物理システム工学科3年次 物性工学概論 火曜1限0035教室 第4回半導体の色 佐藤勝昭 第3回で学んだこと • 自由電子のプラズマ運動 • 誘電率と屈折率・消光係数 • 負の誘電率の意味するところ 前回の問題1 • Naは原子1個につき1個のs電子を結晶に供給す る。Naの結晶構造は体心立方(bcc)で、格子定数 はa=0.43nmである。Naの電子密度を求めよ。 – [ヒント] 1つの単位胞(unit cell)に原子はいくつあるか。 8つのコーナーに1/8個ずつ、体心に1個。計2個。こ れを単位胞の体積で割れば、電子密度が得られる。 前回の問題2 • 金属は、箔(はく)状に延ばすことができるが、シリ コンなどの半導体単結晶に衝撃を加えると、劈開 (へきかい)して破壊される。この違いを、原子結 合の違いから説明せよ。 前回の問題3 • 問3:金が金色である理由を述べよ。 QUIZ1さまざまな色が3原色によって表 される理由を述べよ。 • ヒトの網膜には色を感じる錐体という細胞があるが、錐 体には赤、緑、青の波長にピーク感度をもつ3種類の細 胞がある。ヒトはこれらの3つの細胞の刺激の程度に よってすべての色を感じる。(従って、カラーテレビのカメ ラでは、光を赤、緑、青の3色に分解し、それぞれの光の 強さを電気信号として伝送して、ブラウン管など表示装 置の赤、緑、青の光源の強度を変化させてもとの色を再 現している。) QUIZ金が金色である原因と、半導体であるゲルマ ニウムや黄鉄鉱(FeS2)が金色を示す原因は異なっ ている。何が違うのかを関与する電子状態を考えて 説明せよ。 • 金が金色であるのは、赤から緑にかけての反射率が高 いことによるが、この高い反射率は自由電子の集団運 動によるDrude則による負の誘電率が原因である。これ に対して、黄鉄鉱では、バンド間遷移によって、強い吸 収が赤~赤外領域に存在するために反射率も高くなっ ていることが原因である。 第3回の補足 • • • • • • 金属の色:金、銀、銅、鉄、白金 3原色:加法混色と減法混色/CIE色度図 ヒトが色を認識する仕組み スペクトルとは 光学定数の意味 マクスウェルの方程式 金属の色:金、銀、銅、鉄、白金 銀 銅 しろがね あかがね 金 こがね 白金 くろがね 鉄 三原色 • 光の3原色(加法混色 ) • 各色の強さを変えて混ぜ合わ せると,いろいろな色の光にな る。赤い光,緑の光,青い光を 同じ強さで混ぜ合わせると, 白 い光になる。 赤(red) 緑(green) 青(blue) • 色の3原色 (減法混色) • 各色を混ぜ合わせると,いろ いろな色ができる。マゼンタ・ シアン・イエローを同じ割合で 混ぜると 黒になる。 マゼンタ(red) シアン(blue) イエロー(yellow) http://www.shokabo.co.jp/sp_opt/spectrum/color3/color3.htm CIE色度図 • ある温度で光っている(熱放射・ 色を表す(表色)ためには, 一般に 3つの数値が必要であるが,明るさ 黒体輻射している)物体の色を の情報を犠牲にして2つの数値で色 測定して,温度と色の関係を色 を表し,2次元の図に表現したもの を, 色度図という. 度図上に描くことができます.こ の曲線は黒体輻射の色軌跡と •呼びます.なお,一般の光源は 実際には感覚的な3原色RGBだけ では表せない色もあるので、機械に 黒体輻射をしているわけではな よる測色、表色、目の波長感度特性 いので,色軌跡の上のある色で を詳しく調べて数値化した “表色上 の3原色”である3刺激値XYZを使う。 光っている光源の温度が,その その3刺激値XYZにもとづいて,上 点に対応する温度になっている 記のような考え方にしたがい,2つ とは限りません.そのため,色 の数値 (x , y ) を使ってxy 座標空間 で色を表したものを, xy 色度図と から決まる温度を色温度といい 呼ぶ。 ます http://www.shokabo.co.jp/sp_opt/spectrum/color3/color3.htm ヒトはどのように色を認識するか 色を感じる 光を感じる なぜ3原色で表せるか。それは人間の色を 感じる細胞が3種類あるからである。これら の細胞は錐体(すいたい)と呼ばれ,三種 の錐体の送り出す信号の強さの違いにより さまざまな色を感じることができる。 RGB感度曲線とXYZ等色曲線 • • RGB感度曲線 人間の眼やRGB感度曲線は,あくまで も特徴的な波長(赤緑青)で一つのピー クをもつ曲線になります.