ハーモニックドライブ ® には、歯車のガタツキによるバックラッシがありませんので、高精度の位置決めを可能にしています。 ■小型で高出力トルク ■ 最小型番 RH-5A のアクチュエータの外形寸法φ 20 × 89mm で 0.69N･m（瞬時最大トルク）と高出力です。 短形出力信号を、 4逓倍速まで分解できます。 サーボドライバ ●高精度オプティカルエンコーダ リニアアクチュエータ 構造 Galvanometer Scanner System ■高い位置決め精度 ■ Linear Actuator ハーモニックドライブ ® の使用により、最大 400,000 パルス / 回転（0.0009°/ パルス）の高分解能を実現しています。 Servo Driver ■高分解能 ■ ガルバノ式光学スキャナ 特長 ダイレクトドライブ・モータ DirectDrive motor RH シリーズは、精密制御用減速機ハーモニックドライブ ® とＤＣ サーボモータを組み合わせた、小型・高トルク・高回転精度のＤＣ サーボアクチュエータです。 この RH シリーズの性能を充分に引き 出す専用サーボドライバとのセットにより、高回転精度でコンパク トな機械装置を実現します。 ロータリーアクチュエータ RH シリーズ Rotary Actuator DC Servo Actuator ●小型・精密制御用減速機 ハーモニックドライブ® 高い位置決め精度と、 高い分解能を誇ります。 しかも他には類のない軽量、 コンパクトです。 ●高剛性出力軸支持ベアリング 出力軸は大きな高精度ベアリングで支持 しています。大きな負荷を直接支持できます。 079 センサシステム 最適磁気回路を徹底的に追及して、 開発された高応答DCサーボモータ です。位置決め時間を短縮します。 Sensor System ●高性能DCサーボモータ ロータリーアクチュエータ Rotary Actuator RH Series 型式と記号 D － 60 RH － 14 02 － E 100 A L 機種：DCサーボアクチュエータ RHシリーズ エンコーダ出力方式 O：オープンコレクタ方式 L：ラインドライバ方式 型番：5,8,11,14 エンコーダ供給電源 A：＋5V D：＋5～12V バージョン記号 リニアアクチュエータ Galvanometer Scanner System Linear Actuator ガルバノ式光学スキャナ サーボドライバ Servo Driver オプション E：インクリメンタルエンコーダ T：タコジェネレータ 定格出力（W） RH-5, RH-8は×1 RH-11, RH-14は×10の値 仕 様（インクリメンタルエンコーダ付） 時 間 定 格 ： 連続 項目 定格出力 W 定格電圧 V 瞬時最大トルク 最大連続ストールトルク 周 囲 温 度 ： 0〜40℃ RH-5A 周 囲 湿 度 ： 35〜80％（結露のないこと） RH-8D RH-11D RH-14D 8802 5502 4402 6006 3006 6001 3001 6002 3002 1.5 1.7 1.4 8.6 6.2 13.6 12.3 20.3 18.5 12 24 24 24 Nm 0.39 0.59 0.69 2.7 3.5 4.9 7.8 14 20 kgfcm 4.0 6.0 7.0 27 36 50 80 140 200 Nm 0.24 0.39 0.43 1.5 2.3 2.5 4.4 5.4 7.8 kgfcm 2.4 4.0 4.4 15 23 25 45 55 80 Nｍ 0.16 0.29 0.29 1.4 2.0 2.2 3.9 3.2 5.9 kgfcm 1.6 3.0 3.0 14 20 22 40 33 60 最高回転速度 r/min 180 110 90 100 50 100 50 100 50 定格トルク 定格回転速度 r/min 88 55 44 60 30 60 30 60 30 瞬時最大電流 A 0.83 0.78 0.77 1.6 1.1 2.4 2.1 5.4 4.1 定格電流 A 0.5 0.5 0.5 1.0 0.8 1.3 1.3 1.8 1.8 Nm/A 0.69 1.11 1.38 2.1 4.2 2.46 4.91 2.92 5.76 トルク定数 慣性モーメント※ 5 許容スラスト荷重 センサシステム 080 保 護 構 造 ： 全閉自冷 型式 許容ラジアル荷重 Sensor System エンコーダの分解能 100：1000パルス/回転 