(3) 水素親和性ナノ粒子とアモルファスシリカの複合化 新規な高温水

B. 酸 化 物 多 元 素 系 材 料
(3) 水 素 親 和 性 ナノ粒 子 とアモルファスシリカの複 合 化
新 規 な高 温 水 素 親 和 性 ナノ粒 子 分 散 コンポジット膜 の合 成 開 発 には、シングルナノメ
ートルオーダーで精 密 に制 御 された基 材 を用 いることで、従 来 の分 子 ふるい機 能 に高 温
水 素 親 和 性 を付 与 した新 たな分 離 活 性 層 の開 発 を実 施 した。このような観 点 から本 合 成
開 発 研 究 用 に作 製 した陽 極 酸 化 アルミナ基 材 の外 観 写 真 (a)と模 式 図 (b)、および表 面 近
傍 の断 面 TEM 観 察 像 (c)を図 Ⅲ-1.1.2.2-11 に示 す。チャンネル細 孔 構 造 は電 解 電 圧 を
25 V から 1 V まで段 階 的 に小 さくすることによって、外 表 面 側 ほど小 さな細 孔 径 となってい
る。そして最 終 的 に 100 Hz のパルス状 で 1 V の電 解 電 圧 を印 可 して合 成 した最 外 表 面
層 は、細 孔 径 3~4 nm のチャンネル細 孔 で構 成 されていることが、細 孔 分 布 評 価 と TEM
観 察 により確 認 された
15-17)
。また、このように精 密 に多 孔 質 構 造 を制 御 した基 材 は電 流 電
圧 精 密 制 御 装 置 及 びメソ細 孔 精 密 制 御 装 置 を用 いることで、再 現 性 よく作 製 することが
可 能 であることを確 認 した。
図 Ⅲ -1.1.2.2-11 陽 極 酸 化 ア ル ミ ナ キ ャ ピ ラ リ ー 基 材 の
(a)外 観 ,(b)構 造 模 式 図 ,および(c)表 面 近 傍 の断 面 TEM
観察像.
このようにして合 成 した陽 極 酸 化 アルミナキャピラリーの高 温 ガス透 過 特 性 の評 価 結 果
を図 Ⅲ-1.1.2.2-12 に示 す。水 素 、ヘリウムおよび窒 素 の各 透 過 率 と透 過 試 験 温 度 (T)の
-1/2 乗 には、直 線 関 係 が得 られている(図 Ⅲ-1.1.2.2-12(a))。また、500 ºC における種 々
のガス透 過 率 とガス分 子 量 (M)の-1/2 乗 においても、良 い直 線 関 係 にあることが分 かる
(図 Ⅲ-1.1.2.2-12 (b))。一 般 に、サブナノメートルサイズのガス分 子 の数 ナノメートルの細
孔 の透 過 は Knudsen 拡 散 に基 づくことが知 られており、その透 過 率 (P)の理 論 式 は次 式
で与 えられる
18, 19)
。
3-50
P = [2εμ k r / (3RTL)] x [8RT/(πM)] 0 . 5
(1)
ここで、εは膜 の気 孔 率 、μ k は細 孔 の形 状 係 数 、r は細 孔 半 径 、R はガス定 数 、T は透 過
温 度 、L は膜 の有 効 厚 み、M はガスの分 子 量 をそれぞれ示 す。図 Ⅲ-1.1.2.2-12 (a)、(b)
に示 したように、陽 極 酸 化 アルミナキャピラリーのガス透 過 特 性 は Knudsen 拡 散 に基 づい
ている。また、図 Ⅲ-1.1.2.2-12 (b)中 に示 した α(H 2 /He) および α(H 2 /N 2 ) の実 験 値 は、
(1)式 で求 められる理 論 値 と良 く一 致 している。これらの解 析 結 果 より、試 作 した陽 極 酸 化
アルミナキャピラリーの高 温 におけるガスの透 過 は、マクロ孔 欠 陥 や亀 裂 ではなく、最 小 細
孔 径 がシングルナノメートルサイズに制 御 されたチャンネル細 孔 が主 な透 過 経 路 となって
いることが確 認 された
15)
。また、陽 極 酸 化 アルミナキャピラリーの耐 熱 性 を別 途 評 価 した結
果 、ドライ条 件 下 では 800 ºC の高 温 まで、そして膜 反 応 器 によるメタンの水 蒸 気 改 質 反 応
を模 擬 した 500 ºC、Steam/N 2 =3 の高 温 水 蒸 気 存 在 下 では、20 時 間 暴 露 した場 合 でもア
モルファス構 造 を保 持 可 能 であり、高 温 ガス分 離 膜 の開 発 用 支 持 基 材 としての応 用 に十
分 な耐 熱 ・耐 水 蒸 気 性 を有 することを確 認 できた
16)
。そこで、陽 極 酸 化 アルミナキャピラリ
ーを多 孔 質 基 材 として利 用 した新 たな分 離 活 性 層 の合 成 研 究 を開 始 した。
図Ⅲ-1.1.2.2-12 陽極酸化アルミナキャピラリー基材のガス透過特性.(a)温度依存性,
(b)500 ºCにおけるガス透過率と1/√Mの関係(M:ガス分子量). 図中のα(H2/He)および
α(H2/N2)の( )*内の数値はKnudsen拡散に基づく理論値を示す.
