inﬁTOF Technical Information A Kanomax company inﬁTOFを用いた昇温脱離ガス分析(TPD-MS) 材料を加熱した際に材料から脱離する、あるいは熱分解により生成するガスの挙動解析により、材料へのガス吸着・化学吸着の状態、および材料の熱特性を把握することが可能です。この分析を昇温脱離法(Temperature-Programmed Desorption ：TPD)といい、例えば精密エレクトロニクス材料や固体触媒の開発において、有用な情報をもたらします。脱離ガスを質量分析する手法をTPD-MSといい、一般に質量分析計には四重極型(Q-MS)が用いられています。 He+脱離ガスキャリアガス He Jet Separator inﬁTOF-UHV サンプルセルヒーター＆コントローラーマルチターン方式飛行時間型質量分析装置inﬁTOFは低分子量域での優れた感度と質量分解能を備えています。 TPD-MS分析にinﬁTOF-UHVを用いることで、Q-MSでは質量分離できない成分を個別に質量分離・同定でき、従来にない精密な昇温脱離ガスの挙動把握が可能になります。 N2 O2 CH4N m/z CO 27.9949 N2 28.0062 CH2N 28.0187 C2H4 28.0313 m/z NO 29.9980 CH2O 30.0106 CH2N 30.0344 C2H4 30.0470 CH2O m/z O2 31.9898 13CF 32.0179 CHF 32.0062 CH4O 32.0262 CO NO CF CHF C2H6 13 CH4O CH2N C2H4 0 m/z 27.98 28.00 28.02 28.04 0 m/z 29.90 28 30.00 30.10 0 m/z 30 31.95 32.00 32 32.05 32.10 m/z 粒子研究計測ソリューションズディヴィジョン [email protected] http://www.kanomax.co.jp/ □大阪営業所大阪府吹田市清水２番１号〒５６５-０８０５ＴＥＬ．（０６）６８７７－０１７７ＦＡＸ．（０６）６８７７－６８４９ □東京営業所ＴＥＬ．（０３）５７３３－６５８３ＦＡＸ．（０３）５７３３－６５８４