036：360パルス/回転 ダイレクトドライブ・モータ DirectDrive motor 出力軸定格回転速度： 60r/minを示す kgfcm/A 7.06 11.3 14.1 21.4 42.9 25.1 50.1 29.8 58.8 GD2/4 kgm2 6.3×10-4 16×10-4 25×10-4 37×10-4 150×10-4 110×10-4 430×10-4 210×10-4 810×10-4 J kgfcms2 0.007 0.016 0.026 0.04 0.15 0.11 0.44 0.21 0.83 N 59 196 245 392 kgf 6.0 20 25 40 N 29 98 196 392 kgf 3.0 10 20 40 減速比 質量 組み合わせドライバ 50 kg 80 100 0.09 HS-360-1A ※ 1： 上表の値は、出力軸における代表値を示しています。 ※ 2： HS-360 ドライバと組み合わせたときの値です。 ※ 3： HS-360 ドライバと組み合わせてご使用頂くときは、エンコーダはラインドライバ 仕様となります。 ※ 4： アクチュエータ仕様は、次に示すアルミ放熱板に取り付けた時の値です。■ RH-5A : 150×150×3(mm)■ RH-8D : 150×150×6(mm)■ RH-11D : 150×150×6(mm)■ RH-14D : 150×150×6(mm) 50 100 50 100 50 100 0.3 0.5 0.77 HS-360-1B HS-360-1C HS-360-1D ※ 5： 慣性モーメントは、モータ軸とハーモニックドライブ ® の慣性モーメントの合計値 を、出力軸に換算した値です。 ※ 6： 検出器分解能は（モータ軸エンコーダ 4 逓倍時分解能）×（減速比）の値です。 ※ 7： DC サーボモータはブラシの交換が必要となります。 ※ 8： アクチュエータの回転方向については技術資料をご確認ください。 DC Servo Actuator 出力回路 分解能（パルス / 回転） 電源電圧（V） 消費電流（mA） 応答周波数（kHz） RH-5A ラインドライバ 360 DC＋5V±5％ 170max. 100 RH-8D,11D,14D オープンコレクタ DC＋5V±5％ 60max. ■ラインドライバ出力回路 ■ ラインドライバ 170max. 1000 オープンコレクタ DC＋4.75～12.6V 60max. 125 Rotary Actuator 型式 項目 ■オープンコレクタ出力回路 ■ ロータリーアクチュエータ エンコーダ仕様 エンコーダ側 DirectDrive motor （RH-5Aは＋5Vのみ） ■オープンコレクタ出力波形 ■ B相 Z相 Z相 出力軸CW回転 Z相 出力軸CW回転 RH-5A RH-8D,11D,14D 線色 ラインドライバ オープンコレクタ ラインドライバ オープンコレクタ 茶 信号 A 信号 A 信号 A 信号 A 青 信号 A － 信号 A ―― COM 赤 信号 B 信号 B 信号 B 信号 B 緑 信号 B － 信号 B ―― COM 黄 信号 Z 信号 Z 信号 Z 信号 Z ―― ―― ―― ―― 橙 信号 Z － 信号 Z COM 白 電源 電源 電源 電源 黒 グランド（COM） グランド（COM） グランド（COM） グランド（COM） シールド フローティング フローティング フローティング フローティング サーボドライバ 型式 リニアアクチュエータ ■エンコーダリード線の線色 ■ Galvanometer Scanner System B相 B相 Linear Actuator A相 A相 ガルバノ式光学スキャナ A相 T=平均周期 Servo Driver T=平均周期 081 センサシステム Sensor System ■ラインドライバ出力波形 ■ ダイレクトドライブ・モータ エンコーダ側 相当 ロータリーアクチュエータ Rotary Actuator RH Series タコジェネレータ仕様 仕様 極性 項目 発生電圧（注 1） V/1000(r/min) 3±10% 直線性（注 1） %max ±1 リップル（注 1） %max 1(RHS)/3(P-P) Ω 45±10%(20℃) 電機子インダクタンス mH 7±20% 慣性モーメント（注 2） gm2 12×10-4 Linear Actuator サーボドライバ センサシステム Sensor System リニアアクチュエータ Servo Driver ガルバノ式光学スキャナ Galvanometer Scanner System ダイレクトドライブ・モータ DirectDrive motor 電機子抵抗 082 白 アクチュエータ出力軸より 見てCW回転のときに、 白色リード線に （＋） 赤色リード線に （－） が出力します。 