太陽電池の欠陥検査 09 H25- Method and Apparatus for inspection solar cell 内部クラックや電気短絡状態等の欠陥を簡単に検出できます。 欠陥の分布状態を検出できます。 従来技術 測 定 技 術 太陽電池のクラック等の欠陥を発見するためには、斜光照明を当てたときと落射照明を当 てたときの画像を比較して欠陥の判定をする装置等がありますが、表面のクラックしか検 出することができず、内部のクラックは検出することができない上、電気的な欠陥(短絡状 態等)は、別の方法で検出する必要がありました。 本発明の特徴 太陽電池の正方向に電流を流すことで太陽電池が発光し、その発光強度の違いにより 欠陥を検出します。 エレクトロルミネッセンス(EL)による検査 フォトルミネッセンス(PL)による検査 発光 源 光 電気エネルギー供給 太陽電池 発光画像を 撮影、欠陥の 判定を行う 発光 光エネルギー供給 太陽電池 検査・判定プロセス 本発明の効果 ・表面のクラックも内部のクラックも両方検出できます。 ・簡易な装置構成で、欠陥を検出できます。 ・自動化することで、検査が高速化し、検査の信頼性も向上します。 特許番号 特許4915991号等 開発状況 製品化済 想定される用途 太陽電池用半導体の検査・評価等 16 使ってみたいJAXA特許誌面.indd 16 2014/08/08 12:06:01
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