原料コスト低減を目指した封着加工ガラスの開発

原料コスト
原料コスト低減
コスト低減を
低減を目指した
目指した封着加工用
した封着加工用ガラス
封着加工用ガラスの
ガラスの開発
研究テーマ
(1) V2O5-H2WO4-KPO3-Sb2O3系封着加工ガラスの開発
(2) V2O5-MnO2-KPO3-CuO系封着加工ガラスの開発
●既往の
既往の研究開発で
研究開発で実用化された
実用化されたV
されたV2O5-ZnOZnO-BaOBaO-TeO2系ガラス
GALAXY S SC-02B 2010.10.28 released
既往の研究より開発された、低融性、高耐水性を有した鉛フリーガラスは実用化されているが高価な金属酸化物で
あるTeO2を含んでいるため原料コストが高くなってしまう
原料コストの安い金属酸化物を用いることで高いコストパフォーマンスを実現!!!
本研究の
本研究のアプローチ
低融性を示したバナジウムリン系ガラス(1)および(2)それぞれに、Sb2O3とCuOを添加し高耐水性を付与させた。さら
なる熱膨張係数低下を目指して低熱膨張セラミックフィラーの一つであるリン酸タングステン酸ジルコニウム((ZrO) 2
(HPO4) 2 , ZWP)を添加し高い封止性能を持つ封着加工ガラスの開発を行う。
被封着材であるソーダライム板ガラスの熱膨張係数域
5
重量減少率
重量減少率[%]
重量減少率
重量減少率[%]
60
50
40
30
20
60
50
40
30
20
10
10
0
0
0
2
4
Sb2O 3添加率[mol%]
添加率
6
封着強度 [kgf/cm2]
70
70
熱膨張係数α
4
耐水性能評価
5
10
15
20
CuO添加率
添加率[mol%]
添加率
Sb2O3およびCuOの添加量増加により重量減少率
が低下(耐水性向上)し高い耐水性能を有することを
確認できた
25
12
10
3
8
2
6
4
1
2
0
0
(2)
14
封着強度
0
0
10
20
ZWP添加率 [wt%]
5
14
封着強度
熱膨張係数α
4
12
10
3
8
2
6
4
1
2
0
30
封止性能評価
封止性能評価
0
0
10
20
熱膨張係数α [×10-6/℃]
(1)
80
封着強度 [kgf/cm2]
(2)
80
熱膨張係数α [×10-6/℃]
(1)
30
ZWP添加率 [wt%]
(1)と(2)どちらもZWP添加量増加により被封着材と
同等の熱膨張係数を示す時、最大の封着強度を有し、
高い封止性能を確認できた