world news 微小光学系製造 3D マイクロフルイディクスマスク法によるマイクロレンズの高速製造マイクロレンズとマイクロレンズアまたはマイクロレンズアレイのパラメップ上とボトム上の酸化インジウムスレイは、紫外線（ UV ）モールディング、ータを動的に変えることもできる。ズ（ ITO ）ガラスに通電し、エラストマホットエンボス、フォトレジストと電子ビームリソグラフィ、マイクロジェット構造を垂直方向に変形するための静電ワンステップ工程気力を発生させる。最終的に、EFM- 加工など、さまざまな方法を使って製この連続／高スループットの工程は、 3D グレーマスク上に配置されたシャド造することができる。あいにく、これ大きく分けて二つの要素で構成される。ウマスクがマイクロレンズまたはマイらの微小光学系の製造方法のいくつか一つ目は静電気力変調（ EFM ）-3D グクロレンズアレイの寸法を定義する。は複雑なモールドを必要とし、いずれレーマスクであり、二つ目は全ポリジメ微小光学構造を作製するには、感光もマイクロレンズパラメータの動的調チルシロキサン（ PDMS ）製のマイクロ性開始剤を含む HDDA アクリレートを整が不可能である。しかし、台湾の国チャネルである（図 1）。EFM-3Dグレマイクロチャネル構造内で励起する。立台湾海洋大学と明志科技大学の研究ーマスクは、入力照明に対して必要な望ましい半球面または非球面の形がチームが開発した新しい 3 次元（ 3D ）減衰因子を提供する UV 光吸収色素を EFM-3Dグレーマスクに近づくまで、電マイクロフルイディクス法はこれらの含む屈折率整合油で充たされたフレキ圧をITO 層に印加する。次に、照明を障害を回避している。この方法を使シブルで透明なエラストマ構造から成使って、HDDAアクリレートに必要な屈うと、モールドや複雑な照明光学系なる。矩形の PDMS マイクロチャネルは折率傾斜分布プロファイルを転写する。しで高速／低コスト製造が可能であ薄い PDMS 膜を被覆したスライドガラすなわち、1 秒以内にそれを重合して、り、連続製造工程中にマイクロレンズス上に接着されている。この構造のト設計目標ごとに一つのマイクロレンズ（1） UV光（a） EFM-3Dグレーマスク全PDMS マイクロチャネル UV光（b）（c） V z h 1mm x x=0 x=L PDMS ITO シャドウマスクマイクロレンズアレイヘキサデカン＋オイルレッドO HDDA + D1173 DS-527 ガラス図 1　図式は EFM-3D グレーマスクに電圧を印加する前（ a ）と後（ b ）のマイクロチャネル中のマイクロレンズとマイクロレンズアレイの連続／高スループット製造工程を説明している。マイクロレンズとマイクロレンズアレイは製造工程（ c ）の間に動的に調整される。（資料提供：国立台湾海洋大学） 20 2011.4 Laser Focus World Japan