高 温 で水 素 親 和 性 を有 する材 料 として、まず初 めにニッケル(Ni)を選 択 した。化 学 溶
液 法 に よ っ て 、 均 一 な シ リ カ - ニ ッ ケ ル ( Si-Ni-O ) 系 前 駆 体 溶 液 を 調 製 し 、 こ れ を 図 Ⅲ
-1.1.2.2-11 に示 したキャピラリー状 の陽 極 酸 化 アルミナにディップコーティングした。得 ら
れた Si-Ni-O 系 プレカーサー薄 膜 は、600 ºC で大 気 焼 成 してアモルファス Si-Ni-O 系 薄
膜 に変 換 した後 、さらに 500 ºC で水 素 還 元 した。これにより、直 径 が数 ~十 数 nm のニッ
ケル粒 子 を分 離 活 性 層 内 にその場 析 出 させたナノコンポジット膜 の合 成 に成 功 した
20, 21)
このようナノコンポジット膜 の微 構 造 組 織 評 価 の代 表 例 として、Ni/(Si+Ni)=0.3 の化 学 組
3-51
。
成 の前 駆 体 溶 液 を用 いて合 成 した分 離 膜 の断 面 TEM 像 を図 Ⅲ-1.1.2.2-13 に示 す。
図 Ⅲ-1.1.2.2-14 には、500 ºC における Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカ膜 のガス透
過 特 性 を示 す。いずれの Ni 添 加 量 の場 合 も、ヘリウム(He)そして水 素 の透 過 率 は、CO 2
等 の大 きな分 子 サイズの透 過 率 と比 較 して明 らかに高 いことから、一 般 的 なアモルファス
シリカ系 分 離 膜 と同 様 に、分 子 ふるい機 能 を有 していることがわかる。しかし、これらのナノ
コ ン ポ ジ ッ ト 膜 で は 、 Ni 添 加 量 が 増 加 す る に 従 っ て 水 素 透 過 率 が 選 択 的 に 高 く な り 、
Ni/(Si+Ni)=0.3 では、従 来 の分 子 ふるい機 能 のみでは実 現 が不 可 能 な、水 素 分 子 よりも
小 さい He の透 過 率 に対 して、水 素 の透 過 率 が約 5 倍 高 くなることが見 出 された。
(a)
(b)
図 Ⅲ -1.1.2.2-13 陽 極 酸 化 ア ル
ミナ基 材 に製 膜 した分 離 膜 最 表
面 近 傍 の 断 面 TEM 観 察 像 . (a)
600 ºC で 大 気 中 熱 処 理 後 , (b)
500 ºCで水 素 還 元 後 (膜 の組 成 :
Ni(Si+Ni)=0.3).
図 Ⅲ-1.1.2.2-14 Ni ナノ 粒 子 分 散 アモルフ
ァスシリカ膜 の500 ºC、ドライ雰 囲 気 でのガス
透過特性.
3-52
このような高 温 水 素 透 過 率 の選 択 的 な向 上 メカニズムを調 べるために、分 離 膜 の合 成
と同 じ Si-Ni-O 系 前 駆 体 溶 液 より Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカ粉 末 を別 途 合 成 し
て、高 温 での水 素 親 和 性 の評 価 を進 めた。ナノコンポジット膜 の製 膜 条 件 と同 様 の大 気
加 熱 処 理 により得 られた NiO-アモルファスシリカ複 合 粉 末 は、高 温 での水 素 還 元 処 理 に
より、目 的 とする Ni-アモルファスシリカ複 合 粉 末 へ容 易 に変 換 できた。なお、粉 末 試 料 合
成 時 の Ni 添 加 量 は、Ni/(Si+Ni)元 素 比 =0.1~0.5 の範 囲 とし、水 素 還 元 後 に得 られた試
料 の化 学 分 析 により、目 的 とした化 学 組 成 に制 御 されていることを確 認 した。図 Ⅲ
-1.1.2.2-15 には、粉 末 試 料 の TEM 観 察 結 果 示 す。Ni(Si+Ni)元 素 比 が 0.1 から 0.3 では、
約 2~10 nm の微 細 な Ni 粒 子 がアモルファスシリカマトリックス中 に均 一 に分 散 していた。
一 方 、Ni/(Si+Ni)元 素 比 が 0.5 まで増 加 すると、約 300 nm まで粗 大 粒 化 した Ni が観 察 さ
れ、組 織 も不 均 一 となった。
図 Ⅲ-1.1.2.2-15 Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカ粉 末 の TEM 観 察 ・
解 析 結 果 .明 視 野 像 :(a),(b),(c)および暗 視 野 像 (d),(e),(f).試 料 の
Ni/(Si+Ni)比 :[(a), (d)]=0.1, [(b), (e)]=0.3, [(c), (f)]=0.5.
3-53
次 に、Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカ粉 末 試 料 の 500 ºC の高 温 水 素 親 和 性 を詳
しく調 べた。ここでは、Ni 粉 末 と Ni フリーのアモルファスシリカ粉 末 を比 較 対 象 に用 いた。
なお、これらの粉 末 試 料 は、Si-Ni-O 系 前 駆 体 溶 液 の調 製 に用 いた Ni およびシリカ前 駆
体 より、それぞれ合 成 した。まず始 めに、500ºC における水 素 の吸 着 特 性 を調 べた。その
結 果 、Ni 粉 末 の水 素 吸 着 量 が最 も多 く、Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカの水 素 吸 着
量 は、Ni 添 加 量 に依 存 して種 々異 なった。また、Ni フリーのアモルファスシリカ粉 末 は、全
く水 素 親 和 性 を有 さないことを確 認 した。次 に、500 ºC で水 素 を吸 着 させた後 に減 圧 下
で強 制 脱 気 後 、改 めて水 素 の吸 着 挙 動 を調 べると、Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカ
のみ、水 素 の吸 着 が可 能 であり、その吸 着 量 は水 素 圧 力 に依 存 することが分 かった(図
Ⅲ-1.1.2.2-16)。そして、この水 素 圧 力 に依 存 した吸 着 水 素 量 (図 Ⅲ-1.1.2.2-16 中 の
Vr)は、Ni(Si+Ni)が 0.2~0.3 で最 も高 くなった(図 Ⅲ-1.1.2.2-17)。このように、Ni 単 体 は
高 い水 素 親 和 性 を有 するが、その高 温 水 素 吸 着 特 性 は非 可 逆 的 であるのに対 し、Ni ナ
ノ粒 子 分 散 アモルファスシリカは、水 素 の可 逆 的 な吸 脱 着 特 性 を有 することが見 出 され
た。
図 Ⅲ-1.1.2.2-17 500 ºC における粉
末 試 料 の可 逆 的 に吸 脱 着 可 能 な水
素 量 と Ni/( Si+Ni)元 素 比 の関 係 .
