分析事例C0379 2015/03/31 2015/03/31 DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化 XAFSによる高精度解析測定法：XAFS 製品分野：電子部品・製造装置・部品・日用品分析目的：化学結合状態評価・構造評価概要コーティング材料として幅広い分野で用いられているDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜はミクロな視点から見ると、ダイヤモンド構造に対応するsp3混成軌道を有する炭素元素と、グラファイト構造に対応するsp2混成軌道を有する炭素元素が混ざり合って構成されています。 DLC膜の特性を決める一つの指標として、sp2/(sp2+sp3)比が挙げられます。 XAFSによってDLC膜のsp2/(sp2+sp3)比の高精度定量化が可能です。データ従来の手法では分離の精度が不十分であったDLC膜のsp2/(sp2 +sp3)比をXAFSによって高精度に評価することが可能です。また、測定モードによって検出深さを数nm（部分電子収量法）から十数nm（全電子収量法）まで変えることができ、深さ方向の情報を得ることも可能です。 DLC膜のC-K端XANES σ* C-C π* C=C 直接光イオン化 π* C=O ※表面汚染由来、計算時には除外しています。 σ* C-H 280 285 290 295 300 305 310 315 320 Photon Energy(eV) 直接光イオン化による吸収（部分）を階段関数で表し、 C-K端XANESとの差スペクトルについて、ピークフィッティングを行いました。それぞれのピーク面積及び標準試料から得られた係数を用いてsp2/(sp2+sp3)比の算出が可能です。 DLC膜のピークフィッティング結果 sp2/(sp2+sp3)比ピーク面積 π* C=C π* C=O σ* C-H σ* C-C 1.27 0.40 0.99 7.48 36% 係数を用いて算出分析サービスで、あなたの研究開発を強力サポート！ TEL ： 03-3749-2525 E-mail ： [email protected] URL ： http://www.mst.or.jp/