マスクレス露光チーム - ミニマルファブ技術研究組合

ミニマルファブ技術研究組合
マスクレス露光チーム
<氏名> 三宅 賢治
<役職> チームリーダー
<開発内容>
<所属> 株式会社ピーエムティ
<自己紹介>
1 セット 1000 万円から数億円するマスク / レチクルが
外資系の半導体製造メーカでリソグラフィーのプロセス
不要で、しかも水銀ランプより 10 倍も寿命が長い LED を
エンジニアを 10 年間、半導体工場の IT システム開発を
光源として、PC プロジェクターに使用されている DLP™
20 年間行いました。
で直描を行うマスクレス露光装置を開発し、描画性能の
ISSM,AEC/APC などの半導体プロセス関連の国際学会の
向上、) 組立性及びメンテナンス性の改善、信頼性の向上、
プログラム委員も歴任しています。
コストダウンなどを進めています。
2012 年に山口大学大学院技術経営研究科で MOT 修士
を取得し、現在は山口大学 博士課程後期で技術経営を研
究しています。
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