高精度平面度測定方法 19 H25- Method for measuring the flatness 短時間で精度よく被測定体の平面度を測定できます。透過・不透過材料共に適用可能です。従来技術光の干渉現象を利用した平面度を測定する方法は従来から行われていますが、精度よく短時間に平面度を計測することができないという問題があります。また、白色光を用いる 3 次元構造解析装置では、照射範囲が限定されるため、測定可能な領域が狭く、大面積の測定には長時間を要するという問題があります。本発明の特徴センサ関連測定対象 1 と測定対象 2 の間にスペーサを挟み、光源により光を照射すると、鏡面間の多重反射により円形の干渉縞が生じます。測定対象が厳密に平行に設置されていた場合には、干渉縞の半径は等しくなりますが、平面精度が低い場合には、反射距離により干渉縞の半径が異なり、この半径を計測することにより精密に面精度を求めることができます。また、光源の配置を変えることにより、不透過対象の平面度測定も可能です。本発明の効果・従来の精度を大幅に超える高精度での平面度測定が可能となります。・従来の 3 次元構造解析装置のように、測定対象へのサイズ制限が課されることがありません。特許公開番号特開2010-197281 特許番号開発状況想定される用途精密ガラス、レンズ、ウエハ検査装置等試作中 26 使ってみたいJAXA特許誌面.indd 26 2014/08/08 12:06:03