図 Ⅲ-1.1.2.2-16 500 ºC における
粉 末 試 料 の可 逆 的 に吸 脱 着 可 能
な水 素 の吸 着 等 温 線 .
3-54
このように、Ni 単 体 は高 い水 素 親 和 性 を有 するが、その高 温 水 素 吸 着 特 性 は非 可 逆
的 であるのに対 し、Ni ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカは、水 素 の可 逆 的 な吸 脱 着 特 性 を
有 することが見 出 された。このユニークな高 温 における水 素 の吸 脱 着 特 性 が、Ni ナノ粒 子
分 散 アモルファスシリカ膜 の高 温 水 素 透 過 率 の選 択 的 な向 上 に寄 与 しているものと考 え
ている。
また、図 Ⅲ-1.1.2.2-15 に示 した微 構 造 解 析 結 果 より、500 ºC の高 温 可 逆 吸 着 水 素 量
は、Ni 添 加 量 に単 純 に依 存 せず、Ni ナノ粒 子 の分 散 状 態 に強 く依 存 することから、Ni ナ
ノ粒 子 とアモルファスシリカマトリックスの界 面 が、高 温 における水 素 の可 逆 吸 着 機 能 発 現
に重 要 な役 割 を果 たしているものと推 察 される
20,21)
。
次 に コ バ ル ト ( Co ) を 添 加 し た ア モ ル フ ァ ス シ リ カ ( Si-Co-O ) 膜 で の 検 討 を 行 っ た 。
Si-Ni-O 膜 の場 合 と同 様 に、化 学 溶 液 法 により調 整 した前 駆 体 溶 液 を陽 極 酸 化 アルミナ
基 材 へディップコーティングし、600℃で大 気 焼 成 することで Si-Co-O 膜 を合 成 した。図 Ⅲ
-1.1.2.2-18 に Si-Co-O 膜 及 び Co フリーシリカ(Si-O)膜 の 500℃、ドライ条 件 での水 素
以 外 のガス透 過 特 性 を示 す。 Si-O 膜 では、分 子 径 の小 さいヘリウムの透 過 率 は分 子 径
の大 きい窒 素 などの透 過 率 と比 較 して 2 桁 以 上 大 きく、典 型 的 な分 子 ふるい機 能 的 ガス
透 過 特 性 を示 した。一 方 、 Si-Co-O 膜 では Si-O 膜 と比 較 して全 体 的 に透 過 率 が小 さく、
特 に 分 子 径 の 小 さい ヘ リウ ムの 透 過 率
He
は Si-O 膜 より2桁 程 度 小 さかった。すな
CO2
Ar N2
10-6
わち、Si-Co-O 膜 は Si-O と比 較 して、
に より ガス 透 過 率 が 減 少 する 傾 向 は 添
加 量 が 少 な い Co/(Si+Co)=0.06 の
Si-Co-O 膜 の 方 が 、 添 加 量 が 多 い
Co/(Si+Co)=0.2 の Si-Co-O 膜 より顕 著
であった。
次 にこれらの分 離 膜 を 500℃で1h水
素 処 理 した後 、水 素 透 過 率 及 び水 素
透 過 率 と ヘ リ ウ ム 透 過 率 の 比
Permeance [mol m-2 s-1 Pa-1]
緻 密 であると考 えられる。また、Co 添 加
10-7
10-8
10-9
Co/(Si+Co)=0.2
10-10
Co/(Si+Co)=0.06
(α (H 2 /He))を評 価 した。Si-O 膜 では
水 素 透 過 率 は 4.8×10 - 7 mol m - 2 s - 1
-1
Pa 、 α (H 2 /He) は 0.77 で あ っ た 。
Co/(Si+Co)=0.06 の Si-Co-O 膜 では水
素 透 過 率 が 3×10 - 9 mol m - 2 s - 1 Pa - 1 、
: Si-O
10-11
0.25
0.30
0.35
Kinetic diameter [nm]
0.40
図 Ⅲ-1.1.2.2-18 Si-Co-O 膜 の 500℃、ドライ
雰 囲 気 でのガス透 過 特 性 .
α (H 2 /He) は 1.5 で あ っ た の に 対 し 、
Co/(Si+Co)=0.2 の Si-Co-O 膜 では 8.7×10 - 7 mol m - 2 s - 1 Pa - 1 、 α (H 2 /He)は 320 であ
った。 Si-Co-O 膜 では分 子 径 の小 さなヘリウムの透 過 率 より、分 子 径 の大 きな水 素 透 過
率 が大 きいことが特 徴 的 であり、この現 象 は Si-Ni-O 系 でも確 認 されたが Si-Ni-O では水
素 透 過 率 はヘリウム透 過 率 の 5 倍 程 度 であったのに対 し、Si-Co-O では 300 倍 以 上 の値
3-55
を示 した。
そこで、このような水 素 選 択 透 過 性 の詳 細 を調 べるために、Si-Co-O 前 駆 体 溶 液 から
Si-Co-O 粉 末 を合 成 し、様 々なキャラクタリゼーションを行 った。図 Ⅲ-1.1.2.2-19 に X 線
回 折 法 (XRD)、図 Ⅲ-1.1.2-20 に X 線 光 電 子 分 光 法 (XPS)、図 Ⅲ-1.1.2.2-21 及 び 22
に微 細 構 造 観 察 により評 価 した結 果 を示 す。
図 Ⅲ-1.1.2.2-19 に示 すように Co/(Si+Co)=0.06 は水 素 処 理 前 後 とも、Si-O と同 様 に
アモルファスであった。XPS での評 価 では Co 2 SiO 4 に形 状 が非 常 に近 いことから、アモルフ
ァス シリ カ マ トリ ッ クス 中 にコ バ ル トイオ ン が 分 散 し た ア モ ル フ ァス シ リ カ ー コ バ ル ト 複 合 体
(Si-O-Co)を形 成 していると考 えられる。しかしながら、図 Ⅲ-1.1.2.2-21 に示 すように還
元 後 の SEM 像 においても粒 子 は観 察 されなかった。一 方 、Co/(Si+Co)=0.2 では、XRD の
評 価 からアモルファスシリカに加 えて水 素 処 理 前 では Co 3 O 4 が、水 素 処 理 後 には CoO 及
び Co が検 出 された。図 Ⅲ-1.1.2.2-22 に水 素 処 理 後 の SEM 像 を示 すが、CoO/Co 粒 子
が凝 集 することなくクラスターを形 成 していることがわかる。このように Si-Ni-O 系 では 500℃
の水 素 処 理 により 高 分 散 のナノ粒 子 が金 属 Ni に還 元 されたのに対 し、Si-Co-O 系 では
CoO 及 び金 属 Co の混 在 状 態 であり、それらが凝 集 せずにクラスターを形 成 して存 在 する
ことから、アモルファスシリカと複 合 化 することでコバルト粒 子 は CoO 及 び金 属 Co の混 在
状 態 で準 安 定 的 に存 在 することが明 らかになった。このことからコバルトとアモルファスシリ
カとの間 に強 い相 互 作 用 が存 在 すると考 えられる。
S: satellite
: CoO
: Co
Co/(Si+Co)
=0.2
.
