開口付きステージ

用途 Examples of applications
開口付きステージ
APERTURE SHAPE STAGE
X軸 AXIS／ XY軸 AXES／ Z軸 AXIS／ XYZ軸 AXES
・半導体、
FPD関連装置 Semiconductor & FPD-related inspections
・顕微鏡試料テーブル Microscope tables
・露光装置 Photolithography systems, Exposure devices
・分光分析機器 Spectroscopic instruments
・マッピング測定 Mapping measurements
ストローク
特徴 Features
200mm
コンパクトから大開口まで対応
小型デバイスに適したコンパクトな開口タイプから、
大きなパネルをアライメントできる大開口タイプもえています。
軸
Axis
分解能
外形サイズ
（開口サイズ）
Dimensions (aperture size)
Model No.
27mm
Various aperture sizes
小開口
30/30μm
1/1nm
100×100（40×40）mm
PK2H100-030U
大開口
Small aperture
Various types from compact aperture type suitable for small devices and
large aperture type for alignment of larger panels are available.
30/30μm
1/1nm
130×130（54×54）mm
PK2H130-030U
1/1nm
150×150
（70×70）mm
PK2H150-050U
2/2nm
100×100（50×50）mm
PK2L100-080U
100/100μm
2/2nm
64×64（φ20）
mm
PK2L64-100U
100/100μm
2/2nm
76×76
（φ32）mm
PK2L76F-100U
100/100μm
2/2nm
130×130（50×50）mm
PK2L130-100U
100/100μm
2/2nm
150×150
（70×70）mm
PK2L150-100U
5/5nm
150×150
（70×70）mm
PK2L150-200U
10/10nm
150×150
（70×70）
mm
PK2L150-300U
5/5nm
280×280
（200×200）mm
PK2L280-200U
分解能
外形サイズ
（開口サイズ）
Dimensions (aperture size)
Model No.
形状
ストローク
Shape
Large opening
Travel range
50/50μm
80/80μm
XY軸
一体構造でクロストーク極小
Axes
XY軸やXYZ軸などの複合軸は一体機構で設計しており、
通常の単軸重ね合わせ構造で発生しやすい非直交性を抑えています。
Ultra-small crosstalk in integral structure
200/200μm
Composite axes such as XY axis and XYZ axis are designed as an monolithic mechanism and
the non-orthogonality that is common to normal single-axis superposition structures is suppressed.
［X軸とY軸の重ね合わせ］
Superposition of
X axis and Y axis
300/300μm
概念図
Conceptual diagram
［XY軸一体機構］
Y axis
X axis
各軸が独立しており、
Xの動きにおけるY成分の
エラーは補正されない。
200/200μm
Integral XY-axis
structure
X軸圧電素子
Piezo for X
Resolution
型番
P26∼
掲載頁
Page
P28∼
crosstalk
Y
Each axis is independent
and any error of Y composition
in X movement is not corrected.
X
軸
補正した
動き
Corrected
motion
Axis
Y axis
sensor
スムーズで正確な走査や円駆動が可能
Travel range
Axis
型番
60×60
（30×30）mm
PKVH60-012U
2nm
64×64（30×30）
mm
PKVL64F-100U
100/100μm
2nm
100×100（56×56）mm
PKVL100-100U
10nm
84×84
（40×40）mm
PKVL84F-300U
分解能
外形サイズ
（開口サイズ）
300/300μm
掲載頁
Page
P30∼
高精度フィードバック制御により信頼性の高い動作が行えます。
Smooth and accurate scanning and circular driving
Amplitude
Power
O.F.
O.F.
Oﬀset
On
Set.
Output
Oﬀ
Sensor
Monitor
Input Err.
Sensor
Input
Set.
Sensor
Monitor
Input Err.
Oﬀ
Mon.
Oﬀset
Output
Sensor
Input
Mon.
On
Over Load
NCC
X axis
Y axis
40
XYZ軸
40
60
80
100
X axis [μm]
XY軸ステージの各軸に90°位相差をもつ正弦波を入力し動作させることで滑らかな円弧駆動も可能です。
周波数や振幅、搭載荷重にあわせてPIDゲイン調整を最適化することでスムーズな動作が行えます。
Smooth circular driving is also possible by actuating each axis of the XY-axis stage with sine-wave
input with 90 deg. phase difference. You can optimize the PID gain adjustment according to the frequency,
amplitude and carry load to make operations smooth.
