoring command E Xn1 n2 n3 OT? X OL? X 仮想座標コマンド SO X Virtual coordinate command LL Xn SF X WV Xn SN J K L M WV Xn CS J K L M 波形出力コマンド Waveform output command WV Xn TR J K L M WS Xn WSCR MC BG n マクロコマンド Macro command MC ED WAIT n MC SA n MC? n 68 指定軸Xをn （nm） 増減し移動します ○ 指定軸Xに絶対電圧n （V） を出力します ○ 指定軸Xの現在値を （nm） 単位で返します ○ 指定軸Xを始点n1（nm）から終点n2（nm）まで移動速度n3（nm/sec）で等速直線移動します ○ 指定軸Xに電圧n （V） 増減し出力します ○ 指定軸Xの出力電圧を （V） 単位で返します ○ “PS?” や” VL?” の返し値の平均化回数n（1∼64） を設定します 整定範囲を設定できます。 指定軸Xが指令位置に対して±n1 （nm） の範囲にn2回連続 して入ると整定と見なします。 サンプリング時間はn3×0.1（msec） となります。 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 指定軸Xの移動範囲上限をn （nm） に設定します ○ ○ 指定軸Xの現在値を仮想原点に設定します ○ ○ 指定軸Xの移動範囲下限をn （nm） に設定します ○ 実行した仮想原点を解除します ○ 指定軸Xのn（=1∼6）番目の正弦波データを生成します J:振幅（nm）,K:周期（msec）,L:位相（°）,M:オフセット（nm） ○ 指定軸Xのn （=1∼6） 番目の三角波データを生成します ○ “WS” で開始した出力を停止しその位置を保持します ○ 指定軸Xのn （=1∼6） 番目の余弦波データを生成します ○ 生成した波形データ （指定軸Xのn番目） を出力します ※複数軸へ出力指令可能 ○ 3chの中から2軸（AB）を選択して各軸の座標位置J（nm）,K（nm）を中心とする半径N（nm）の円データを生成します ○ n番目のマクロのコマンド列を登録開始します ○ マクロ内で次のコマンド実行までの待ち時間を設定します ○ “WV CR” で生成した波形データを出力します “MC BG” で開始し登録したコマンド列を終了します n番目のマクロを実行します 登録したn番目のマクロのコマンド列の内容を返します ○ ○ ○ ○ +5V 入力 Input OVERLOAD（出力）Output POSITION ERROR（出力）Output NC 24 LDAC（入力）Input 25 GND ［コネクタ：Dsub 25ピン メス Connector：Dsub25 Pin female］ データ信号について Data signals 移動量 Travel range 出力値 Output value DATA 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 0 0V 0x0000 L L L L L L L L L L L L L L L L フルストロークの半分 Half distance 5V 0x7FFF H H H H H H H H H H H H H H H L フルストローク Maximum distance 10V 0xFFFF H H H H H H H H H H H H H H H H ［ L=0±0.5V, H=5±0.5V］ ○ ○ 指定軸Xのピエゾドライバのオーバーロード状態を返します 0:正常時, 1:オーバーロード時 23 ○ ○ “E” コマンドで設定した整定状態を0または1で返します 0:未整定, 1:整定 NC NC 〈付属ケーブル Supplied cable 〉 ケーブル長：1.5m 接続リード線 ○ ○ ○ ○ 〈タイミングチャート Timing chart 〉 ①最初に16bitのDATA信号を確定させます。 ②確定後10μsec以上経過後にLDACを40μsec以上“H” レベルとします。 LDACが “H” レベルになるとDATAが書き換わります。 ③その後LDACを40μsec以上“L” レベルにすると値を保持します。 ④続けて次のDATA信号を確定させます。 − − − − Data 以上からデータを書き換える最短時間は90μsec毎となります。 − − − LDAC − − − − − ［ ○:機能あり/Yes, −:機能なし/No］ アナログ出力 Analog output 10μsec 40μsec 時 間［Time］ 40μsec ①At first, fix the data signal of 16 bits. ②After 10 microseconds or more have passed since it fixed, the LDAC is assumed to be "H" level for 40 microseconds or more. The DATA is rewritten when the LDAC reached to "H" level. ③Retain the value when you make LDAC as "L" level for 40 microseconds or more afterwards ④Fix the following data signal continuously. PIEZO DRIVER WV CR AB J K L M N ○ ○ 22 The minimum time that rewrites data above becomes every 90 microseconds. 