794.3
S
780.0
(c)
781.0
Co/(Si+Co)
=0.06
S
60
A. 合成後(還元前)
787.4
(b)
S
(a)
820 810
30 40 50
2 θ [deg.]
S
781.6
Si-O
20
(d)
795.2
S 796.9
10
2p 3/2
2p 1/2
779.3
Intensity [a. u.]
Intensity [a.u.]
:Co3O4
10
20
30 40 50
2 θ [deg.]
60
B. 500℃,1h,H2処理後
図 Ⅲ-1.1.2.2-19 Si-Co-O 及 び Si-O
の XRD パターン.
3-56
800 790 780 770 760
Binding energy [eV]
図Ⅲ-1.1.2.2-20 Si-Co-O 及び
Co 化合物の XPS スペクトル(a)
Si-Co-O (Co/(Si+Co)=0.06, (b)
Co2SiO4, (c) CoO (d) Co3O4.
1μm
1μm
図 Ⅲ-1.1.2.2-21 Si-Co-O(Co/(Si+Co)=0.06)
図 Ⅲ-1.1.2.2-22 Si-Co-O(Co/(Si+Co)=0.2)
の SEM 像 (500℃,H 2 処 理 後 ) .
の SEM 像 (500℃,H 2 処 理 後 ) .
Si-Co-O 粉 末 の水 素 吸 着 等 温 線 を示 す。
Si-Ni-O の場 合 と同 様 に、Si-Co-O にお
いても水 素 分 圧 が増 加 するにつれ、水 素
吸着量が増加する傾向が見 られた。
Co/(Si+Co)が 0.2 の水 素 圧 力 に依 存 した
水 素 吸 着 量 (Vr)は Co/(Si+Co)が 0.06 の
試 料 と比 較 して明 らかに大 きいことがわか
る。このことから、水 素 の可 逆 的 な吸 脱 着
特 性 はアモルファスシリカ-コバルト複 合 体
(Si-O-Co)ではなく、主 にコバルト及 び酸
Amount of adsorbed hydrogen [ml/g]
図 Ⅲ -1.1.2.2-23 に 500 ℃ に お け る
化 コバル ト 粒 子 に 起 因 すると 考 え ら れる 。
Si-Co-O の 水 素 圧 力 に 依 存 した 水 素 吸
着 量 は Co/(Si+Co)が 0.2 の試 料 において
も、 Si-Ni-O の 1/5 程 度 であった。
1.0
0.8
(b)
0.6
Vr
0.4
0.2
(a)
0
0
20 40 60 80 100 120
Hydrogen pressure [kPa]
図Ⅲ-1.1.2.2-23 500℃における Si-Co-O 粉
末水素吸着等温線; (a) Co/(Si+Co)=0.06,(b)
Co/(Si+Co)=0.2.
このように Si-Co-O 系 は粉 末 試 料 での
吸 着 水 素 量 は Si-Ni-O 系 と 比 較 し て 小 さ い の に 対 し 、 膜 試 料 で の 水 素 透 過 率 及 び
α (H 2 /He)は Si-Ni-O 系 と比 較 して大 きいことが明 らかになった。このことは Si-Co-O 膜 に
おける水 素 透 過 の促 進 効 果 は水 素 の可 逆 的 吸 脱 着 だけでなく、Co 添 加 に起 因 した他 の
要 素 が存 在 することを示 唆 しているが、詳 細 はさらに検 討 する必 要 がある。
3-57
図 Ⅲ-1.1.2.2-24 多 孔 質 セラミック膜 の従 来 技 術 レベルとプロジェクトの最 終 目 標 レベル,
およびプロジェクトによる開 発 膜 の高 温 水 素 選 択 透 過 特 性 の比 較 .