24
※円弧補間機能は備えておりません。真円度は
搭載負荷や駆動周波数などの条件により異なります。
※Circular interpolation function is not available.
The circularity varies depending on conditions
such as installing load and driving frequency.
Dimensions (aperture size)
型番
Model No.
1/1/1nm
130×130（φ38）
mm
PK3H130-030UA
2/2/1nm
150×150
（56×56）mm
PK3H150-050UA
100/100/30μm
2/2/1nm
150×150
（56×56）mm
PK3L150-100UA
100/100/100μm
2/2/2nm
150×150
（56×56）
mm
PK3L150-100U
5/5/2nm
150×150
（56×56）mm
PK3L150-200UA
10/10/2nm
150×150
（56×56）mm
PK3L150-300UA
200/200/100μm
300/300/100μm
掲載頁
Page
P32∼
PIEZO DRIVER
20
Resolution
注）1. ストローク量を表す棒線の長さは選定のための目安です。Length of the bar lines that represent the travel range is only for reference for selection.
2. XY軸,XYZ軸における棒線は、最大ストローク軸を表記しています。Bar lines for XY and XYZ axes represent the maximum travel range axis.
3．形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective pages.
25
ドライバ
Axes
20
0
Travel range
50/50/30μm
Y axis
Time
ストローク
30/30/20μm
60
[μm]
形状
Shape
CONTROLLER
Power
Axis
80
X axis Y axis
Over Load
軸
100
The precision feedback control allows for highly reliable operations.
コントローラ
1nm
100/100μm
12μm
Z軸
Resolution
IMPACT ACTUATOR
Y軸圧電素子
Piezo for Y
ストローク
インパクト
アクチュエータ
X axis
sensor
形状
Shape
超精密加工機用
PK1L45-100U
SIMPLE ACTUATOR
45×55（14×12）mm
Page
簡易型
アクチュエータ
2nm
掲載頁
STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY
PK1L60-030U
100μm
型番
Model No.
OBJECTIVE LENS FOCUSING
60×70（27×16）
mm
Axis
Dimensions (aperture size)
対物レンズ
フォーカス用
1nm
30μm
X軸
Resolution
ROTARY AND TILT STAGE
外形サイズ
（開口サイズ）
Travel range
回転・チルト
ステージ
分解能
形状
Shape
開口付きステージ
軸
Axis
標準直動ステージ
ラインナップ Lineup
APERTURE SHAPE STAGE
"Aperture Shape Stage" is a series of stages with clear aperture on the center of moving table.
Aperture shape stages are suited for applications such as ﬁne alignment of an optical device that transmits laser beam,
ultra structure observation in combination with microscope and analytical equipment and precise mapping measurement, etc.
・走査型プローブ顕微鏡 SPM, AFM
STANDARD LINEAR STAGE
『開口付きステージ』
は、
移動テーブル中央に開口部
（透過穴）
を有したラインナップです。
レーザを透過させる光学デバイスの
微調アライメントや、顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察、
高精度マッピング測定などに適しています。
ピエゾステージ
PIEZO STAGE ］
PIEZO STAGE
PK
［ピエゾステージ
X軸 AXIS
■寸法図［Drawings］
PK1L60-030U
PK1L60-030U
PK1L60-030U-N
60
50
36
30
4-φ3.5 Holes,
φ6.5 C'bored Depth 5
27
2” / 1” / 2”
0.08μm/N
7.2μm/N
リニアリティ Linearity
0.1%
0.1%
静電容量 Capacitance
3.4μF
1.4μF
共振周波数
Resonant frequency
at 100g
1400Hz
剛性 Stiffness
本体質量 Weight
本体材質（表面処理）Body material
Piezo Cable
170Hz
150g
100g
アルミ
（B）
アルミ
（B）
Aluminum
ROTARY AND TILT STAGE
5N
490Hz
Clear Aperture
Cable Length 2m
Sensor Cable
Aluminum
Surface treatment :（B）
Black alumite］
OBJECTIVE LENS FOCUSING
PK1L45-100U
PK1L45-100U-N
45
35
25
18
12
15
4-M2 Depth 4
45
55
Clear Aperture
SIMPLE ACTUATOR
簡易型
アクチュエータ
Piezo Cable
超精密加工機用
4-φ3.4 Holes,
φ6 C'bored Depth 5
STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY
20
14
対物レンズ
フォーカス用
［表面処理：
（B）黒アルマイト処理
回転・チルト
ステージ
10N
2800Hz
at 0g
16
1” / 1” / 2”
24
±2nm
30
±1nm
15.5
耐荷重 Load capacity
2nm
APERTURE SHAPE STAGE
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
1nm
開口付きステージ
繰り返し位置決め精度 Repeatability
100μm
16
分解能 Resolution
30μm
4-M3 Depth 6
50
Closed loop
PK1L45-100U
70
クローズ時
PK1L60-030U
STANDARD LINEAR STAGE
型番 Model Number
標準直動ステージ
PK1L
ストローク Travel range
ピエゾステージ
“PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE
PIEZO STAGE
PK
For delivery time and prices, please refer to P6
P6
納期、価格についてはこちらを参照ください。
［ピエゾステージ］開口付きステージ
Cable Length 2m
IMPACT ACTUATOR
16
インパクト
アクチュエータ
15.5
Sensor Cable
※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.
