修士論文の和文要旨大学院電気通信学研究科博士前期課程知能機械工学専攻氏論要名文題青木朗子学籍番号 0434001 目ＤＤ方式超高精度歯車測定機の開発旨現在，(社)日本歯車工業会では，歯形精度の検定方法の確立を目的にNC方式の超高精度歯車測定機を開発しており，この測定機は現在，全歯形誤差で約 1 μ m 程度の不確かさを持っている．この不確かさは，JIS 歯車規格のすべての歯車を評価するにはまだ不十分である．この測定機の測定誤差の一つの大きな要素が，駆動系の運動誤差であり，すなわちステッピングモータ，ウォームギヤ及びボールねじを使うことによる誤差であることがこれまでの研究結果で確認されている．本研究は，歯車測定機の現状に着目し，エアベアリング支持で，DD（ダイレクトドライブ）方式の新しい駆動系を用いたサーボシステムを開発することにより、従来の歯車測定機よりも高精度な歯車測定機を開発することを目的としている．本論文では先に試作された，歯形測定に必要な直動軸と回転軸の実験機を改良して，ＤＤ方式の試作測定機を完成させた．また歯形測定において，高い測定精度を実現させるためには多軸の同期制御すなわち軌跡制御の精度を向上させる必要がある．そこで直動軸と回転軸について，駆動実験を行い制御系について検討した．さらに得られた制御則を適用して歯形を測定し，次のような成果を得た．（1 ）DD 方式で試作された実験機を元に，D D 方式の試作測定機を完成させた．（2）追従特性実験により，これまでよりも高い駆動精度を得た． (3）試作機で実際に歯形の測定を行い，超高精度機よりも速い測定において，測定誤差が低減している事を確認した . (4）歯形の測定値に , 高い繰り返し性を確認した .