『光で探るナノ・マイクロの熱物性』
長坂・田口研究室
（慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科）
当研究室では、光を用いた熱物性計測技術について研究・開発を行っております。
光と申しましても、マイクロレベルのレーザー干渉や、非常に微細なリプロン（表面
波）からの散乱光、高速周期変調光による温度波干渉、ナノレベルの近接場光といっ
た非常に特殊な光を用いております。こうした特殊な光を用いることで、試料の熱物
性を高速に非接触で測定することができ、in situあるいはオンサイトでのセンシング
が可能となります。こうした特殊な光を用いた熱物性計測技術をさらにマイクロメー
トルサイズのチップの中に納めようという試みも行っております。光MEMSを用いた
熱物性センサーの開発は世界でもまだ始まったばかりのチャレンジングなテーマで
す。総勢２６名のメンバーは情『熱』を持って、『光』で未来を照らそうと日々努力
しております。
詳細についてはホームページをご参照ください。http://www.naga.sd.keio.ac.jp/
Fig.1 普段の実験風景
Fig.2 光 MEMS を用いた熱物性センサーの SEM 写真
Fig.3 長坂・田口研究室メンバー

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