800
ストローク
a
単軸コントローラ
多軸コントローラ
ピエゾドライバ
NCS6000,7000
NCM6000,7000
PH103
単軸専用コントローラ。
コンパクトで低コスト。
Up to 3 axes can be controlled.
Single-axis controller
Multiple-axis controller
Piezo Driver
Travel range
600
外形寸法
（長方形の場合は短辺を表記）
Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong)
400
200
0
0
200
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
26
PK1L60-030U-＊
a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor
無記名
blank
N
mark N
静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作）
Capacitive Sensor (closed loop)
変位センサ無し
（オープンループ動作）
No displacement sensor (open loop)
Controller dedicated to single
axis type. Compact and low cost.
P64∼
最大3軸まで接続可能。
内蔵変位センサ無しの
オープンループ時に使用。
Used for open loop without
built-in displacement sensor.
P70∼
27
ドライバ
共振周波数［Hz］
PK1L60-030U
PK1L45-100U
PIEZO DRIVER
Resonant frequency
PK1L
■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］
コントローラ
1000
■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］
CONTROLLER
■共振周波数［Resonant frequency］
XY軸 AXES
PK2L76F-100U
PK2L
クローズ時
Closed loop
分解能 Resolution
（X,Y）
30μm
（X,Y）
30μm
（X,Y）
50μm
（X,Y）
1nm
（X,Y）
1nm
（X,Y）
2nm
（X,Y）±1nm
（X,Y）±1nm
（X,Y）±2nm
1” / 1” / 2”
1” / 1” / 1”
2” / 2” / 2”
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
耐荷重 Load capacity
PK2L100
-080U
型番 Model Number
ストローク Travel range
（X,Y）2nm
繰り返し位置決め精度 Repeatability
耐荷重 Load capacity
1700Hz
1300Hz
共振周波数
（X,Y）
0.05μm/N
（X,Y）
0.04μm/N
（X,Y）0.04μm/N
剛性 Stiffness
リニアリティ Linearity
0.1%
0.1%
0.1%
リニアリティ Linearity
静電容量 Capacitance
（X,Y）
6.8μF
（X,Y）
6.8μF
（X,Y）
9.6μF
静電容量 Capacitance
at 100g
剛性 Stiffness
本体質量 Weight
本体材質
（表面処理）Body material
1000g
1200g
アルミ
（B）
アルミ
（B）
Aluminum
PK2H130-030U
PK2H130-030U-N
Cable Length 2m
Clear Aperture
2-Piezo Cables
2” / 2” / 2”
10N
10N
10N
10N
10N
10N
10N
240Hz
580Hz
420Hz
370Hz
240Hz
150Hz
200Hz
200Hz
490Hz
370Hz
320Hz
90Hz（2kg）
210Hz
0.1%
0.1%
0.1%
0.1%
0.1%
0.1%
0.1%
500g
300g
1000g
900g
1200g
1100g
1200g
2300g
アルミ
（B）
アルミ
（B）
鋼（N）
アルミ
（B）
アルミ
（B）
アルミ
（B）
アルミ
（B）
アルミ
（B）
Aluminum
Aluminum
Steel
Aluminum
Aluminum
Aluminum
Aluminum
Aluminum
Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］
PK2L76F-100U
PK2L76F-100U-N
32
40
60
76
30
31.5
29
φ4.5 Holes,
φ8 C'bored
Depth 8
4-M4 Depth 8
2-Piezo Cables
64
29.5
Clear Aperture
20
28
50
SIMPLE ACTUATOR
130
64
28
30
30
29
35
2-Sensor Cables
54
106
110
Cable Length 2m
簡易型
アクチュエータ
Cable Length 2m
35
4-R10
40
Clear Aperture
4-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth 25.5
4-M3 Depth 6
φ32(Clear Aperture)
76
4-φ4.5 Holes, 8 C'bored Depth 24.5
4-M3 Depth 6
φ20(Clear Aperture)
Cable Length 2m
32
8-M4
Depth 4
2-Sensor Cables
110
54
130
40
2” / 2” / 4”
超精密加工機用
100
2” / 2” / 5”
STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY
