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研削実験の状況報告
第15回新技術望遠鏡技術検討会
2009年1月17日
ナガセインテグレックス
所仁志
• 600mm Ritchey-Chrétien 主鏡
- f610×90 mm, クリアセラム-z HS
- #1,200、#3,000（左右送り回転研削）
- 研磨
y（r）=（r2/R）/｛1+sqrt（1-（1+k）r2/R2）｝
R = 3,600, k = -1.072533
#1,200加工後形状
• レーザー変位計 + XY同期形状ならい
• 形状誤差：補正前~2 mm → 補正後~0.3 mm (p-v)
90 min./pass
補正加工（1 mm×3）
テーブルの角度を変え、4方向の形状を測定
#3,000精研削
• 砥石
- アライドマテリアル製無気孔タイプのレジンボンド
- 従来：東京ダイヤ製有気孔タイプ
• 加工条件
- 周速度一定(4.4 m/min.)
- 左右送り：0.4 mm/rev.
- 切込み：0.5 mm/pass
- 1pass加工時間：174 min.
#3,000加工後形状1
4方向の形状誤差データを平均化
#1,200最終
#3,000 1pass
#3,000 4~16pass
中央の突起・非軸
対称性は加工機
の駆動が原因
か？
#3,000加工後形状2
#1,200最終 4方向の形状
平均化
平均化
#3,000最終 4方向の形状
#3,000まとめ
• #1,200の形状をほぼなぞる
- 形状誤差～0.3 mm (p-v)
- 東京D製砥石での平面加工：形状誤差～1 mm (p-v)
• Zygo New View 600（白色干渉方式）による表面
粗さの評価
- #1,200：2,000 nm (p-v), 100 nm (rms)
- #3,000：900±300 nm (p-v), 22±3 nm (rms)
- セグメントの仕様：30nm (p-v)
• ある程度加工すると、形状・粗さの変化がなくなる
研磨
• 加工条件
- 研磨剤：酸化セリウム（f5 mm)
- 周速度：0.5 ~ 1.0 m/min.
- 左右送り：20 mm/rev.
- 研磨パッド回転数：50 ~ 200 rpm
- 研磨圧：2.5 ~ 6.5 kPa
- 1往復時間：40 ~ 80 min.
研磨パッド
ピッチ
＋
松脂
＋
パラフィン
研磨圧
研磨パッド移動
研磨パッド回転
100 mm
テーブル回転
表面粗さの変化
• 40時間で
900 nm → 50 nm (p-v)
22 nm → 2.4 nm (rms)
+0.25
mm
‐0.44
+0.06
mm
‐0.09
+0.02
mm
‐0.04
形状誤差の変化
• 深いスクラッチ（～1 mm）を除去する過程で、形状
は徐々に変化していった
まとめ
• 粗研削から研磨までの一通りの工程をテスト
• #1,200で深い（～2 mm）スクラッチが生じる
- #3,000で除去できない
- #1,200・#3,000のドレス方法・加工条件の見直し
- #1,200と#3,000の間に#2,400をはさむ？
• 研磨の材料除去効率が意外に高い
- セグメント1枚目製作の際は、#3,000は1~2pass（1日）
でやめて、研磨に移る
東京D製#3,000 平面加工

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