赤 発生電圧、直線性、リップルの測定回路 注 1 タコジェネレータ単体として 200rpm 以上のときの値です。 注 2 モータ軸における慣性モーメントです。 アクチュエータ出力軸換算の慣性モーメン トは、ハーモニックドライブ ® の速比Ｒの 2 乗倍となります。 外形寸法図 ■RH-5A ■ （インクリメンタルエンコーダ付） モータリード線 単位：mm エンコーダリード線 タップ穴 断面図 ■RH-8D ■ （インクリメンタルエンコーダ付） エンコーダリード線 モータリード線 ※寸法および形状の詳細は、弊社発行の納入仕様図でご確認ください。 部品の製造方法（鋳造品、機械加工品）によって公差は異なります。 公差表記のない寸法の公差について必要な場合はお問い合わせください。 単位：mm DC Servo Actuator 単位：mm ■RH-14D ■ （インクリメンタルエンコーダ付） 単位：mm Linear Actuator リニアアクチュエータ サーボドライバ ■RH-8D、RH-11D、RH-14D ■ （タコジェネレータ付） Servo Driver Galvanometer Scanner System エンコーダリード線 単位：mm 083 センサシステム Sensor System タコジェネレータ ブラシカバー ※寸法および形状の詳細は、弊社発行の納入仕様図でご確認ください。 部品の製造方法（鋳造品、機械加工品）によって公差は異なります。 公差表記のない寸法の公差について必要な場合はお問い合わせください。 ガルバノ式光学スキャナ モータリード線 ダイレクトドライブ・モータ DirectDrive motor モータリード線 エンコーダリード線 Rotary Actuator ■RH-11D ■ （インクリメンタルエンコーダ付） ロータリーアクチュエータ 外形寸法図 ロータリーアクチュエータ Rotary Actuator RH Series 使用可能領域 「一方向位置決め精度」 「繰り返し位置決め精度」 「反転位置決め精度」を下表に示します。 なお、下表の値は代表値を示します。 （JIS B-6201-1987） RH シリーズは、内部に精密制御用減速機ハーモニックドライブ ® を組み込んでいるため、モータ軸の位置決め誤差は、減速により 1/50 または 1/100 に圧縮され、実際には減速機の角度伝達誤差が位置決め精度を決定します。 したがって、減速機の角度伝達誤差の測定値 を RH シリーズの位置決め精度として表します。 各型番の精度を次に示します。 型式 RH-5A RH-8D RH-11D RH-14D arc sec 290 150 120 120 rad 1.31×10-3 7.27×10-4 5.82×10-4 5.82×10-4 arc sec ±90 ±60 ±60 ±60 rad ±4.36×10-4 ±2.91×10-4 ±2.91×10-4 ±2.91×10-4 arc sec 150 60 60 60 rad 7.27×10-4 2.91×10-4 2.91×10-4 2.91×10-4 Linear Actuator サーボドライバ センサシステム Sensor System リニアアクチュエータ Servo Driver ガルバノ式光学スキャナ Galvanometer Scanner System ダイレクトドライブ・モータ DirectDrive motor 項目 084 一方向位置決め精度 繰返し位置決め精度 反転位置決め精度 《測定条件、負荷：無負荷、回転速度：定格値》 機械的精度 RH シリーズの出力軸および取り付けフランジの機械精度は次の通りです。 機械的精度 精度の項目 （単位：mm） RH-5A RH-8D RH-11D RH-14D 1 出力軸軸振れ 0.03 0.03 0.03 0.03 2 出力軸と取り付け嵌合部との同軸度 0.04 0.04 0.04 0.04 3 出力軸と取り付け面との直角度 0.04 0.04 0.04 0.04 注）T.I.R（Total Indicator Reading）での値です。 