以 上 の研 究 成 果 を基 に、Ni、および Co を含 めた水 素 親 和 性 を有 する元 素 の種 類 と添
加 量 の検 討 、そしてナノ粒 子 分 散 コンポジット構 造 の最 適 化 を目 指 した研 究 開 発 を進 め
た結 果 、500 ºC の高 温 における水 素 選 択 透 過 性 能 は、図 Ⅲ-1.1.2.2-24 中 の D に示 すよ
うに、高 いものでは水 素 の透 過 率 が 8 ×10 - 7 mol·m - 2 ·s - 1 ·Pa - 1 で、α(H 2 /N 2 )が 4500 を達
成 している。本 プロジェクトにおいて、小 規 模 モジュール実 証 試 験 用 の開 発 候 補 材 として
選 定 し た 、 東 京 大 学 ・ 中 尾 プ ロ ジ ェクト リー ダ ーの 研 究 室 で 開 発 を 進 めてい る 対 向 拡 散
CVD 法 によるアモルファスシリカ膜 (図 Ⅲ-1.1.2.2-24 中 の A )と比 較 すると、選 択 性 は劣 る
が、高 温 水 素 透 過 率 の向 上 という観 点 からは有 効 と考 えられる。本 研 究 による分 離 膜 の
ナノ構 造 制 御 は、新 たな高 温 水 素 分 離 用 セラミック膜 の創 出 への有 用 な開 発 指 針 の一 つ
となることが期 待 される。
3-58
(4) 耐 熱 及 び耐 水 蒸 気 性 向 上 に寄 与 する金 属 酸 化 物 等 との複 合 化
a)メソポーラスγ-Al 2 O 3 系 中 間 層 膜 の合 成 と耐 熱 ・耐 水 蒸 気 性 評 価
γ-Al 2 O 3 複 合 酸 化 物 系 膜 の 断 面 構 造 を
SEM で観 察 した結 果 、いずれの材 料 系 の場
合 も、膜 厚 約 2 μm の均 一 な薄 膜 が形 成 され
ていることが確 認 できた。また、ゾルゲル法 に
よるγ-Al 2 O 3 複 合 酸 化 物 系 膜 原 料 を 、大 気
中 で加 熱 処 理 して得 られた粉 末 試 料 を対 象
に XRD 解 析 を行 った結 果 、Ga はγ-Al 2 O 3 に
固 溶 し て い るこ とが 分 か った。 一 方 La は 、
γ-Al 2 O 3 結 晶 粒 子 表 面 に 微 細 粒 子 で 析 出
する、あるいはアモルファス薄 膜 を形 成 して、
γ-Al 2 O 3 の粒 成 長 を抑 制 していることが示 唆
された
22, 23)
。これらの相 反 応 挙 動 は既 報 の
Ga (Ga 2 O 3 ) と Al 2 O 3 、あるいは La(La 2 O 3 )と
Al 2 O 3 の結 果 と良 く一 致 しており、目 的 とする
γ-Al 2 O 3 複 合 酸 化 物 系 膜 が合 成 できたと考
えられた。そこで、これらの膜 試 料 について、
500 ºC の高 温 水 蒸 気 暴 露 時 間 と水 素 ガス
透 過 率 の関 係 を調 べた。その結 果 を図 Ⅲ
-1.1.2.2-25 に まとめ て 示 す 。こ れま で 中 間
層 として汎 用 されているγ-Al 2 O 3 は、水 蒸 気
暴 露 後 2~4 時 間 で、水 素 の透 過 率 が急 激
に上 昇 した。さらに 4 時 間 以 降 も水 素 透 過 率
は、ゆるやかな上 昇 傾 向 にあることが確 認 さ
れた。これに対 して、Ga を添 加 した膜 試 料 で
は、Ga 添 加 量 が増 加 するに従 って、特 に水
図 Ⅲ-1.1.2.2-25
水素透過率の
高温水蒸気暴露時間依存性
(500℃、H 2 O:N 2 =3:1).
蒸 気 暴 露 2 時 間 以 内 の初 期 変 化 が抑 制 されること、そして 4 時 間 以 降 の水 素 透 過 率 は
安 定 しており、いずれの添 加 量 の場 合 もほぼ一 定 値 を保 つことが確 認 された。一 方 、La
の添 加 効 果 を調 べた結 果 、La を 6 mol%添 加 した膜 (LA-6)では、γ-Al 2 O 3 と同 様 に水 蒸
気 暴 露 により水 素 透 過 率 は急 激 に上 昇 して、結 果 的 に暴 露 20 時 間 後 ではα-Al 2 O 3 多
孔 質 基 材 と同 等 となった。しかし、最 も耐 水 蒸 気 性 が向 上 した、Ga を 30 mol%添 加 し
GA-30 系 への La の添 加 効 果 を検 討 した結 果 、特 に 6 mol%の少 量 添 加 が、特 に水 蒸 気
暴 露 後 2~4 時 間 の初 期 変 化 の抑 制 に極 めて有 効 であり、その後 の水 素 透 過 率 も安 定
することが見 出 された
22)
。
図 Ⅲ -1.1.2.2-26 お よ び 図 Ⅲ -1.1.2.2-27 に は 、 γ-Al 2 O 3 、 LA-6 、 GA-30 お よ び
3-59
LGA-6 の 500 ºC の高 温 水 蒸 気 暴 露 20 時 間 後 の膜 表 面 の微 構 造 組 織 と、細 孔 分 布 の
変 化 をそれぞれ示 す。γ-Al 2 O 3 は、サブミクロンオーダーの粗 粒 化 した組 織 となっていた。
また、LA-6 も同 様 に、一 部 粗 粒 化 していることが分 かった。一 方 、GA-30 および LGA-6
は、特 に暴 露 前 と変 化 無 く、均 一 な微 構 造 組 織 を維 持 していることが確 認 された。また、
細 孔 分 布 の変 化 は、微 細 構 造 組 織 の変 化 と良 く対 応 しており、γ-Al 2 O 3 および LA-6 では、
6 nm 以 上 のメソ細 孔 が増 加 していた。一 方 、GA-30 および LGA-6 のの細 孔 径 分 布 は、
いずれも暴 露 前 をほぼ維 持 していた
23)
図 Ⅲ-1.1.2.2-26 500 o Cで20 時
間 、水 蒸 気 暴 露 後 の試 料 表 面 の
SEM 観 察 結 果 .(a) ・-Al 2 O 3 , (b)
LA-6, (c) GA-30 、 お よ び (d)
。
図 Ⅲ -1.1.2.2-27 細 孔 分 布 の 評 価 結
果 . (a) ・-Al 2 O 3 , (b) LA-6, (c) GA-30 (d)
LGA-6.(○) 合 成 後 、および(●) 500 o C
で20 時 間 、水 蒸 気 暴 露 後 .