人間の眼では, 主に感度領域の中央(緑色の光)で明る さを捉え,感度領域の両端(青や赤)で 色合いを決めているのです • • XYZ等色曲線 一方,XYZ表色系はRGBでは再現でき ない色をも表現するシステムなので, XYZ表色系などにおける3色の“感度” 曲線は,たとえば赤が2山のピークをも つなど少し変わった形になっています. http://www.shokabo.co.jp/sp_opt/spectrum/color3/color3.htm XYZ等色曲線と金属の色 3刺激値 金銀銅の分光反射率 http://www.hk.airnet.ne.jp/shung/periodic_table_s.htm 金銀銅の反射スペクトル 波長表示 エネルギー表示 hJ scm s 6.62610 EeV EJ hJ s s -1 hJ sc m s -1 m -1 meC 34 2.998108 1240 nm109 1.6021019 nm 佐藤勝昭:金色の石に魅せられて スペクトルとは 白色光の連続 スペクトル 気体原子の 線スペクトル 吸収線 発光線 国立天文台 http://centaurs.mtk.nao.ac.jp/~avell/study/SPECTR/node9.html 媒体中における光の電界の伝搬 • 光:電磁波(電界Eと磁界Hが直交して振動) • E=2E0cos{(t-x/c’)}=E0[exp {-i(t-x/c’)}+cc.] – 媒体中の光速 c’=c/n:ここにnは屈折率 • E=E0exp{-i(t-nx/c)} で代表させる。 • 媒体中での光の電界の減衰 E=E0exp(-x/c) 媒体中で電界が1/eになる距離 x=c/ 光学定数(屈折率nと消光係数) • E=E0exp(-x/c) exp{-i(t-nx/c)} =E0 exp{-i(t-(n+i)x/c)}=E0 exp{-i(t-Nx/c)} • N= n+i (複素屈折率) • 屈折率n:媒体中での光速を表す因子。 光速は真空中の光速の1/nになっている。 • 消光係数:媒質中で電磁波の振幅が減衰する 様子を表している。 波動の振動の様子 1.000 Eexp(-/c) 500 n= 2.5 k= 0.2 振幅 λ= 0.500 0.000 0 500 1000 -0.500 -1.000 距離(nm) 1500 2000 マクスウェルの方程式 • rotH=D/t =r0E/t • rotE=-B/t =-0 H/t • rot rotE= -r0 0E2/t2 左辺=( ・E)E- 2E=- 2E 右辺 =-r/c2 E2/t2 • E2/x2+ E2/y2 + E2/z2 = r/c2 E2/t2 E=E0 exp{-i(t-Nz/c)}を代入 • - N2 2/c2E=-r 2/c2E→(N2- r)E=0 N2= r 誘電率と屈折率・消光係数 • N2=εr – 誘電率が物質定数、屈折率はその媒質での光の固有値 • • • • • (n+i)2=εr’+iεr” (n2- 2)+i2n= εr’+iεr” εr’= n2- 2 εr”=2n 誘電率の虚部:エネルギーの損失を表す項 – 電子レンジで食品が加熱される原因:誘電率の虚部 半導体の光学現象 • • • • • • 半導体とは何か 半導体にはどんな物質があるか バンド構造とバンドギャップ 半導体の透過色、反射色 吸収スペクトル:バンド間遷移 シリコン結晶の金属光沢の原因は? 半導体とは何か • 半導体の抵抗率の範囲とバンドギャップ • (佐藤・越田:応用電子物性工学 図4.2) 半導体の電気抵抗の温度変化 • 金属と半導体の電気抵抗の温度変化の比較 導電率、キャリア密度、移動度 • 導電率、キャリア密度n、移動度の間には = ne の関係式が成り立つ。 • 抵抗率と導電率の関係は =1/ である。 • 移動度とは、単位電界E[V/cm]によって得られる平均速 度v[cm/s]を表し、v=E である。 – 例:1mのシリコン膜の表裏の間に1Vの電圧を印加したとき、 E=104V/cm、シリコンの=1000cm2/Vsとしてv= E =107cm/sと なる。 – このときの導電率はキャリア数1016cm-3として = ne =10161.6 10-19 103=1.6S/cm: =0.625cm 周期表と半導体 IIB IIIB IV V VI B C N O Al Si P S Zn Ga Ge As Se Cd In Sn Sb Te Hg Tl Pb Bi Po IV族(Si, Ge) III-V族(GaAs, GaN, InP, InSb) II-VI族(CdS, CdTe, ZnS, ZnSe) I-VII族(CuCl, CuI) I-III-VI2族(CuAlS2,CuInSe2) II-IV-V2族(CdGeAs2, ZnSiP2)) 半導体の構造 • • • • ダイヤモンド構造 閃亜鉛鉱(ジンクブレンド)構造 黄銅鉱(カルコパイライト)構造 非晶質(アモルファス) バンド構造による金属・半導体の区別 エネルギー帯の考え方 • 自由電子からの近似 – Hartree-Fockの近似 – 電子を波数kの平面波として扱う E=(k)2/2m 放物線バンド • 孤立原子に束縛された電子からの近似 – Heitler-Londonの近似 – 原子の電子波動関数(s, p, dなど)の1次結合 – 電子間相互作用を考慮しやすい シリコンのバンドとバンドギャップ 半導体の光吸収スペクトル 直接吸収端 InSb, InP, GaAs 間接吸収端 Ge, Si, GaP バンドギャップと半導体の吸収端 ・フォトン・エネルギーE=hがエネルギー・ギャップEgよ り小さいとき、価電子帯の電子がE=hを得ても、伝導帯に 遷移できないので、光は吸収されず透過する。 フォトン・エネルギーがエネルギー・ギャップよりも大きい と、価電子帯の電子が伝導帯に遷移することができるので、 光吸収が起きる。吸収が始まる端っこということで、エネル ギー・ギャップを吸収端のエネルギー、それに相当する波長 を吸収端の波長という。吸収端の波長より長い波長の光は透 過する。 1240 / h 伝導帯 h h>Eg 価電子帯 Eg 半導体のバンドギャップと透過光の色 ZnS CdS 黄 Eg=2.6eV GaP 橙 Eg=2.2eV Eg=2eV HgS 赤 Eg=1.5eV GaAs 黒 800nm 300nm 4eV 白 透過域 Eg=3.5eV 3.5eV 3eV 2.5eV 2eV 1.5eV 半導体の色 • 透過光の色 diamond http://www.sei.co.jp/ – バンドギャップより低いエ ネルギーの光を全部通す – Eg>3.3eV:無色透明 – Eg=2.6eV:黄色 – Eg=2.3eV:橙色 Si http://www.anstro.gov.au/ – Eg=2.0eV:赤色 – Eg<1.7eV:不透明 Ge http://www.ii-vi.com/ ZnSe, ZnS http://www.ii-vi.com/ • 反射光の色 GaAs http://www.ii-vi.com/ HgS www.lotzorox.com/ cinn3b.JPG 半導体のバンドギャップと絵の具の色 Color of some ban d- gap se mic on du c tors Mineral Pigment Band name name gap Substance C Diamond ZnO Zincite - Color 5.4 Colorless HgS Zinc white Cadmium Greenockite yellow Cadmium orange Cinnabar Vermillion HgS M etacinnabar - 1.6 Black Si - 1.1 Black PbS Galena CdS CdS1-xSex Mixed crystals of yellow cadmium sulfide CdS and black cadmium selenide CdSe, showing the intermediate-bandgap colors (eV) - http://webexhibits.org/causesofcolor/10.html 3 Colorless 2.6 Yellow 2.3 Orange 2 Red 0.4 Black 第4回の問題 • さまざまな半導体のバンド ギャップ(室温) • 半導体 Eg[eV] g[nm] • Ge 0.67 1851 • Si 1.11 1117 • GaAs 1.42 873 • CdSe 1.74 712 • GaP 2.26 549 • CdS 2.42 512 • ZnSe 2.67 463 • GaN 3.39 366 • ZnS3.68 337 • 左に示す半導体を透過 した光は、それぞれ何 色に見えるか、またそう 見える理由を述べよ。
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