工学研究科電気電子工学コース 博士前期過程 2 年の内山 政洋君が
平成 27 年度応用物理学会九州支部学術講演会発表奨励賞を受賞しました。
2015 年 12 月 5 日〜6 日に沖縄県の琉球大学で開催された表記発表において、工学研究科
総合工学専攻 電気電子工学コース 博士前期過程 2 年の内山 政洋君が発表奨励賞を受賞し
ました。講演題目、共著者は下記の通りです。
記
講演題目：『同軸型マグネトロンパルスプラズマを用いた細管内壁へのＤＬＣ成膜に関する
研究』
共著者：内山 政洋、Musab Timan、篠原 正典、Jason H. C. Yang、藤山 寛
講演概要
真空成膜技術は近年大きな発展�を遂げているが、その主役はウェハを中心とした平板へ
の技術である。筆者らは、真空成膜技術の用途拡大や実用性の向上のために、管内壁へ DLC
を成膜する装置を開発し、本講演では管内壁へ成膜した DLC 膜を定性的に評価した結果に
ついて報告した。 （補足）DLC 膜＝非晶質構造の炭素薄膜の一種
右：内山政洋 君
左：同時受賞した中野大和 君