株式会社日立ハイテクノロジーズ那珂地区・笠戸地区電子顕微鏡（SEM）の開発に取り組んできました。 SU9000は、匠の技術を結集し、次世代の先端分野に新たな世界を切り拓く解析装置。最高峰のSEMと呼ぶにふさわしいスペックを備えています。光学式ウェーハ検査装置（LS9200） 1970年代後半に開発に着手したウェーハ表面検査装置。その後、更なる高感度への取り組みを続け、ロングセラー装置となりました。2005年からは、32nm世代以降に向けた新型ウェーハ表面検査装置「LS9000」シリーズの開発を開始。 LS9200は、従来の装置よりもより高感度の検査を実現し、技術革新賞も受賞するなど、各方面から高い評価を受けています。プラズマエッチング装置（M-8000）プラズマ中のイオンと反応ガスを利用し、半導体デバイスの微細加工を行うドライエッチング装置です。32nmノード以降の最先端LSI のゲート、配線、層間絶縁膜の加工に使われます。高信頼性、高精度加工に定評があります。事業概要・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・組織 ●那珂地区那珂地区では、さまざまな技術が集積し、日々生み出される新しい製品を作り出しています。中でも、電子線と光学は、那珂地区を代表するコアとなる技術です。半導体デバイスから医療、バイオテクノロジーにいたるまで、多彩なフィールドに広がる最先端の製品が那珂地区から世界に発信されていきます。 ●笠戸地区プラズマ応用技術やマイクロ波技術、超精密加工技術をベースに、半導体製造用ならびに磁気ヘッド製造用プラズマエッチング装置の事業を推進しています。 ●研究開発本部事業領域・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・電子デバイスシステム事業（那珂地区・笠戸地区）当社は更なる高集積化が進む半導体製造プロセスにおいて、電子線・イオンビームの応用技術や光学技術などに基づく各種半導体製造・検査装置をラインアップし、お客さまにトータルソリューションを提供しています。科学・医用システム事業（那珂地区）当社のSEMやTEMなど電子顕微鏡は、新素材・材料の開発や、バイオテクノロジー研究など最先端科学技術の発展に貢献しています。また臨床検査業務をトータルにサポートする当社の血液自動分析システムは、今や世界中で人々の健康管理やさまざまな疾患の早期発見に不可欠となっています。DNAシーケンサは、近年のバイオテクノロジーの飛躍的な発展に貢献している他、テイラーメイド医療・創薬といった新しい世界を切り拓いていきます。那珂地区のものづくり～世界一の製品は、世界一の工場から生まれる～那珂地区のものづくりの大きな特徴は、設計者と一緒になって技能者たちがアイデアをカタチにしていくことにあります。設計者のアイディアを具現化し、製造につなげて製品の性能と品質を確保しつつ、低コストで、つくり易いモノづくりを実現させること。また、既存製品の生産ラインを今以上に合理化するための施策を検討・開発する仕事もものづくりの拠点ならでは仕事です。優れた設計と現場のつながりこそが安定した企業の基盤です。設計から取り組む、品質への責任品質保証部ではお客様の信頼に応えるというミッションを達成するために活動しています。それは文化や考え方が異なる世界各国においても共通したスタンスです。当社には、設計、製造、品質保証における三権分立という考え方があります。品質保証はお客様にお届けする製品やサービスに責任があります。その責任を全うするため、設計段階から品質のチェックを実施しています。製品・技術紹介・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・高分解能測長SEM （CG5000）日立の測長SEM史上、最高の分解能、測長精度、再現性を達成したCG5000。基本性能の向上はもちろん、生産性向上のため、高精度プロセスモニターとオフラインレシピ対応を実現しました。お客さまの信頼に応え、日立ハイテクが自信を持ってお届けする測長SEM。世界トップシェアは、常に次世代を見つめ、新たな技術に取り組んでいる証しです。超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡（SU9000）ナノ粒子を用いた先端材料の開発には、ナノレベルでの形態観察が不可欠です。日立ハイテクではサブナノメートルの分解能を保証する走査透過型電子顕微鏡（HT7700）バイオメディカルから、ナノテクノロジー、ソフトマテリアルまで、幅広い分野で使用できる透過型電子顕微鏡。ルーペの代わりにリアルタイムスクリーンカメラを使用し、顕微鏡像と操作を PC画面に統合。明るい部屋での観察を可能としました。性能とともに、常に快適な操作環境を追求する日立ハイテク。その大きな成果の一つです。臨床検査用血液自動分析装置（LST008） 1970年の発売以来、日立ハイテクは臨床化学自動分析装置の技術開発に取り組んできました。検査データの質向上というニーズに応えることで、診療科のサポート、更に患者さまへのサービス向上を実現したいと考えてきました。 LABOSPECT008は、高速処理システムによる迅速な結果報告を可能とした自動分析装置。技術を結集した進化のカタチです。 DNAシーケンサ（5500シリーズ）ライフテクノロジーズ社との共同開発によって誕生した5500 SOLiDTM（＊）。高い処理解析能力を生かすために、処理の分割や複数種類の同時解析などの柔軟性を備え、高精度を保証する反応系と信頼性の高い計測システムが3Gbのヒトゲノムを読み解きます。（＊） SOLiDTM はライフテクノロジーズ社の登録商標です。免疫モジュール（e602）ヘルスケアにおける世界的なブランド、ロシュ。ロシュの免疫モジュールであるcobas8000 〈e602〉にも日立ハイテクの技術は活かされています。免疫モジュールe602は、同時分析項目数最大25項目の電気化学発光免疫測定法を用いた測定モジュールです。最大テスト170／時間の処理能力を誇り、最大4台までの組み合わせが可能で、迅速な検査体制を実現します。