「結晶化評価」のエントリーモデル RHEEDと画像解析のセット国内実績No.1の弊社製RHEEDと世界シェアNo.1のkSpace社製画像解析システム kSA400のエントリーモデルをセットにしてご提案致します。 Reﬂectron High-Energy Electron Diﬀraction 高速反射電子回折装置 RDA-003G RDA-004P RHEED画像解析システム仕様電子銃制御電源：30keV ビームスポット：Φ90μm 取付フランジ：ICF70 リモコン（HV、エミッション、フォーカス、XY偏向）付きオプション差動排気ポート追加磁気シールド ¥1,760,000+TAX ◆販売元エントリーモデル：kSA400 Lite 光学ボックスがより使いやすく一新されました。仕様 CCDカメラ：12 bit , 88 fps 光学ボックス：ICF 114、152、203より選択ソフトウェア成長率測定 sineフィット、FFT、他 ) 画像取り込みはSingle Image Mode（ムービーは不可）その他詳細について別途お問い合わせ下さい。オプション kSA400フルスペックへのアップグレード (128万円 ) その他 RHEED振動からのFFT (高速フーリエ変換)法による膜厚測定例 ¥1,800,000+TAX ¥1,500,000+TAX 外観・及び仕様等は品質向上のため、予告無く変更になることがあります。ご了承下さい。株式会社アールデック〒305-0051茨城県つくば市二の宮 1丁目16番10号電話029-858-0211 FAX029-855-9877 http://www.rdec.co.jp k-Space 社は 1992 年にミシガン大学のロイ・クラーク教授により設立された薄膜・ウェハのリアルタイム測定システムのリーディングカンパニーです。 MBE、MOCVD、PLD、スパッタ、蒸着など様々な製膜プロセスで使われています。原子吸光分光式（AAS）フラックスレートモニタ開発助成金を獲得 k-Space Associates 社は、米国エネルギー省より原子吸光分光式（AAS）フラックスレートモニタ開発用の助成金を獲得しました。この技術により、Si 、Al や他の金属シリサイド等、各元素のフラックス密度の測定をリアルタイムで行えるようになり、成長率の厳密な制御が可能になります。UHV でもスパッタの真空圧力でも動作し、校正なしに長期の使用が可能な高感度レートモニタは高品質な成膜を実現し、多層膜ラウエレンズ（MLLs）、レーザー、太陽光発電パネル、LED などの製造に貢献します。製品ラインナップ薄膜／ウェハ表面温度モニター kSA BandiT 基板表面温度を非接触で正確に測定出来る唯一のシステムです。測定モード：BandEge 温度測定モード、Blackbody 温度測定モード、Pyro モードマルチウェハ温度・膜厚測定例成長率・膜厚モニター kSA Rate Rat Pro MOCVD・MBE・スパッタリング等において、リアルタイムで蒸着レートのモニター及びコントロールができるシステムです。測定項目：膜厚、レート、光学定数（ n , k , s ) シングルレイヤーの膜厚、レート、光学定数測定例