ウェハ検査（分析・評価）チーム䜴䜵䝝᳨ᰝ䠄ศᯒ䞉ホ౯䠅䝏䞊䝮ミニマルファブ技術研究組合䠘Ặྡ䠚ᒣෆṇᘺ㻌䠘ᙺ⫋䠚䝏䞊䝮䝸䞊䝎䞊㻌䠘ᡤᒓ䠚㯮⏣⢭ᕤᰴᘧ఍♫ ＜氏名＞山内正弥䠘㛤Ⓨෆᐜ䠚＜役職＞チームリーダー＜所属＞黒田精工株式会社䠘⮬ᕫ⤂௓䠚㻌䜴䜵䝝᳨ᰝ䝏䞊䝮䛿䚸䝝䞊䝣䜲䞁䝏䜴䜵䝝䛾＜開発内容＞ ᖹᆠᗘ䜢 ᐃ䞉ホ౯䛩䜛⿦⨨䜢㛤Ⓨ䛧䛶䛔䜎䛩䚹ウェハ検査チームは、ハーフインチウェハの平坦度を㻌㠀᥋ゐ ᐃ䛻䜘䜚䚸ཌ䛥೫ᕪ䛸⾲⿬㠃䛾ᙧ≧ 測定・評価する装置を開発しています。䜢ホ౯䛧䜎䛩䚹非接触測定により、厚さ偏差と表裏面の形状を評価し㻌䜴䜵䝝඲㠃䜢୍ᣓ䛷 ᐃ䛩䜛஦䛸䚸⾲㠃䛸⿬ ます。㠃䜢ྠ᫬䛻 ᐃ䛩䜛᪉ᘧ䜢ᐇ⌧䛩䜛䛯䜑䚸ᑠ ウェハ全面を一括で測定する事と、表面と裏面を同時 ᆺ䛾䝺䞊䝄ኚ఩ィ䜢᪂つ㛤Ⓨ䛧䛶䚸㧗⢭ᗘ䞉㧗に測定する方式を実現するため、小型のレーザ変位計を䝇䝹䞊䝥䝑䝖䛾䝝䞊䝣䜲䞁䝏䜴䜵䝝ᑓ⏝⿦⨨䛾新規開発して、高精度・高スループットのハーフインチ㛤Ⓨ䜢┠ᣦ䛧䜎䛩䚹ウェハ専用装置の開発を目指します。 ᐃ⤖ᯝ౛㻌 ᩿㠃ᅗ ᐃ⤖ᯝ౛㻌 ➼㧗⥺ᅗ 㻌㯮⏣⢭ᕤ㻔ᰴ㻕䛿㻝㻥㻞㻡ᖺ䛻๰ᴗ䛧䚸௒ᖺ㻥㻜࿘ ＜自己紹介＞ ᖺ䜢㏄䛘䜎䛧䛯䚹㻌黒田精工 ( 株 ) は 1925 年に創業し、今年 90 周年を迎㻌 ᑠ⫋䛿㻞㻜㻝㻝ᖺ㻞᭶䛻ධ♫䛧䚸㻞㻜㻝㻠ᖺ㻣᭶䜘䜚えました。䝝䞊䝣䜲䞁䝏䜴䜵䝝ᖹ㠃ᗘ ᐃᶵ䛾㛤Ⓨ䜢小職は 2011 年 2 月に入社し、2014 年 7 月よりハーフ ᢸᙜ䛥䛫䛶㡬䛟䛣䛸䛻䛺䜚䜎䛧䛯䚹㻌インチウェハ平面度測定機の開発を担当させて頂くことに㻌なりました。㯮⏣⢭ᕤ䛿䝀䞊䝆䛾㛤Ⓨ䞉〇㐀䛛䜙䝇䝍䞊䝖䛧䚸䛭䛾せ⣲ᢏ⾡䜢Ⓨᒎ䛥䛫䚸䝅䝸䝁䞁䜴䜵黒田精工はゲージの開発・製造からスタートし、その要素技術を発展させ、シリコンウェハの平面度測定機は各社䝝䛾ᖹ㠃ᗘ ᐃᶵ䛿ྛ♫䛻䛶䛤౑⏝㡬䛔䛶にてご使用頂いています。䛔䜎䛩䚹㻌ミニマルファブに於いても是非貢献をしたいと考えてお䝭䝙䝬䝹䝣䜯䝤䛻᪊䛔䛶䜒᫝㠀㈉⊩䜢䛧䛯䛔䛸ります。 ⪃䛘䛶䛚䜚䜎䛩䚹㻌その他にも形状計測、精密計測に関してご要望がありま㻌したら、是非声をかけて頂くようにお願い致します。䛭䛾௚䛻䜒ᙧ≧ィ䚸⢭ᐦィ䛻㛵䛧䛶䛤せᮃ䛜䛒䜚䜎䛧䛯䜙䚸᫝㠀ኌ䜢䛛䛡䛶㡬䛟䜘䛖䛻䛚㢪䛔⮴䛧䜎䛩䚹