Technical Report SPM No.82 走査型プローブ顕微鏡 SPM／白色干渉計複合システム『AFM5400L』 SPMは、先端が数nmの細く尖った針を用いて試料表面の形状観察や物性分析を行う顕微鏡で、面分解能が非常に高いことを特徴としています。また、白色干渉計は、光を用いた非接触式測定装置で、試料表面の形状測定を、短時間かつ高分解能で行なうことができます。「AFM5400L」は、SPMと白色干渉計の機能を複合化させることで、1 mm程度の広視野範囲から数nmレベルの狭視野範囲までを、高さ方向分解能0.01 nmという高分解能で、シームレスに測定することを可能としました。ここではSPM／白色干渉計複合機による食品保存用ラップの観察事例について紹介します。 2014.4 AFM5400L外観食品保存用ラップの測定事例食品用ラップフィルム表面の測定例を図1に示します。白色干渉計ではフィルムの表面の形状計測を行い、広範囲での粗さ評価を行いました(図1)。次に、その測定範囲の一部をSPMを用いて拡大測定しました。SPM観察時には、DFMモードによるカンチレバー振動の位相の変化（位相像）も同時に測定しました。食品用ラップの表面には、柔軟性や防曇性を高めるための表面処理剤が塗布してあります。図2．(a)は、この食品用ラップの表面処理剤を測定した結果です。SPMの位相像では、白色干渉計やSPM形状像からは読み取れない、フィルム表面の吸着力や粘弾性力を反映した、物性マッピングが得られています。図2．(b)は、カンチレバーの接触圧を高くして、同一個所での表面処理剤下のポリ塩化ビニリデン（PVDC）基材を測定した事例です。編み目状の結晶構造が観察され、位相像では、形状像では判別しにくい、より明瞭な結晶構造が確認できています。図1 白色干渉による食品ラップの広範囲観察と粗さ評価結果形状像形状像位相像位相像 500nm 500nm (a)食品用ラップ最表面の表面処理剤の観察 (b)食品用ラップ表面処理剤下のポリ塩化ビニリデン（PVDC）基材の観察図2 SPMによる食品用ラップ観察 http://www.hitachi-hitec-science.com 本社営業部門〒105-0003 東京都港区西新橋一丁目24番14号大阪営業所 TEL:（050) 3131-6973 名古屋営業所 TEL:（03) 6280-0062 TEL:（052) 219-1678 C 2014 Hitachi High-Tech Science Corporation.