69 ドライバ WT X ○ ○ DATA 15（入力） Input NC コントローラ UL Xn Output limit command ○ 21 CONTROLLER 出力制限コマンド 指定軸Xをn （nm） の絶対位置に移動します ○ Limited-function serial DATA 13（入力） Input 20 IMPACT ACTUATOR モニタ用コマンド AV n 指定軸Xのサーボ設定状態を読み出します 単機能シリアル High-function serial DATA 12（入力） Input インパクト アクチュエータ VL? X 指定軸XのサーボOn （n=1） /Off （n=0）を設定します 高機能シリアル DATA 9（入力） Input DATA 11（入力） Input 19 SIMPLE ACTUATOR Travel command DATA 10（入力） Input 9 13 DATA 7（入力） Input 18 簡易型 アクチュエータ 移動コマンド SV? X MV Xn DATA 8（入力） Input DATA 14（入力） Input 11 DATA 5（入力） Input 17 8 機能 Function Commnad strings DATA 6（入力） Input - 受信データ Receive data DATA 3（入力） Input 16 内容 Object ［コネクタ：Dsub 9ピン オス Male plug］ コマンド名 Command DATA 4（入力） Input 記号 Code 7 DATA 1（入力） Input 超精密加工機用 38400bps 14 15 STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 9600∼115200bps Pin No. DATA 2（入力） Input OBJECTIVE LENS FOCUSING 出荷時 Default value 信号 Signal Pin No. 対物レンズ フォーカス用 パラメータ範囲 Parameter ピン番号 ピン番号 ROTARY AND TILT STAGE A/D, D/Aコンバータ分解能 Converter resolution Servo switching command Parallel interface connector 回転・チルト ステージ 単機能シリアル Limited-function serial 高機能シリアル High-function serial パリティ Parity コントローラに パラレルインターフェース 装着時 ピンアサイン Connector pin assignment 機能比較 Function comparison 通信レート Data rate ・16-bit parallel signals for position control. ・Only compatible with single-axis controller (NCS). Note: Not compatible with multiple-axis controller (NCM). ・1 parallel cable (1.5 m) for connection with a superior command device is supplied. 開口付きステージ コントローラに シリアルインターフェース 装着時 APERTURE SHAPE STAGE ・The serial interface can be selected from 2 types: high-function serial and limited-function serial. ・1 RS-232C cable (cross cable; 2 m) to connect a PC and a controller is supplied. ・A sample program to conduct simple operations is available (free of charge). STANDARD LINEAR STAGE ・シリアルインターフェースは「高機能シリアル」と「単機能シリアル」の2種類から選択できます。 ・PCとコントローラ間を接続するRS-232Cケーブル（クロスケーブル,2m）が1本付属します。 ・簡単な動作を行えるサンプルプログラム（無償）を用意しています。 項目 Model No. Parallel interface 標準直動ステージ High-function serial ●16bit パラレルインターフェース Serial interface ピエゾステージ Digital input options PIEZO STAGE デジタル入力オプション For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。 電圧出力方法 Voltage output method ピエゾドライバ ①マニュアル Manual adjustment PIEZO DRIVER フロントパネルの BIAS ADJUSTMENT ツマミ※1を回して手動で 0∼150Vを出力できます。出力電圧値は表示器※2に示されます。 ※1 10回転ポテンショメータ ※2 PH103除く バイアスアジャストメント Indicator ②外部制御 External control OUTPUT VOLTAGE OVER LOAD Hz リアパネルのInput端子にアナログ電圧（0∼10V）を入力することで、 15倍に増幅された0∼150Vを出力します。任意の波形や周波数で駆動できます。 Apply analog voltage (0-10V) onto the Input terminal on the rear panel to output fifteenfold 0-150 V. It may be driven by any waveform and frequency. BIAS ADJUSTMENT アナログ入力電圧 ファンクション ジェネレータなどの 信号発生器 Signal generator POWER MONITOR リアパネル Rear Input voltage 0 ∼ 10V FAN INPUT EXTERIOR OVER LOAD OUTPUT AC100V FUSE INTERNAL CIRCUIT GND CASE GND 出力電圧 Output voltage ＋ 0 ∼ 150V PC + D/A 変換器 Converter ピエゾステージ （オープンループ） Piezo stage （Open loop） 3タイプの出力電流 3 types of output current 出力電流の違いにより標準容量、中容量、大容量の3タイプをラインナップしています。 接続するピエゾステージの静電容量や駆動条件に合わせて選定できます。 中容量 PH301 大容量 PH601 Large 150 100 1 10 100 周波数［Hz］ Frequency 780Hz 1000 10000 変位量（μm） Displacement 150 OVER LOAD POWER MONITOR 波形発生器 Signal generator ドライバ 加工物 Piezo drover ※オープンループの構成例 Open loop configuration example Work 微小調整（プローブの押圧） 外部でフィードバック制御 先鋭プローブを操作するような、振動の発生しない なめらかな動作でアクチュエータを微細調整したい場合。 