研磨関係進捗報告 やといつき研磨セットアップ （株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 2011/04/23 第23回新技術望遠鏡技術検討会 株式会社ナガセインテグレックス第1ホール やといつき研磨 効能 全ての点に対してパッドの滞在時間を揃えるのが理想 エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから パッドが落ちないようにする！ セグメント やとい 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性 やといつき研磨の流れ やとい：R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１ １：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット） ２：セグメント研削、やとい設置 →レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標） →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 ３：CGHで形状を確認しながら研磨 やといつき研磨までの流れ やとい：R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１ １：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット） ～1月末 ２：セグメント研削、やとい設置 →レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標） →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 ３：CGHで形状を確認しながら研磨 やといつき研磨までの流れ やとい：R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１ １：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット） ２：セグメント研削、やとい設置 ～4月22日 →レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標） →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 ３：CGHで形状を確認しながら研磨 やとい設置のポイント ・測定時にセグメントに影響がないように接触させない スラリーが垂れる→隙間はできるだけ小さい方が良い→0.5mm ・セグメントとの段差 →０が理想だが、どちらかといえばやといが高い方がよい →5um以内に ・研磨パッドによる圧力対策 →100Nで押したときの変化が5um以内になるように支持点 ・温度変化によるやといの変形防止 片側が濡れた状態では、気化熱による温度変化で１０数umの変形 →ビニールハウスで湿度を保ち、蒸発を防ぐ やとい設置の流れ やとい配置終了 側面やといの設置 セグメントの変形、転覆防止の剣山冶具 内周側やといの設置 4.00 3.00 2.00 1.00 0.00 L1 u -1.00 m -2.00 L2 L3 -3.00 -4.00 -5.00 -6.00 0 20 40 mm 60 80 100 今後の予定 ・来週から研磨開始 ・5月中に蒸着試験用を完成させる この後、工場にて デモ研磨を行います。
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