b) 希 土 類 元 素 添 加 シリカ膜 の耐 熱 ・耐 水 蒸 気 性 膜 の合 成 及 びガス透 過 特 性 評 価
非 晶 質 シリカ膜 の高 温 水 蒸 気 による劣 化 は主 に Si-O の開 裂 、縮 合 などによるネットワー
クの再 構 築 に起 因 すると考 えられている。多 価 元 素 である希 土 類 元 素 は Si-O 骨 格 の安
定 性 に寄 与 することから、シリカ膜 の耐 水 ・耐 水 蒸 気 性 の向 上 に寄 与 することが期 待 され
る。イオン半 径 の異 なる2種 類 の希 土 類 元 素 La(r=1.10Å)及 び Sc(r=0.75Å)をシリカに
添 加 した複 合 酸 化 物 Si-La-O 及 び Si-Sc-O について、シリカ中 の希 土 類 元 素 の存 在 状
態 及 びガス透 過 率 における耐 水 蒸 気 性 を評 価 した。
3-60
Si-La-O 及 び Si-Sc-O 粉 末 試 料 に つ い て 、 X 線 回 折 の 評 価 結 果 を 図
Ⅲ -1.1.2.2-28(a)に示 す。無 添 加 シリカ(Si-O)では 15~35°にブロードな非 晶 質 シリカ
特 有 のハローパターンが確 認 できる。Si-La-O ではハローパターンのピークが高 角 度 側 に
シフトし、40~50°に新 たなブロードなパターンを形 成 し、Si-Sc-O ではハローパターンの
30°付 近 にショルダーを形 成 していることがわかる。シリカと混 合 していない各 種 希 土 類 硝
酸 塩 を大 気 中 、同 温 度 (600℃)で焼 成 すると希 土 類 酸 化 物 の結 晶 が生 成 することから、
シリカとの複 合 で希 土 類 酸 化 物 の結 晶 化 が抑 制 されていることがわかった。それぞれの試
料 をラマン分 光 法 により、評 価 した結 果 を図 Ⅲ -1.1.2.2-28(b)に示 す。無 添 加 シリカでは
200~580cm - 1 及 び 800 cm - 1 に特 徴 的 なシグナルがみられ、それぞれ Si-O-Si 結 合 の変
角 振 動 、O-Si-O の対 称 結 合 伸 縮 振 動 に帰 属 する。すなわち、これらは共 有 結 合 の架 橋
酸 素 に由 来 する。一 方 、Si-La-O では 770~1100cm -1 に新 たな3つのピークが確 認 される。
これらはイオン結 合 の非 架 橋 酸 素 に由 来 することから、Si-O と La 間 にイオン結 合 が形 成
していることがわかる。また、架 橋 酸 素 を示 す 200~580cm - 1 のシグナル形 状 が変 化 してい
ることから、Si-O、La 間 のイオン結 合 形 成 に伴 い、Si-O-Si の共 有 結 合 の割 合 が減 少 して
いると考 えられる。Si-Sc-O では、非 架 橋 酸 素 に帰 属 する 900~1100 cm - 1 のシグナルが確
認 されるが、Si-La-O と比 較 すると明 らかに小 さい。また、架 橋 酸 素 に帰 属 する 800 cm - 1
が存 在 すること、200~580cm - 1 のシグナルの変 形 が小 さいことから、Si-Sc-O のイオン結
合 性 の割 合 は Si-La-O より低 く、共 有 結 合 性 の割 合 が高 い。つまりイオン半 径 の大 きい
(a)
(b)
Intensity / a.u.
Intensity / a.u.
Si-La-O
(La/Si=0.5)
Si-La-O
(La/Si=0.5)
Si-Sc-O
(Sc/Si=0.5)
Si-Sc-O
(Sc/Si=0.5)
Si-O
10
20
30
Si-O
40
50
2 θ / deg.
60
70
80
1600 1400 1200 1000 800 600 400 200
Raman shift / cm-1
0
図Ⅲ-1.1.2.2-28 Si-La-O、Si-Sc-O および Si-O の(a) XRD パターン、(b)ラマンスペクトル.