フィードバック制御系は別に用意するため、ピエゾステージには 変位センサを内蔵せずオープンループで動作させる場合。 Fine adjustment (prove pressing) External feedback control For fine adjustment of an actuator by vibration-free smooth operations like in pricking of a sharp-pointed probe. For open loop operations without a built-in displacement sensor in the Piezo Stage; a feedback control system is separately prepared. 外部センシング ドライバ External sensing device Piezo draiver 制御機器 Controlled equipment OUTPUT VOLTAGE OVER LOAD 外付け高出力ピエゾドライバ External piezo driver Piezo stage for precision elevation Controller NCS6000 / NCS7000 POWER 対物レンズ用 ステージ Objective lens focusing OVER LOAD BIAS ADJUSTMENT Analog input 50 センサケーブル RS232C （微小力センサ） （Micro force sonsor） MONITOR POWER ドライバ 移動ワーク Work Sensor cable 150 MONITOR OUTPUT VOLTAGE Stage for ultra-precision machinery Piezo driver 過電流保護回路 Overcurrent protective circuit 電流値計算 Current value calculation 許容出力値を超えて動作させた場合や圧電素子が絶縁破壊でショート（短絡）した 場合などは、瞬時に電流供給を停止しオーバーロードランプが点灯します。 ピエゾステージの駆動に必要な電流値は、駆動周波数Hz、印加電圧（振幅）V、アクチュエータの静電容量μFで決まります。 詳しくはP74を参照ください。 When the allowable output value is exceeded during operations, or the pirzo-electric element short-circuits due to insulation breakdown, it promptly stops the current supply and illuminates the overload lamp. オーバーロードランプ Overload lamp Necessary current value to drive piezo stages is determined by drive frequency(Hz), vibration amplitude(V) and capacitance of piezo-electric element(μF). For details to P74. 71 ドライバ 周波数を上げた正弦波などの連続駆動には、高い周波数特性を備えた外付けドライバを用います。 For continuous driving of a sine wave with increased frequency, etc., an external driver with high output current capacity should be used. PIEZO DRIVER ヒステリシス Hysteresis コントローラ BIAS ADJUSTMENT CONTROLLER 100 OVER LOAD 精密昇降ピエゾステージ コントローラ PH301 / PH601 加工機用ステージ 50 100 電圧（V）Voltage OUTPUT VOLTAGE BIAS ADJUSTMENT IMPACT ACTUATOR Regardless of with/without built-in displacement sensor, a large current is required for high-speed reciprocal operations of the Piezo Stage of high resonance frequency. This driver is used as an external device when the standard driver in the controller does not provide sufficient capacity. Stage for ultra-precision machinery インパクト アクチュエータ ●Driving at high frequency POWER MONITOR SIMPLE ACTUATOR ●Open loop operation 0 OVER LOAD BIAS ADJUSTMENT 簡易型 アクチュエータ 変位センサの内蔵有無を問わず、高い共振周波数を備えた ピエゾステージを高速で往復動作させる場合は、 大きな電流値が必要となります。コントローラに内蔵する 標準ドライバで容量が不足する場合に外付けで使用します。 ゼロシフト Zero shift OUTPUT VOLTAGE X 軸ステージ Stage ●高い周波数で駆動する場合 変位センサを内蔵しない ピエゾステージ Piezo stage （No displacement sensor） Piezo driver 精密加工機用 ステージ Red dotted line indicates limited frequency at 120V. 変位センサを内蔵しないピエゾステージや組込型圧電 アクチュエータ（P58）を駆動させる場合に使用します。 フィードバック制御を行わないためヒステリシスや クリープといった圧電特性が現れます。 