バルブチーム
＜氏名＞ 四方 出
＜役職＞ チームリーダー
＜開発内容＞
ミニマルファブ技術研究組合
＜所属＞ 株式会社フジキン
＜自己紹介＞
ミニマルファブでは、従来のメガファブ半導体製造装
大学では金属材料を専攻、卒業後（株）フジキンへ入社。
置と異なり各装置が小型化されます。装置の小型化にと
一貫してバルブ＆ガス系ユニットの設計開発に従事。7 年
もない内部のガス系スペースも狭くなり、従来の小型バ
前に弊社筑波研究工場へ異動。現在の職務は筑波研究工場
ルブよりさらに小型化が必要となります。性能は既存性
技術部の統括リーダーです。2012 年からミニマルファブ
能を維持しつつ超小型かつ施工性の優れたバルブ継手類
の一員となり現在に至っています。
の開発がミッションとなり製品化に向け取組んでいます。
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1980
1990
2000
2010
Excellent, Ultimate, Fine, Clean & Safe Technology.
2020

ウェハ検査（分析・評価）チーム

マスクレス露光チーム - ミニマルファブ技術研究組合

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