90
70
2” / 2” / 5”
300Hz
2-Sensor Cables
8-M3 Depth 6
25
29
30
Cable Length 2m
2-Sensor Cables
2-Sensor Cables
2-Piezo Cables
Cable Length 2m
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
300
8-M3
Depth 6
234
200
90
70
PK2L150-100U
PK2L150-200U
PK2L150-300U
PK2L280-200U
150
PK2L100-080U
PK2L64-100U
PK2L76F-100U
PK2L130-100U
400
70
50
共振周波数［Hz］
8-M5 Depth 8
8-M3 Depth 6
(Clear Aperture)
200
100
0
0
200
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
4-M5,
φ8 C'bored
Depth 6.8
30
50
30
70
106
130
29
30
4-6.4 Holes,
11 C'bored
Depth 6.8
25
30
70
90
125
150
25
29
30
55
100
200
234
264
280
27
55
25
28
4-φ5.5 Holes,
φ10 C'bored
Depth 5.7
※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.
29
ドライバ
500
PK2L
Clear Aperture
Y
PIEZO DRIVER
1000
Resonant frequency
PK2H100-030U
PK2H130-030U
PK2H150-050U
500
130
PK2H
X
CONTROLLER
■共振周波数［Resonant frequency］
2-Sensor Connectors
2-Piezo Connectors
Clear Aperture
コントローラ
2-Piezo Cables
1500
PK2L280-200U
PK2L280-200U-N
280
30
70
90
125
PK2L150-200U-N
PK2L150-300U
PK2L150-300U-N
IMPACT ACTUATOR
PK2L150-100U
PK2L150-100U-N
PK2L150-200U
インパクト
アクチュエータ
25
150
共振周波数［Hz］
（X,Y）5nm
10N
PK2L64-100U
PK2L64-100U-N
50
60
90
4-6.4 Holes,φ11 C'bored Depth 6.8
Resonant frequency
（X,Y）10nm
（X,Y）6.8μF （X,Y）2.8μF （X,Y）2.8μF （X,Y）13.6μF （X,Y）13.6μF （X,Y）9.6μF （X,Y）19.2μF （X,Y）19.2μF
PK2L130-100U
PK2L130-100U-N
28
2” / 2” / 2”
Cable Length 2m
4-M5,φ8 C'bored Depth 6.8
2-Piezo Cables
200
（X,Y）
5nm
530Hz
0.1%
PK2L100-080U
PK2L100-080U-N
100
0
2” / 2” / 2”
■寸法図［Drawings］
25
2-Sensor Cables
150
2” / 2” / 4”
410Hz
24.5
100
0
（X,Y）2nm
2-Piezo Cables
40
42
60
84
4-M5,φ8 C'bored Depth 4.3
（X,Y）2nm
［表面処理：
（B）
黒アルマイト処理／
（N）無電解ニッケルメッキ
8-M3
Depth 6
Clear Aperture
PK2H150-050U
PK2H150-050U-N
Cable Length 2m
（X,Y）2nm
OBJECTIVE LENS FOCUSING
Y
2-Sensor Cables
PK2L280
-200U
対物レンズ
フォーカス用
X
PK2H100-030U
PK2H100-030U-N
Surface treatment :（B）
Black alumite］
PK2L150
-300U
（X,Y）0.60μm/N（X）
4.1（Y）
, 3.7μm/N（X）
1.8,
（Y）
1.7μm/N（X,Y）0.4μm/N （X,Y）
0.5μm/N （X,Y）
0.8μm/N （X,Y）1.4μm/N （X,Y）1.0μm/N
本体材質
（表面処理）Body material
Aluminum
2-Sensor Cables
2-Piezo Cables
at 100g
本体質量 Weight
600g
［表面処理：
（B）黒アルマイト処理
■寸法図［Drawings］
Resonant frequency
1100Hz
アルミ
（B）
Aluminum
at 0g
4” / 2” / 2”
100
Resonant frequency
（X,Y）2nm
50
60
共振周波数
PK2L150
-200U
ROTARY AND TILT STAGE
50N
1200Hz
PK2L150
-100U
回転・チルト
ステージ
50N
1500Hz
PK2L130
-100U
（X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±2nm （X,Y）±5nm （X,Y）±10nm （X,Y）±5nm
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
50N
PK2L76F
-100U
（X,Y）80μm （X,Y）100μm （X,Y）100μm （X,Y）100μm （X,Y）100μm （X,Y）200μm （X,Y）300μm （X,Y）200μm
分解能 Resolution
2500Hz
at 0g
PK2L64
-100U
APERTURE SHAPE STAGE
PK2H150-050U
開口付きステージ