DC Servo Actuator 0.1 0 0 Rotary Actuator C V］ 0.2 1.0 UR 5.0 4.0 3.0 2.0 連続使用領域 80 120 160 200 0.2 0.4 0.6 CURRENT ［A］ 0.8 1.0 SPEED ［r/min］ 0.7 SP 0.6 0.5 反復使用領域 EE D［ 12 0.4 0.3 連続使用領域 0.2 1.0 0.1 0 0 CU ］ T EN RR V 20 40 0.2 0.4 60 80 100 120 0.6 0.8 CURRENT ［A］ 1.0 1.2 SPEED ［r/min］ C 0.3 0.4 100 120 0.6 0.8 CURRENT ［A］ 1.0 1.2 20 15 10 ■ RH-8D-3006 3.0 SP EE 2.5 2.0 D［ 24 反復使用領域 V］ ［kgfcm］ 25 ［Nm］ 30 TORQUE ［kgfcm］ ■ RH-8D-6006 NT RE UR C 1.5 1.0 0 0 15 連続使用領域 10 40 60 0.4 0.8 SPEED ［r/min］ 1.2 CURRENT ［A］ 80 100 1.6 2.0 ［Nm］ ［kgfcm］ TORQUE 1.0 0 0 EE D［ 24 反復使用領域 NT RE R CU V ］ 20 40 0.5 1.0 60 SPEED ［r/min］ 1.5 CURRENT ［A］ 80 100 2.0 2.5 D［ 24 ［kgfcm］ ［Nm］ ［kgfcm］ EE 10.0 T N E RR V ］ CU 6.0 0 200 160 80 4.0 0 80 70 60 50 40 30 20 10 0 120 8.0 反復使用領域 2.0 30 40 50 1.00 1.25 SPEED ［r/min］ 0.50 0.75 CURRENT ［A］ 8.0 7.0 6.0 5.0 4.0 3.0 2.0 1.0 0 反復使用領域 T EN RR CU 連続使用領域 10 20 30 0.5 1.0 1.5 CURRENT ［A］ SPEED ［r/min］ 40 50 2.0 2.5 ■ RH-14D-3002 SP 12.0 20 0.25 20 連続使用領域 20 40 1.5 3.0 60 SPEED ［r/min］ 4.5 CURRENT ［A］ 80 100 6.0 7.5 20.0 16.0 12.0 反復使用領域 T EN RR CU 8.0 40 4.0 0 0 連続使用領域 10 20 1 2 30 SPEED ［r/min］ 3 CURRENT ［A］ 40 50 4 5 085 センサシステム 40 TORQUE 60 10 V］ 80 0 24 D［ EE 100 連続使用領域 SP 120 14.0 1.5 0.5 0 連続使用領域 ■ RH-14D-6002 140 2.0 ］ 4V 2.0 10 T EN RR CU ］ 2 D［ 20 3.0 24 EE 30 2.5 D［ V 反復使用領域 ■ RH-11D-3001 SP 5.0 4.0 EE 3.0 1.0 5 20 SP 3.5 SP 40 25 20 ■ RH-11D-6001 50 30 4.0 サーボドライバ 0.5 35 リニアアクチュエータ 5 40 Galvanometer Scanner System 0.2 80 Linear Actuator 60 SPEED ［r/min］ Servo Driver 40 ガルバノ式光学スキャナ 20 Sensor System 0 ［Nm］ 0 連続使用領域 TORQUE 0.1 ［Nm］ 0.2 1.0 TORQUE ［Nm］ T EN RR U ［Nm］ 2.0 0.4 反復使用 領域 TORQUE 3.0 0.7 0.6 0.5 ［kgfcm］ 4.0 0.8 V］ 12 D［ 7.0 6.0 5.0 TORQUE 8.0 EE SP ［kgfcm］ ■ RH-5A-4402 ダイレクトドライブ・モータ 40 ［Nm］ 6.0 DirectDrive motor 0.3 反復使用領域 T N RE 7.0 TORQUE ［kgfcm］ 0.4 12 2.0 ■ RH-5A-5502 0.5 ［ ED 3.0 ［Nm］ 4.0 TORQUE 5.0 E SP ［kgfcm］ ■ RH-5A-8802 ロータリーアクチュエータ 使用可能領域
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