3-61
La はシリカネットワーク修 飾 酸 化 物 としてシリカ中 の free OH 基 をイオン結 合 で連 結 するこ
とで結 合 を強 固 にしているのに対 し、イオン半 径 の小 さい Sc では、シリカネットワーク修 飾
酸 化 物 としての寄 与 に加 えて、一 部 シリカネットワーク形 成 酸 化 物 として寄 与 していると考
えられた。
図 Ⅲ -1.1.2.2-29 に Si-O、 Si-La-O、及 び Si-Sc-O 膜 の水 蒸 気 暴 露 試 験 (500℃,
Steam/N 2 =3)の結 果 を示 す。Si-O 膜 の水 蒸 気 暴 露 前 (0h)の水 素 及 び一 酸 化 炭 素 透 過
率 はそれぞれ 2.2×10 - 8 、 2.4×10 - 9 mol m - 2 s - 1 Pa - 1 であったが、水 蒸 気 暴 露 後 徐 々に増
加 し、25h 後 ではそれぞれ 4.9×10 - 8 、 1.6×10 - 8 mol m - 2 s - 1 Pa - 1 を示 した。分 子 径 の大 き
い一 酸 化 炭 素 透 過 率 が特 に増 加 すること、透 過 係 数 比 α(H 2 /CO)は Knudsen 拡 散 の理
論 透 過 係 数 比 α(H 2 /CO)の 3.74 より小 さい 3.0 であることから、高 温 水 蒸 気 により Si-O 膜
に ナ ノ サ イ ズ 以 下 の 欠 陥 が 生 成 し て い る と 考 え ら れ る 。 Si-La-O 膜 で は 水 蒸 気 暴 露 前
(0h)の水 素 及 び一 酸 化 炭 素 透 過 率 は Si-O 膜 より小 さく、それぞれ 9.5×10 - 9 、 1.6×
10 - 9 mol m - 2 s - 1 Pa - 1 であった。
水 蒸 気 暴 露 後 では H 2 及 び CO 透 過 率 がいったん減 少 した後 、急 激 に増 加 し、水 蒸 気
暴 露 時 間 16h で そ れ ぞ れ 9.5 × 10 - 9 、 1.6 × 10 - 9 mol m - 2 s - 1 Pa - 1 、 透 過 係 数 比 α
(H 2 /CO)=2.5 であり、Si-O 膜 と同 様 に高 温 における水 蒸 気 暴 露 により欠 陥 が生 成 して
いることが示 唆 される。Si-Sc-O では水 蒸 気 暴 露 前 (0h)の水 素 透 過 率 は 8.7×10 - 1 0 であ
ったが、水 蒸 気 暴 露 直 後 、水 素 透 過 率 が急 激 に増 加 し、49h 後 には 1.8×10 - 8 mol m - 2
s - 1 Pa - 1 となった。一 方 、一 酸 化 炭
1.0E-07
素 透 過 率 は水 蒸 気 暴 露 前 後 でほ
と ん ど 変 化 が な く 、 10
-11
台 の値 を
49h 後 でのα(H 2 /CO)>400 の
値 を示 した。粉 体 試 料 の評 価 で
示 されたように La 及 び Sc は周
囲 の Si-O とイオン結 合 を形 成 し
ていることからシリカネットワーク
の隙 間 を占 有 し、緻 密 な構 造 を
有 している。その結 果 、Si-La-O
膜 及 び Si-Sc-O 膜 の水 蒸 気 暴
Permeance / mol・m-2・s-1・Pa-1
示 した。その結 果 、水 蒸 気 暴 露
1.0E-08
H2_Si-O
CO_Si-O
1.0E-09
H2_Si-La-O
CO_Si-La-O
H2_Si-Sc-O
1.0E-10
CO_Si-Sc-O
露 前 の透 過 率 は Si-O 膜 より小
さくなると考 えられる。したがって、
水 蒸 気 暴 露 を行 うとイオン結 合 の
1.0E-11
0
割 合 が大 き く、共 有 結 合 性 の乏 し
10
20
30
40
50
い Si-La-O 膜 は水 蒸 気 により膜 構
造 が破 壊 されるのに対 し、共 有 結
合 性 の割 合 が高 い Si-Sc-O 膜 は
膜 構 造 が破 壊 されにくく、安 定 で
Steam exposure time / h
図 Ⅲ-1.1.2.2-29
Si-La-O 膜 及 び Si-Sc-O
膜 の H 2 及 び CO 透 過 率 の水 蒸 気 暴 露 時 間 依 存
性 (暴 露 条 件 :500℃, H 2 O:N 2 =3:1).
3-62
あると考 えられる。
1.1.2.2.4 まとめ
非 酸 化 物 系 、および酸 化 物 系 多 元 素 系 材 料 を対 象 に、高 温 水 素 分 離 膜 の合 成 開 発
研 究 を実 施 した。非 酸 化 物 系 では、ダルムシュタット工 科 大 学 への再 委 託 研 究 と JFCC 集
中 研 究 所 における製 膜 研 究 により、世 界 トップレベルの高 温 耐 熱 性 を有 するアモルファス
Si-B-C-N 系 薄 膜 の多 孔 質 支 持 基 材 上 での直 接 製 膜 に成 功 した。また、長 繊 維 材 料 とし
て実 用 化 されている耐 熱 性 アモルファス SiC 系 材 料 を用 いた分 離 活 性 層 の合 成 開 発 技
術 に有 効 な、CVI 法 を利 用 したサブナノメートルオーダーの極 微 細 孔 の表 面 修 飾 基 礎 技
術 を確 立 した。これらの研 究 成 果 により、今 後 開 発 が期 待 される高 耐 熱 性 アモルファスセ
ラミック製 分 離 膜 の合 成 基 礎 技 術 の構 築 に成 功 した。
酸 化 物 系 を対 象 とした合 成 開 発 では、メソポーラス中 間 層 として汎 用 されているγ-Al 2 O 3
系材料を対象に、異種元素添加による耐水蒸気性の向上研究を実施して、
Al-La-Ga-O 多 元 素 系 メソポーラス中 間 層 は、500℃以 上 の高 温 耐 水 蒸 気 性 を有 するこ
とを見 出 した。一 方 、分 離 活 性 層 の合 成 開 発 研 究 では、新 規 な高 温 水 素 親 和 性 ナノ粒
子 分 散 アモルファスシリカコンポジットメンブレンの合 成 開 発 に成 功 し、このような分 離 活 性
層 のナノ構 造 制 御 は、高 温 水 素 透 過 率 の向 上 に極 めて有 効 であることを明 らかとした。ま
た、希 土 類 元 素 を添 加 したアモルファスシリカ複 合 酸 化 物 系 を対 象 とした分 離 活 性 層 の
合 成 開 発 を実 施 して、Sc の添 加 が、アモルファスシリカマトリックスの高 温 耐 水 蒸 気 性 の向
上 に有 効 であることを見 出 した。
これらの研 究 成 果 は、メタンの水 蒸 気 改 質 反 応 による水 素 製 造 プロセスの高 効 率 化 を
可 能 とする膜 反 応 器 へのセラミックス製 高 温 水 素 分 離 膜 の実 用 化 だけでなく、水 素 以 外
のガス分 離 への応 用 が期 待 される。また、特 に新 規 なナノ粒 子 分 散 コンポジットメンブレン
や高 温 耐 水 蒸 気 性 を有 するメソポーラス Al-La-Ga-O は、種 々の高 温 反 応 触 媒 、触 媒 担
体 、あるいはセンサー等 の部 材 としての応 用 も期 待 される。
1.1.2.2.5 達 成 状 況
多 元 素 系 分 離 膜 の開 発 研 究 では、非 酸 化 物 系 、および酸 化 物 系 の新 規 分 離 膜 の合
成 開 発 に成 功 して、今 後 のセラミック製 ガス分 離 膜 の高 機 能 化 に関 して、多 くの有 用 な知
見 が得 られた。特 に、新 規 な水 素 親 和 性 ナノ粒 子 分 散 アモルファスシリカ系 コンポジットメ
ンブレンは、従 来 の分 子 ふるい機 能 のみでは、実 現 が困 難 な高 温 水 素 透 過 率 の選 択 的
な向 上 に成 功 し、500℃の水 素 の透 過 率 は 8 ×10 - 7 mol·m - 2 ·s - 1 ·Pa - 1 、窒 素 の透 過 率 に
対 する水 素 透 過 率 の比 、α(H 2 /N 2 )は 4500 と、本 プロジェクトの最 終 目 標 レベルをクリアし
た。
一 方 、分 離 膜 の耐 水 蒸 気 性 向 上 という観 点 からは、メソポーラス中 間 層 、および分 離 活
性 層 について、従 来 材 料 より優 れた多 元 素 系 材 料 を見 出 すことに成 功 し、今 後 のセラミッ
クス製 分 離 膜 の実 用 化 に向 けて有 用 な知 見 が得 られた。以 上 の成 果 より、本 研 究 の当 初
の目 標 を達 成 している判 断 される。
3-63
参考文献
1) E. Kroke, Y-L. Li, C. Konetschny, E. Lecomte, C. Fasel, and R. Riedel, Mater. Sci.