繰り返し位置決め精度 Repeatability
PK2H130-030U
2-Piezo Cables
ストローク Travel range
PK2H100-030U
STANDARD LINEAR STAGE
型番 Model Number
標準直動ステージ
PK2H
2000
ピエゾステージ
“PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE
PIEZO STAGE
PK
For delivery time and prices, please refer to P6
P6
納期、価格についてはこちらを参照ください。
［ピエゾステージ］開口付きステージ
Z軸 AXIS
ピエゾステージ
“PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE
PIEZO STAGE
PK
For delivery time and prices, please refer to P6
P6
納期、価格についてはこちらを参照ください。
［ピエゾステージ］開口付きステージ
PKVL64F-100U
PKVL
クローズ時
ストローク Travel range
型番 Model Number
分解能 Resolution
2500Hz
共振周波数
0.02μm/N
剛性 Stiffness
at 100g
10nm
±2nm
±2nm
±10nm
1” / 2” / 1”
1” / 1” / 1”
1” / 1” / 1”
10N
10N
10N
480Hz
480Hz
210Hz
1.1μm/N
1.0μm/N
2.8μm/N
at 0g
Resonant frequency
1400Hz
剛性 Stiffness
2nm
at 100g
340Hz
350Hz
170Hz
リニアリティ Linearity
0.1%
0.1%
0.1%
静電容量 Capacitance
2.8μF
静電容量 Capacitance
2.8μF
6.8μF
6.8μF
250g
本体質量 Weight
本体質量 Weight
アルミ
（B）
本体材質
（表面処理）Body material
25
60
32
30
550g
アルミ
（B）+ 鋼（N）
Aluminum+Steel
Aluminum
［表面処理：
（B）
黒アルマイト処理／
（N）無電解ニッケルメッキ
■寸法図［Drawings］
PKVL64F-100U
PKVL64F-100U-N
25
Aluminum + Steel
Surface treatment :（B）
Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］
PKVL100-100U
PKVL100-100U-N
OBJECTIVE LENS FOCUSING
■寸法図［Drawings］
Surface treatment :（B）Black alumite］
500g
アルミ
（B）
PKVL84F-300U
PKVL84F-300U-N
4-φ4.5 Holes,
φ8 C'bored Depth 30
20
84
4-φ4.5 Holes,
φ8 C'bored Depth 24
25
4-φ4.5 Holes,
φ8 C'bored Depth 24
70
40
25
4-φ4.5 Holes,
φ8 C'bored Depth 24
8-M4 Depth 4
25
70
Clear Aperture
40
84
90
30
56
25
100
32
30
64
4-M4 Depth 4
Clear Aperture
25
8-M3 Depth 4
Clear Aperture
Cable Length 2m
Piezo Cable
Piezo Cable
Sensor Cable
Piezo Cable
Cable Length 2m
SIMPLE ACTUATOR
Piezo Cable
4-M3 Depth 4
Cable Length 2m
29
30
30
30
36
IMPACT ACTUATOR
Sensor Cable
Sensor Cable
インパクト
アクチュエータ
Cable Length 2m
Sensor Cable
簡易型
アクチュエータ
25
20
Clear Aperture
25
90
30
56
20
25
32
30
60
25
4-M4 Depth 4
32
30
20
超精密加工機用
25
64
STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY
100
4-M3 Depth 4
対物レンズ
フォーカス用
［表面処理：
（B）黒アルマイト処理
PKVH60-012U
PKVH60-012U-N
本体材質
（表面処理）Body material
Aluminum
400g
アルミ
（B）+鋼
（N）
ROTARY AND TILT STAGE
0.1%
回転・チルト
ステージ
リニアリティ Linearity
開口付きステージ
Resonant frequency
2nm
APERTURE SHAPE STAGE
共振周波数
300μm
耐荷重 Load capacity
10N
at 0g
100μm
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
1” / 1” / 1”
耐荷重 Load capacity
100μm
Closed loop
繰り返し位置決め精度 Repeatability
±1nm
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
PKVL84F–300U
分解能 Resolution
1nm
繰り返し位置決め精度 Repeatability
PKVL100-100U
クローズ時
ストローク Travel range
12μm
Closed loop
PKVL64F-100U
STANDARD LINEAR STAGE
PKVH60-012U
型番 Model Number
標準直動ステージ
PKVH
※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.
