infiTOF Technical Information inﬁTOF を用いた昇温脱離ガス分析（TPD-MS） A Kanomax company 材料を加熱した際に材料から脱離する、あるいは熱分解により生成するガスの挙動を解析することにより、材料へのガス吸着・化学吸着の状態や材料の熱特性を把握することが可能です。この分析を昇温脱離法（Temperature Programmed Desorption： TPD）といい、例えば精密エレクトロニクス材料や固体触媒の開発において有用な情報をもたらします。脱離ガスを質量分析する手法をTPD-MSといい、一般に質量分析計には四重極型質量分析計（QMS）が用いられています。キャリアガスHe He＋脱離ガス Jet Separator inﬁTOF-UHV サンプルセルヒーター＆コントローラーマルチターン方式飛行時間型質量分析装置inﬁTOFは、低分子量域での優れた感度と質量分解能を備えています。TPD-MS分析にinﬁTOF-UHVを用いることで、QMSでは質量分離できない同整数質量の低分子ガス成分を個別に精密質量解析することができ、従来にない精密な昇温脱離ガスの挙動把握が可能になります。 N2 CO N2 CH2N C2H4 CH2N CO m/z 27.98 m/z 28.00 28.02 m/z 27.9949 28.0062 28.0187 28.0313 CH2O NO C2H4 28.04 28 O2 CH4N 0 m/z 29.90 30.00 NO CH2O CH4N C2H6 m/z 29.9980 30.0106 30.0344 30.0470 O2 13CF CHF CH4O 13CF C2H6 30.10 30 m/z 31.9898 32.0018 32.0062 32.0262 CHF CH4O 0 m/z 31.95 32.00 32.05 32.10 32 日本カノマックス株式会社分析ソリューションズ事業室 [email protected] http://www.kanomax.co.jp/solutions/mass/ □大阪営業所 □東京営業所大阪府吹田市清水2-1（〒565-0805） TEL：(06) 6877-0177 FAX：(06) 6879-6849 TEL：(03) 5733-6583 FAX：(03) 5733-6584 ATI001-3J