ミニマルファブ技術研究組合 マスクレス露光チーム <氏名> 三宅 賢治 <役職> チームリーダー <開発内容> <所属> 株式会社ピーエムティ <自己紹介> 1 セット 1000 万円から数億円するマスク / レチクルが 外資系の半導体製造メーカでリソグラフィーのプロセス 不要で、しかも水銀ランプより 10 倍も寿命が長い LED を エンジニアを 10 年間、半導体工場の IT システム開発を 光源として、PC プロジェクターに使用されている DLP™ 20 年間行いました。 で直描を行うマスクレス露光装置を開発し、描画性能の ISSM,AEC/APC などの半導体プロセス関連の国際学会の 向上、) 組立性及びメンテナンス性の改善、信頼性の向上、 プログラム委員も歴任しています。 コストダウンなどを進めています。 2012 年に山口大学大学院技術経営研究科で MOT 修士 を取得し、現在は山口大学 博士課程後期で技術経営を研 究しています。 䕔䝃䞊䝬䝹䝏䝱䞁䝞䚸ᕧ䝺䞁䝈⩌䛚䜘䜃ᆺ䝇䝔䞊䝆せ㻌 㻌 䊻⨨ᵓᡂရ䛾ῶᑡ䚸ᾘ㈝㟁ຊ๐ῶ㻌 䊻䝬䝇䜽䝺䝇䛷㈝⏝㻟൨せ䚸 タィᮇ㛫㻞䞄᭶▷⦰䚹 䝥䝻䝆䜵䜽䝅䝵䞁ᥥ⏬㻌 㻝㻥㻞㻜䝢䜽䝉䝹㻌 ᥥ⏬䝕䞊䝍㻌 㻝㻜㻤㻜䝭䝷䞊㻌 㻝㻥㻞㻜䝭䝷䞊㻌 㻰㻸㻼㻌 ᢞᙳ䝟䝍䞊䞁 Ⓨ⏕ᅇ㊰ཬ䜃 䝋䝣䝖䜴䜵䜰㛤 Ⓨ㻌 ⦰ᑠ䝺䞁䝈㻌 吐 各 吺 呉 㼄㻌 㼅㻌 㻞㻡㻜㻜㻜㻜䝢䜽䝉䝹㻌 ᥥ⏬㻌 㡿ᇦ㻌 䝇䝔䞊䝆ୖ䛾㻡㻠㻜㼚㼙䠄䝭䝷䞊ീ䝢䝑䝏䠅㻌 ไᚚ⣔䛷ྠᮇ㻌 ⾲♧⏬ീ䛾䠍䝢䜽䝉䝹ศ㻌 㻰㻸㻼䠖㻰㼕㼓㼕㼠㼍㼘㻌㻸㼕㼓㼔㼠㻌㻼㼞㼛㼏㼑㼟㼟㼕㼚㼓㻌 ከᩘ䝬䜲䜽䝻䝭䝷䞊䜢ᖹ㠃ୖ䛻㓄ิ䛧䛯⣲Ꮚ䚹㻌 䝭䝷䞊䛜ග䜢ᑕ䛥䛫䛶ᑐ㇟≀䛻ᢞᙳ䛩䜛ᫎീ ⾲♧ᢏ⾡䚹㻌 㻌 ㉸㧗⢭ᗘ䝇 䜻䝱䞁䝇䝔䞊 䝆㛤Ⓨ㻌
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