共振周波数［Hz］
Resonant frequency
1000
500
0
200
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
PKVL
PKVL64F-100U
PKVL100-100U
PKVL84F-300U
400
ストローク
a
単軸コントローラ
多軸コントローラ
ピエゾドライバ
NCS6000,7000
NCM6000,7000
PH103
単軸専用コントローラ。
コンパクトで低コスト。
Up to 3 axes can be controlled.
Single-axis controller
Multiple-axis controller
Piezo Driver
Travel range
300
外形寸法
（長方形の場合は短辺を表記）
Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong)
200
100
0
200
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
30
PKVH60-012U-＊
a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor
無記名
blank
N
mark N
静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作）
Capacitive Sensor (closed loop)
変位センサ無し
（オープンループ動作）
No displacement sensor (open loop)
Controller dedicated to single
axis type. Compact and low cost.
P64∼
最大3軸まで接続可能。
内蔵変位センサ無しの
オープンループ時に使用。
Used for open loop without
built-in displacement sensor.
P70∼
31
ドライバ
共振周波数［Hz］
1500
0
500
PKVH60-012U
PIEZO DRIVER
Resonant frequency
PKVH
■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］
コントローラ
2000
■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］
CONTROLLER
■共振周波数［Resonant frequency］
XYZ軸 AXES
ピエゾステージ
“PIEZO STAGE” APERTURE SHAPE STAGE
PIEZO STAGE
PK
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P6
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［ピエゾステージ］開口付きステージ
PK3H130-030UA
PK3L
ストローク Travel range
クローズ時
Closed loop
型番 Model Number
（X,Y）
30,（Z）
20μm
（X,Y）
50,
（Z）
30μm
ストローク Travel range
（X,Y,Z）
1nm
（X,Y）2,
（Z）
1nm
（X,Y,Z）±1nm
（X,Y）±2,
（Z）±1nm
2” / 2” / 2”
2” / 2” / 2”
分解能 Resolution
繰り返し位置決め精度 Repeatability
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
耐荷重 Load capacity
クローズ時
Closed loop
分解能 Resolution
繰り返し位置決め精度 Repeatability
PK3L150-100UA
PK3L150-100U
PK3L150-200UA
PK3L150-300UA
（X,Y）100,（Z）30μm
（X,Y）100,（Z）100μm
（X,Y）200,（Z）100μm
（X,Y）300,
（Z）100μm
（X,Y）2,（Z）1nm
（X,Y）2,（Z）2nm
（X,Y）5,（Z）2nm
（X,Y）10,（Z）2nm
（X,Y）±2,（Z）±1nm
（X,Y）
±2,
（Z）±2nm
（X,Y）±5,（Z）
±2nm
（X,Y）
±10,
（Z）
±2nm
4” / 4” / 4”
2” / 2” / 2”
2” / 2” / 4”
2” / 2” / 4”
ピッチング/ヨーイング/ローリング Pitching/Yawing/Rolling
耐荷重 Load capacity
680Hz
580Hz
共振周波数
（X,Y）
0.08,（Z）
0.19μm/N
（X,Y）
0.1,（Z）
0.2μm/N
剛性 Stiffness
リニアリティ Linearity
0.1%
0.1%
リニアリティ Linearity
0.1%
0.1%
0.1%
0.1%
静電容量 Capacitance
（X,Y）
6.8,（Z）
4.3μF
（X,Y）
9.6,（Z）
6.8μF
静電容量 Capacitance
（X,Y）9.6,（Z）6.8μF
（X,Y）13.6,（Z）6.8μF
（X,Y）9.6,（Z）6.8μF
（X,Y）19.2,
（Z）6.8μF
［表面処理：
（B）黒アルマイト処理／（N）
無電解ニッケルメッキ
Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］
Aluminum+Steel
Cable Length 2m
PK3H150-050U
PK3H150-050U-N
3-Piezo Cables
Cable Length 2m
1200g
1200g
アルミ
（B）
アルミ
（B）
Aluminum+Steel
■寸法図［Drawings］
Cable Length 2m
Cable Length 2m
3-Piezo Cables
8-M3 Depth 3
(Clear Aperture)