DC OFFSET 70 380Hz 16Hz ●オープンループで動作させる場合 POWER ドライバ 波形発生器 Signal generator 超精密加工機用 50 ピエゾドライバの適用例 Examples of piezo application 簡易型アクチュエータ Simple actuator As an external driver for high-speed driving for which the output current of a Piezo Driver with a built-in controller is not sufficient. 赤点 線 矢 印 は 120V出力時に 駆動できる限界 周波数 75 25 The driver is used for driving of a Piezo Stage with no built-in displacement sensor or an embedded piezo-electric actuator (Page 58). Piezo-electric characteristics such as hysteresis and creeping are observed because no feedback control is performed. External equipment for high-speed driving Amplitude driving without need for precision positioning, like continuous reciprocal operations in a frictional wear test. PH103 PH301 PH601 125 0 Simple vibrating operations STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 出力可能電圧［V］ Output voltage Medium コントローラ内蔵のピエゾドライバでは出力電流が 不足するような高速駆動を行うときの外部ドライバとして。 OBJECTIVE LENS FOCUSING Standard ■「出力電圧−駆動周波数」比較例（圧電素子容量10.2μFを接続時） Comparative example of operating limits with piezo-electric element in 10.2μF 高速駆動時の外付け 摩擦摩耗試験における連続往復動作のような、 精密位置決めを必要としない振幅駆動。 対物レンズ フォーカス用 3 types are provided for different output currents: standard, medium and large capacity. You can select an appropriate one according to the capacitance and driving conditions of the Piezo Stage to connect. 単純振動動作 ROTARY AND TILT STAGE 使用例 Examples of use 回転・チルト ステージ 特徴 Features APERTURE SHAPE STAGE A low-noise driver to apply voltage on the Piezo Stage to drive it. This can be used as an external power source for open loop operations of the stage and high-speed driving that requires a large current. フロントパネル Front 電圧出力機器例 開口付きステージ ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです。 ステージをオープンループで動作させる場合や、大きな電流を必要とする高速駆動時の外部電源として使用できます。 STANDARD LINEAR STAGE Bias adjustment ※1 10-rotation potentiomete ※2 Except PH103 標準直動ステージ 電圧印加表示 Turn the BIAS ADJUSTMENT knob※1 on the front panel to manually output 0-150 V. The output voltage value is indicated by the indicator ※2. 標準容量 PH103 ピエゾステージ PIEZO STAGE ］ PIEZO STAGE PH ［ピエゾステージ 型番 Model No. ■パネル機能［Panel function］ PH103 PH301 PH601 標準容量 中容量 大容量 Standard capacity Medium capacity 標準容量 PH103 Standard フロントパネル Front Large capacity 出力電圧 Output voltage 0∼150V 増幅度 Gain 中容量 PH301 Medium 15倍 15times 40mA 1A 2A ピーク Peak 500mA ±5A ±10A バイアスアジャストメント Option ⑤ 3.5桁表示 3.5digit 3.5桁表示 3.5digit 大容量 PH601 フロントパネル Front AC100V-120V AC200V-240V 切替式, 50/60Hz 230VA ⑥ 500VA 12.8kg CE Marking − − − RoHS ○ ○ ○ ⑤ 番号 Number ⑧ 機能 Function 内容 Description 現在の出力電圧を表示します。 Display Indicates the current output voltage. ② 出力調整ツマミ マニュアルで印加電圧を可変できるダイアルツマミです。 ③ オーバーロードランプ Over load Illuminated and shuts off the output when the overcurrent protective circuit is activated. It is turned off and the system is restored when the lamp is pressed. ④ 電源スイッチ 電源のOn/Offスイッチです。 Power switch A power On/Off switch. ⑤ 出力モニタ端子 圧電素子への印加電圧の1/15を出力します。 