研削の状況報告 第19回新技術望遠鏡技術検討会 2010年2月13日 株式会社ナガセインテグレックス 所 仁志 前回まで • #2,400仕上げ研削 - 表面粗さが悪いため、CGH測定できず • 形状誤差 1 mm (p-v) - 非軸対称誤差あり - 上下軸同期誤差、摩耗による砥石形状誤差 砥石摩耗による形状誤差 砥石断面形状 (R5700mm) • 加工点が砥石上を移動 - 砥石断面形状がセグメント形状に 転写される • 対策 加工後（1um×10） - 砥石断面形状誤差を加工プログラ ムに反映 セグメント 進入方向 加工前 上下軸の同期誤差 • 上下反転時に指令値からの 遅れが発生 R150 非軸対称性（上下軸固定＋テーブル回転） 加工方向 理想形状 上下軸の同期誤差 原因と対策 • 上下軸のすべり減速機が原因か？ - 入力軸反転時にすべりが生じる - 三菱電機NCの補償機能では 改善されず • 加工方式の変更 - 今までは、テーブル1回転で上下軸を微動（渦巻方式） - 上下軸を微動させない加工法（等高線方式）に変更 渦巻き方式と等高線方式 1 • 内周セグメントの形状 - 近似球面R = 10080.5 mm (19 mm 凹) - 非球面量 –0.04 ~ +0.05 mm 非球面量 100 mm (mm) 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 100 mm 100 mm 内周セグメントの形状 100 mm (mm) +0.05 +0.04 +0.03 +0.02 +0.01 0.00 -0.01 -0.02 -0.03 -0.04 渦巻き方式と等高線方式 2 非球面量 • 渦巻き方式 - 左右軸を単調減少 - 1回転で上下軸を微動 - 上下軸を単調減少 - 1回転で左右軸を微動 100 mm • 等高線方式 100 mm (mm) +0.05 +0.04 +0.03 +0.02 +0.01 0.00 -0.01 -0.02 -0.03 -0.04 渦巻き方式と等高線方式 3 • 渦巻き方式 - 1回転で上下軸を微動 • 等高線方式 1回転 - 1回転で左右軸を微動 加工軌跡 1回転 対策後 #2,400加工 • 加工条件 - 左右送りロータリー研削 - 周速度一定(4.4 m/min.) - 左右送り：0.8 mm/rev. - 切込み：0.3～1.0 mm/pass - 1pass加工時間：350 min. #2,400加工結果 1 • 渦巻き方式と等高線方式の比較 渦巻き方式 等高線方式 #2,400加工結果 2 • 砥石形状補正前後の比較 補正前 補正後 #2,400加工結果 3 • • • • 軸対称形状補正後 形状誤差：0.5 mm (p-v) 角度ごとのばらつき：0.2 mm (p-v) 同心円パターンあり（今後の課題） 今後の課題 • 形状が安定しない - 砥石の熱膨張・収縮か？ （DL = 2×10-5×250×0.2 ℃ = 1 mm ）
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