付録 電磁気学の復習 1 基礎方程式 (Maxwell’s Equation) 基礎 方程式 ガウス 物質の 影響 電位の 定義 ∂D + J = ∇×H ∂t ∂B − = ∇×E ∂t ∇•D = ρ ∇ • B = ρm = 0 D = ε 0ε r E B = μ0 μ r H E = −∇V D: Electric Flux Density J: Current Density H: Magnetic Field B: Magnetic Flux Density E: Electric Field ρ: True Charge ε0εr: Permittivity μ0μr: Permeability V: Electric Potential は半導体デバイス の解析でよく用いら れる式 2 電位の一般的定義 高校物理での電位の定義 一般的な電位の定義(微分形) dV ( x) [V/m] (1D記述) dx = −∇V ( x(ベクトル解析の ) 3D記法) E ( x) = − + + + x E 3+ 強いE - -- x V ( x) = − E ⋅ x E は比例係数として定義されている。 電場が均一の場合に成り立つ電位の 定義。 弱いE V - -- 各位置 x で E が定義できるように拡張。 3 電位の物理的意味 q dV より dx dV F = q ⋅ E = −q dx − F ⋅ dx = −q ⋅ E ⋅ dx = q ⋅ dV E=− dx移動 E q U = q・V の仕事 電界と反対方向に電荷を動かすと 位置エネルギーがqVだけ増える 両辺を積分すると 位置エネルギーU = − ∫ F ⋅ dx = − q ∫ Edx = q ∫ dV = q ⋅ V 電荷qを移動させたとき、V = 位置エネルギー/q 4 ガウスの法則 電界は単位面積の電気力線本数 表面積S + Q 電気力線 2+ 2Q 一定の球(一定の体積)の 中にある電荷と電気力線 の本数は比例する 電気力線の本数 N = E ⋅ S = 1 ε0 Q 比例係数(真空の誘電率 [F/m]の逆数) 5 ガウスの法則の微分形 dE ρ = dx ε 0 y dx dz E dy z E+ ∇•E = dE dx dx x 1Dガウスの法則 ρ ε0 (ベクトル解析の3D記法) 内部に電荷Q = ρ・dxdydz が存在するとき (ρは単位体積の電荷 [Coul/m3]) 箱の面を通過する電気力線の本数N N = (E + dE dE 1 1 dx) ⋅ dydz − E ⋅ dydz = dxdydz = Q = ρ ⋅ dxdydz dx dx ε0 ε0 6 物質中の電界 物質外部から加えた電界E0 物質が分極して発生した電界EP 物質中の電界はEPに よって弱められる。 EP = χ ⋅ E (Ep とEが比例する場合) E = E0 − E P = E0 − χ ⋅ E ∴ E0 = (1 + χ ) E ≡ ε r E dD D = ε r ε 0 E を定義すると = ρ dx (物質に依存しないガウスの法則) +Q + + + - - E0 + EP + V - -- -Q dE0 ρ = dx ε 0 ガウスの法則 dE0 dE ρ = εr = dx dx ε 0 dE ρ ∴ = dx ε r ε 0 7 ポアソンの方程式(Poisson’s Equation) 電位の定義 E=− dV = −∇V(ベクトル解析の 3D記法) dx ρ dE ρ = = ∇ • E = (ベクトル解析の 3D記法) ガウスの法則 dx ε ε0 0 ポアソンの方程式 ρ d 2V − 2 = ε rε 0 dx ρ ∂2 ∂2 ∂2 − ∇ • ∇V = −ΔV = −( 2 + 2 + 2 )V = (ベクトル解析の3D記法) ε rε 0 ∂x ∂y ∂z ポアソンの方程式により、電荷の分布 ρ(x) から電位分布V(x)を計算できる 8 移動度μと電子濃度nと電流Ιの関係 v = −μn E -q E: 電界(V/m) μn:電子の移動度(m2/Vs) -q: 電子の電荷(クーロン) 速度v 電子 速度v 面積S 電子密度 n (単位体積の電子数) (速度と電界が比例すると仮定) 単位時間に面積Sを通過する電子数N N = n⋅v⋅S 電流: I = −q ⋅ N = −q ⋅ n ⋅ v ⋅ S = −q ⋅ n ⋅ μ n ⋅ E ⋅ S I 電流密度: J = = −q ⋅ n ⋅ μ n ⋅ E S 9
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