Output monitor Outputs 1/15 of the applied voltage on the piezo-electric element. ⑥ 指令信号入力部 制御信号の入力端子です。 入力レンジは0∼10Vです。 Input control signal A control signal input terminal.The input range is 0-10 V. ⑦ 電圧出力部 電圧0∼150Vを出力します。 ステージのピエゾケーブルをつなぎます。 過電流保護回路が作動したときにランプが点灯し出力を遮断します。 ランプを押すと消灯し復帰します。 An external terminal for the protective circuit. Protective circuit external I/O B : N.C. C : RESET D : N.C. E : COM 1 : OVER LOAD 2 : OVER LOAD_COM 3 : RESET 4 : COM 5∼9 : N.C. PIEZO DRIVER 72 保護回路外部I/O （ピンアサイン） （Connector pin assignment） 〈PH601のみ〉 〈Only PH601〉 A : OVER LOAD Dsub 9ピン （メス） 73 ドライバ ⑧ CONTROLLER Voltage of 0-150 V is output. Connects with stage’ s piezo cable. 保護回路の外部出力端子です。 IMPACT ACTUATOR Output A dial knob to manually vary the applied voltage. コントローラ 出力電圧表示 インパクト アクチュエータ ① Bias adjustment SIMPLE ACTUATOR 7.5kg ⑦ 簡易型 アクチュエータ 2.8kg ④ STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY W320×D384×H156mm ② 超精密加工機用 30VA ③ ① AC100V ±10%, 50/60Hz W260×D314×H139mm PH103 モニタ表示オプション時 Display option リアルパネル Rear OBJECTIVE LENS FOCUSING Large W210×D252×H96mm 本体質量 Weight ⑦ 対物レンズ フォーカス用 外形寸法 Dimensions ④ 有 Equipped 過電流保護回路 Overcurrent protection 消費電力 Power consumption ② ⑧ ⑥ 5mVp-p 出力電圧の1/15 Fifteenth part of output voltage モニタ出力 Monitor output 電源 Power supply ③ 有 Equipped Bias adjustment モニタ表示 Display ① ROTARY AND TILT STAGE 1mVp-p リアルパネル Rear 回転・チルト ステージ 平均 Average フロントパネル Front 開口付きステージ 0∼10V APERTURE SHAPE STAGE 入力電圧 Input voltage 出力リップルノイズ Ripple noise ⑤ 1軸 1Axis Number of connectable axis Output current ④ ⑦ STANDARD LINEAR STAGE ③ 標準直動ステージ ⑥ Type 出力電流 リアルパネル Rear ② タイプ 接続可能軸数 ピエゾステージ ■ピエゾドライバ仕様［Specifications］ For delivery time and prices, please refer to P6 P6 PIEZO STAGE 納期、価格についてはこちらを参照ください。 Capacity selection of controller and piezo driver Frequency characteristic of controller/driver for sine wave drive Calculation of output current コントローラ 汎用タイプ ピエゾドライバ及びピエゾコントローラの容量は、下記の3項目による出力電流から選定します。 Select the capacity of the controller and the piezo driver from the following three conditions. 150 Controller,general-purpose type Piezo driver ②使用する変位量に相当する駆動電圧 Driving voltage that corresponds to amount of displacement used. 平均出力電流 : 40mA ③圧電素子を駆動する波形 Waveform that drives piezo-electric element. Average output current Cpzt : 圧電素子の静電容量［F］Capacitance of piezo-electric element [F] T = T1,T2 : 立ち上がり、立ち下がり時間［S］ コントローラ 低ノイズタイプ 150 Controller,low-noise type 平均出力電流 : 60mA 〔正弦波駆動 Sine wave drive〕 Average output current 10V 0V 125 0.75 1.4 2.1 2.8 3.4 4.8 5.4 6.8 13.6 19.2 100 75 50 25 時間 Time 0 1 10 Vp-p 0V 正弦波（sin波）駆動をする場合の出力電流は、 The output current when the sine wave drive is done under the following condition can be obtained by the following equation.Capacitance of piezo-electric element (2.8uF), Driving voltage (120V), Frequency (20Hz) 時間 Time 出力電流 Output current 平均出力電流 : 1A 時間 Time Average output current 125 パルス駆動をする場合の出力電流は、 従って、ピーク電流34mA以上のピエゾドライバが必要となります。 