研削実験の状況報告第12回新技術望遠鏡技術検討会 2008年4月5日京都大学所仁志 • N2C-1300D 加工試験 - f610×90 mm, クリアセラム-z HS - #1,200砥石 - Z送り+回転 - 平面 • N2C-1300D 精度測定 - 西村さんにお借りしたf650平面原器（l/25） - X軸真直度 - B軸回転精度 N2C-1300D 加工試験 • 中仕上げ#1,200砥石 - 仕上げ#3,000は面粗度を上げるのみ - #1,200で形状を作り込む • Z送り + 回転 - 加工時間：“Z送り+回転”と“Xスキャン+Zステップ”は同程度 - f1300mmを加工するには回転が必須 • まずは平面でチャンピオンデータを加工条件 • 砥石 - 片桐製作所製ダイヤモンド砥石、断面はフラット • 加工条件 - 砥石回転数：500 rpm - テーブル回転数：2 ~ 50 rpm （周速度一定） - Z送り：1.5, 3.0 mm / rev. - 切込み：0.5, 1, 2 mm / pass - 1pass加工時間：28, 56 min. 試験初期の結果 • レーザー変位計 + Xスキャン • 2.5 mmの凹 • 砥石の熱膨張が原因か? 研削液の効果 • 研削液の冷却効果で凹形状が改善された • 0.5 mmの凸、再現性有り現状 • 砥石偏摩耗を避けるため、片方向⇒両方向送り補正なし補正1 補正なし補正2 補正3 補正4 補正5 補正6 • 補正加工により、~0.1 mm rms • 26 pass~は砥石が安定 ⇒ 内周セグでの13 pass N2C-1300D 精度測定 • 副鏡・第三鏡の形状測定はレーザー変位計で - X/Z軸の真直度、B軸の回転精度を厳密に知る必要有り • X軸真直度 • B軸回転精度 X軸真直度 E棟据付時 • ベッド中央の沈み込み（~3mm）により、真直度が狂った ⇒ 定期的な測定が必要 B軸回転精度1 • 再現性有（回転速度・方向、静圧on/off、時間） B軸回転精度2 • 平面原器の取外し・取付けでばらつくまとめ • #1,200で0.1 mm rmsの加工に成功 - 加工効率のよいロータリー研削、平面 • X軸真直度が変動する - 定期的な測定が必要 • B軸回転に0.3 mm程度の揺らぎ有り - ワークを載せかえるごとに測定する N2C-1300D 加工試験 • 中仕上げ#1,200砥石 - 仕上げ#3,000は面粗度を上げるのみ - #1,200で形状を作り込む • Z送り + 回転 P (mm) R (mm) - 加工時間：“Z送り+回転”と“Xスキャン +Zステップ”は同程度 - f1300mmを加工するには回転が必須 • まずは平面でチャンピオンデータを Rz (nm) P = sqrt(8R・Rz)