原料コスト 原料コスト低減 コスト低減を 低減を目指した 目指した封着加工用 した封着加工用ガラス 封着加工用ガラスの ガラスの開発 研究テーマ (1) V2O5-H2WO4-KPO3-Sb2O3系封着加工ガラスの開発 (2) V2O5-MnO2-KPO3-CuO系封着加工ガラスの開発 ●既往の 既往の研究開発で 研究開発で実用化された 実用化されたV されたV2O5-ZnOZnO-BaOBaO-TeO2系ガラス GALAXY S SC-02B 2010.10.28 released 既往の研究より開発された、低融性、高耐水性を有した鉛フリーガラスは実用化されているが高価な金属酸化物で あるTeO2を含んでいるため原料コストが高くなってしまう 原料コストの安い金属酸化物を用いることで高いコストパフォーマンスを実現!!! 本研究の 本研究のアプローチ 低融性を示したバナジウムリン系ガラス(1)および(2)それぞれに、Sb2O3とCuOを添加し高耐水性を付与させた。さら なる熱膨張係数低下を目指して低熱膨張セラミックフィラーの一つであるリン酸タングステン酸ジルコニウム((ZrO) 2 (HPO4) 2 , ZWP)を添加し高い封止性能を持つ封着加工ガラスの開発を行う。 被封着材であるソーダライム板ガラスの熱膨張係数域 5 重量減少率 重量減少率[%] 重量減少率 重量減少率[%] 60 50 40 30 20 60 50 40 30 20 10 10 0 0 0 2 4 Sb2O 3添加率[mol%] 添加率 6 封着強度 [kgf/cm2] 70 70 熱膨張係数α 4 耐水性能評価 5 10 15 20 CuO添加率 添加率[mol%] 添加率 Sb2O3およびCuOの添加量増加により重量減少率 が低下(耐水性向上)し高い耐水性能を有することを 確認できた 25 12 10 3 8 2 6 4 1 2 0 0 (2) 14 封着強度 0 0 10 20 ZWP添加率 [wt%] 5 14 封着強度 熱膨張係数α 4 12 10 3 8 2 6 4 1 2 0 30 封止性能評価 封止性能評価 0 0 10 20 熱膨張係数α [×10-6/℃] (1) 80 封着強度 [kgf/cm2] (2) 80 熱膨張係数α [×10-6/℃] (1) 30 ZWP添加率 [wt%] (1)と(2)どちらもZWP添加量増加により被封着材と 同等の熱膨張係数を示す時、最大の封着強度を有し、 高い封止性能を確認できた
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