29 H25- 二次元アクチュエータ Two-dimensional actuator 二次元アクチュエータを小型・軽量化できます。 薄型バイブレータとして利用できます。 従来技術 従来のアクチュエータは一方向への振動しか実現できず、また、偏心した可動重りをモータ で回転させ、一方向に振動させるものでした。そのため、一方向にしか振動させることがで きず、振動による表現に限界があり、2 次元方向に駆動するには、2 つのアクチュエータを 必要としていました。 本発明の特徴 「SOI 層」と「基盤層」との 2 層構造として、基盤層は可動重りと内枠とをダブルジンバ ル構造とします。SOI 層には櫛形電極構造を用いることにより、重り部の移動距離を 大きくすることが可能であり、発生出力を拡大しています。所定の電極に電圧を印荷 することで、X 方向、Y 方向に自在に移動・振動させることができます。 可動重り移動により XY 方向への移動が可能 部 方向移動 Y 品 X 方向移動 櫛形電極 本発明の効果 ・小型軽量で多次元方向に大きい駆動力を得ることができます。 ・設計の自由度が高く、電気配線が簡単であると共に、製造方法が容易になります。 ・ダブルジンバル構造により、より大きな振幅発生が可能となります。 特許番号 特許5317154号等 開発状況 実証済 想定される用途 薄型バイブレータ等 36 使ってみたいJAXA特許誌面.indd 36 2014/08/08 12:06:04
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