研削実験の状況報告第14回新技術望遠鏡技術検討会 2008年10月18日国立天文台岡山天体物理観測所所仁志 • TMT用セグメントの試験加工 - f1545×50 mm, クリアセラム-z HS • • • • R=60 m, k=-1.072533 非軸対称（seg#15, 線対称）形状精度：34 nm rms 表面粗さ：2 nm rms 六角形（対角1.45 今回は円のまま 82種×6 = 492枚 • 加工手順 1. #170, #325, #1,200研削 2. 研磨（準備中）加工方法 • R=60 m, k=-1.072533, 4.3 mm凹形状 • テーブル回転＋左右・上下“単調”駆動＋上下微動 DYmax~ 80 mm 360 deg. cf. OAOでは、DYmax~ 330 mm #170, 325粗加工 • #170 - レジンボンド-ダイヤモンド砥石を使用 - メタルボンドよりドレス・研削性能が良い - 0.030 mm×145 pass - 総加工時間：55時間 • #325 - #170でできたクラック層の除去 - 0.005 mm×8 pass - 総加工時間：7時間 #1,200 • 砥石 - レジンボンド-ダイヤモンド砥石 - 断面はフラット • 加工条件 - 周速度一定(8.8 m/min.) - X送り：1.0 mm/rev. - 切込み：0.002 mm/pass - 1pass加工時間：3時間15分非軸対称形状誤差 • 大きな非軸対称誤差は、ワーク裏面の影響？ 0 deg 90 deg 形状の時間変化 • 加工終了後、20分おきに形状を測定 • 治具ベースの形状変化が原因 • 形状測定に時間をかけると、ワーク形状がどんどん変化していく • 現状では、非軸対称補正を行う意味があまりない • 軸対称補正後、研磨の試験を行う #1,200 軸対称補正 • 0, 90, 135 deg. の形状のみを考慮して軸対称補正 0 deg. 90 deg. 135 deg. 補正なし補正1 補正2_1 補正2_2 補正3 まとめ • 非軸対称加工がそれなりにできる - TMT: DYmax ~ 80 mm (FY ~ 0.6 mm/min, 1.9 rpm) - OAO : DYmax ~ 330 mm (FY ~ 3.0 mm/min, 2.3 rpm) - FY ~ 1,000 mm/min, 27 rpmの同期可能 • 高級な治具が必要 - 研削時は3つの固定点＋多数のバネで保持 - 望遠鏡での支持方法で測定 • 来週から研磨を開始 600mm RC 主鏡 • R = 3,600, k = -1.072533  13 mm凹 • 軸対称、回転研削 • #1,200中仕上げ #170, 325粗加工 • #170 - レジンボンド-ダイヤモンド砥石を使用 - メタルボンドよりドレス・研削性能が良い - 総加工時間：55時間 • #325 - #170でできたクラック層の除去形状誤差 2 mm 直交方向 - 0.005 mm×8 pass - 総加工時間：7時間対称軸方向