Therefore, the piezo driver of the peak output current 34mA or more is needed. 100 1000 10000 100000 周波数［Hz］Frequency 入力電圧 Input voltage 10V 0V 出力電圧 Output voltage 時間 Time ピエゾドライバ PH601 Piezo driver 平均出力電流 : 2A 150V Average output current Vp-p 0V T1 出力電流 Output current Ip T2 時間 Time Iave 時間 Time 150 静電容量［μF］ Capacitance 125 0.75 1.4 2.1 2.8 3.4 4.8 5.4 6.8 13.6 19.2 100 75 50 25 0 1 10 100 1000 10000 100000 周波数［Hz］Frequency 74 75 ドライバ Ip = 2.8 × 10 -6 × 120 / 0.01 ≒ 34mA 10 PIEZO DRIVER The output current when the pulse is driven under the following condition can be obtained by the following equation.Capacitance of piezo-electric element (2.8uF), Driving voltage (120V), Response time (10msec) 1 〔パルス駆動 Pulse drive〕 出力可能電圧 ［V］ Output voltage （例）圧電素子の静電容量2.8μF、 駆動電圧120V、応答時間10msecで 0 コントローラ f = 1 / T = Ip /（ Cpzt × Vp-p ） 50 CONTROLLER Formula that obtains drive frequency from output current. 75 IMPACT ACTUATOR ●出力電流から駆動周波数を求める方法 100 インパクト アクチュエータ Ip = Cpzt × Vp-p / T 0.75 1.4 2.1 2.8 3.4 4.8 5.4 6.8 13.6 19.2 25 パルス駆動 Pulse drive Formula that obtains output current from drive frequency. 静電容量［μF］ Capacitance SIMPLE ACTUATOR Ip-p Therefore, the piezo driver of the average output current 13mA or more is needed. ●駆動周波数から出力電流を算出する方法 10000 150 Piezo driver Iave 従って、平均電流13mA以上のピエゾドライバが必要となります。 1000 簡易型 アクチュエータ Iave = 2 × 20 × 2.8 × 10 -6 × 120 ≒ 13mA ピエゾドライバ PH301 出力可能電圧 ［V］ Output voltage （例）圧電素子の静電容量2.8μF、 駆動電圧120V、周波数20Hzで 100 周波数［Hz］Frequency STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY 150V 超精密加工機用 出力電圧 Output voltage OBJECTIVE LENS FOCUSING 入力電圧 Input voltage 静電容量［μF］ Capacitance 対物レンズ フォーカス用 f = Iave /（ 2 × Cpzt × Vp-p ） 10000 Rise time and/or fall time [S] ●平均電流から駆動周波数を求める方法 Formula that obtains drive frequency from output current. 1000 ROTARY AND TILT STAGE Ip-p = 2 × π × f × Cpzt × Vp-p から Iave = 2 × Ip / π（ Ip = Ip-p / 2 より）を代入して次式が得られます。 Iave = 2 × f × Cpzt × Vp-p 100 回転・チルト ステージ Formula that obtains output current from drive frequency. 10 : ピーク出力電流［A］Peak output current [A] 正弦波駆動 Sine wave drive ●駆動周波数から出力電流を算出する方法 1 周波数［Hz］Frequency 出力可能電圧 ［V］ Output voltage Vp-p : 出力電圧振幅p-p値［V］Peak-to-peak output voltage [V] Ip 0 開口付きステージ Iave : 平均出力電流［A］Average output current [A] : 駆動周波数［Hz］Operating frequency[Hz] 50 25 Ip-p : 出力電流振幅p-p値［A］Peak-to-peak output current [A] f 75 APERTURE SHAPE STAGE ここでは正弦波とパルス駆動における算出方法を記します。 Calculation method in the sine wave and pulse drive is as follows. 100 標準直動ステージ ①圧電素子の静電容量 Capacitance of piezo-electric element. 0.75 1.4 2.1 2.8 3.4 4.8 5.4 6.8 13.6 19.2 STANDARD LINEAR STAGE ピエゾドライバ PH103 静電容量［μF］ Capacitance 125 出力可能電圧 ［V］ Output voltage 出力電流の計算 ピエゾステージ ［コントローラ・ドライバの正弦波駆動時の周波数特性］ PIEZO STAGE ［ピエゾドライバおよびコントローラの容量選定］ For delivery time and prices, please refer to P6 P6 納期、価格についてはこちらを参照ください。
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