(Clear Aperture)
(Clear Aperture)
3-Sensor Cables
Clear Aperture
29
30
20
20
29
20
30
30
56
96
125
20
29
30
4-φ6.4 Holes,
φ11 C'bored
Depth 6.8
30
56
90
125
29
25
30
150
150
150
25
IMPACT ACTUATOR
130
30
56
96
125
インパクト
アクチュエータ
32
50
76
106
超精密加工機用
8-M3 Depth 5
Aluminum
SIMPLE ACTUATOR
130
Aluminum
Surface treatment :（B）
Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］
PK3L150-100U
PK3L150-100U-N
PK3L150-200UA
PK3L150-200UA-N
PK3L150-300UA
PK3L150-300UA-N
3-Piezo Cables
3-Sensor Cables
4-φ6.6 Holes,
11 C'bored
Depth 6.8
4-φ6.6 Holes,
11 C'bored Depth 6.8
8-M3 Depth 5
Aluminum
簡易型
アクチュエータ
76
1300g
アルミ
（B）
STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY
φ38
1300g
3-Sensor Cables
3-Sensor Cables
4-M3 Depth 5
4-M4 Depth 5
M5, 8 C'bored Depth 6.8
190Hz
アルミ
（B）
+鋼（N）
［表面処理：
（B）
黒アルマイト処理／
（N）無電解ニッケルメッキ
PK3L150-100UA
PK3L150-100UA-N
3-Piezo Cables
240Hz
OBJECTIVE LENS FOCUSING
■寸法図［Drawings］
PK3H130-030UA
PK3H130-030UA-N
本体材質（表面処理）Body material
Aluminum+Steel
300Hz
（X）0.5,（Y）0.7,
（Z）1.1μm/N （X）0.8,（Y）1.0,（Z）1.1μm/N （X）1.4,（Y）1.6,
（Z）1.3μm/N
90
56
本体材質（表面処理）Body material
390Hz
対物レンズ
フォーカス用
1300g
アルミ
（B）+鋼
（N）
10N
210Hz
（X,Y）0.3,
（Z）0.2μm/N
本体質量 Weight
1100g
アルミ
（B）+鋼
（N）
10N
280Hz
150
本体質量 Weight
at 100g
10N
350Hz
56
96
剛性 Stiffness
Resonant frequency
10N
430Hz
150
at 100g
150
Resonant frequency
56
96
共振周波数
at 0g
ROTARY AND TILT STAGE
10N
670Hz
回転・チルト
ステージ
10N
820Hz
at 0g
開口付きステージ
PK3H150-050UA
APERTURE SHAPE STAGE
PK3H130-030UA
STANDARD LINEAR STAGE
型番 Model Number
標準直動ステージ
PK3H
※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.
600
400
200
0
共振周波数［Hz］
Resonant frequency
800
500
0
200
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
PK3L
PK3L150-100UA
PK3L150-100U
PK3L150-200UA
PK3L150-300UA
400
300
ストローク
多軸コントローラ
ピエゾドライバ
NCM6000,7000
PH103
Multiple-axis controller
Piezo Driver
外形寸法
（長方形の場合は短辺を表記）
Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong)
100
0
a
Travel range
200
0
200
400
600
800
搭載負荷
1000 Load［g］
・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
32
PK3H130-030UA-＊
a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor
無記名
blank
N
mark N
静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作）
最大3軸まで接続可能。
Up to 3 axes can be controlled.
Capacitive Sensor (closed loop)
変位センサ無し
（オープンループ動作）
No displacement sensor (open loop)
P64∼
内蔵変位センサ無しの
オープンループ時に使用。
Used for open loop without
built-in displacement sensor.
P70∼
33
ドライバ
共振周波数［Hz］
PK3H130-030UA
PK3H150-050U
PIEZO DRIVER
Resonant frequency
PK3H
■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］
コントローラ
1000
■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］
CONTROLLER
■共振周波数［Resonant frequency］

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