研磨進捗報告（株）ナノオプトニクス・エナジー高橋啓介 6/5 ＠名古屋大学もくじもぐらたたきを用いた等圧支持での形状測定・ベタ置きの問題点形状補正（全面）・パッドの速度勾配による形状補正形状補正（端領域）・意図的な圧力勾配による形状補正今後の方針・やといの設置等圧支持でのセグメント形状鉄板直置きもぐら前後もぐらたたき鉄板直置きと、もぐらたたき上での測定形状の差～6um！研削段階から等圧支持にしておく必要→バネ支持研削形状補正(全面) 全面研磨時のパッド軌跡と速度勾配（シミュレーションで決定）研磨前後の形状差パッドが完全通過できる領域の形状誤差 →比較的容易に補正可能シミュレーションを用いた速度勾配決定 1:現在の形状から研磨量の目標を定め、V_max, V_minを決める 2:CGHの高さ情報から各位置での移動速度を決定する 3:位置、速度情報からシミュレータを使い、研磨量を計算 4:現在の形状と比較してV_max, V_minを調整→2に戻る加工時間～500min. 予想値結果形状補正（端領域）端の研磨不足領域エッジ付近の形状エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けないパッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？線形の圧力勾配を考慮した研磨量一方行（Z方向）にパッドを動かしたときの研磨量分布 z x 研磨量 x 一様な圧力分布 x方向に線形の圧力勾配カップリングのバネを利用研磨量法線法線からエッジ方向に 5度の傾き法線からエッジ方向に 10度の傾き圧力勾配による研磨量制御は可能バネのみで理想的な圧力勾配を生むことはできなかったバネの補強傾きを大きくしすぎるのは危険→バネを強く！ゴムシートを巻きつけてバネを補強＋φ60パッドに強化したバネを用いることによってエッジ側から内側に向けて十分な圧力勾配を生み出すことが出来たただし、、ゴムの巻き方、錘の質量、エッジのはみ出し量のバランスを上手くとる必要再現性に問題研磨量再現可能な最適解を見つける必要最終形状円弧の削り残し端以外の領域は問題なく形状補正が出来ている２辺交差点の削り残し今後の方針：やといの設置エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうからパッドが落ちないようにする！セグメントやとい設置の方法、段差の問題等、課題はいくつかあるが、研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性まとめ今後の研削、研磨は等圧支持にして行う必要ベタ置きでは数umの形状誤差１枚目セグメントの形状補正研磨端領域を除いてほぼ仕様を満たすことができた意図的な圧力勾配による研磨量制御セットアップ次第で可能であることが分かった今後の研磨方針やといを用いて端の問題を回避