Eng. , R26, 97-199 (2000).
2) J. Bill, M. Friess, F. Aldinger and R. Riedel, “Doped Silicon Carbonitride:
Synthesis, Characterization and Properties”, pp. 605-615 in Better Ceramics
Through Chemistry VI, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 346, edited by A. K.
Cheetham, C. J. Brinker, M. L. Mecartney and C. Sanchez, Materials Research
Society, Pittsburgh, PA, 1994.
3) J. Bill and F. Aldinger, Adv. Mater. , 7, 775-87 (1995).
4) R. Riedel and W. Dressler, Ceram. Int. , 22, 233-39 (1996).
5) K. Kusakabe, Z. Li, H. Maeda and S. Morooka, J. Membrane Sci ., 103, 175-180
(1995).
6) Z. Li, K. Kusakabe and S. Morooka, J. Membrane Sci ., 118, 159-168 (1996).
7) L.L. Lee and D-S. Tsai, J. Am. Ceram. Soc ., 82, 2796-800(1999).
8) K. W. Völger , R. Hauser, E. Kroke, R. Riedel, Y. H. Ikuhara and Y. Iwamoto, J.
Ceram. Soc. Japan, 114, [6], 576-560 (2006).
9) S. Yan, H. Maeda, K. Kusakabe, S. Morooka, Y. Akiyama, Ind. Eng. Chem. Res ., 33,
[9], 2096-2101 (1994).
10) A. Nijimeijer, B.J. Bladergroen, H. Verweij, Microporous and Mesoporous Mater .,
25, [1/3], 179-184 (1998).
11) G.-J. Hwang, K. Onuki, S. Shimizu, JAERI-Research , 98-002, 1-9 (1998).
12) Y. Iwamoto, K. Sato, T. Kato, T. Inada, and Y. Kubo, J. Europ. Ceram. Soc., 25,
[2-3], 257-264 (2005).
13) R. Hauser, S. Nahar-Borchard, R. Riedel, Y. H. Ikuhara and Y. Iwamoto, J. Ceram.
Soc. Japan, 114, [6], 524-528 (2006).
14) T. Nagano, K. Sato, T. Saitoh and Y. Iwamoto, Soft Materials, in press.
15) T. Inada, N. Uno, T. Kato and Y. Iwamoto, J. Mater. Res., 20, 114-120 (2005).
16) T. Nagano, N. Uno, T. Saitoh, S. Yamazaki, and Y. Iwamoto, Chem. Eng. Comm.,
194, 158-169 (2007).
17) S. Yamazaki, N. Uno, Y. H Ikuhara, H. Mori, Y. Iwamoto, T. Kato and T. Hirayama,
J. Mater. Sci., 41, [9], 2679-83 (2006).
18) M. Knudsen, Ann. Phys. , 28, 705 (1909).
19) H. Tamon, S. Kyotani, H. Wada, M. Okazaki and R. Toei, J. Chem. Eng. Japan. , 14,
136 (1981).
20) Y. H. Ikuhara, H. Mori, T. Saito, and Y. Iwamoto, “Ni Nano-Particle Dispersed
Amorphous
Silica
with
Unique
Hydrogen
Adsorption
Properties
at
High
Temperature”, p. 27 in the Abstracts of The Symposium on Hybrid Nano Materials
3-64
Toward Future Industries (HNM 2006), 2006.
21) Y. H. Ikuhara, H. Mori, T. Saito and Y. Iwamoto, J. Am. Ceram. Soc., 90, [2],
546-552 (2007).
22) Md. H. Zahir, K. Sato, Y. Iwamoto, J. Membrane Sci ., 247, [1-2], 95-101 (2005).
23) Md. H. Zahir, K. Sato, H. Mori, Y. Iwamoto M. Nomura, S. Nakao, J. Am. Ceram.
Soc ., 89, [9], 2874-2880 (2006).
3-65
1.1.2.3. “Design and Synthesis of Polymeric Precursors for Multicomponent Ceramic
Systems”
1.1.2.3.1. Introduction
Synthesis of liquid polymer precursors possessing Si-C-N or Si-B-C-N backbonds are
potential source for fabrication of multicomponent ceramic systems using the
established processing techniques. Our aim is to design suitable preceramic polymer
precursors which can be useful for synthesis of ceramic membranes for hydrogen
separation at high temperature. By changing the organic spacer groups in the inorganic
polysilsesquicarbodiimide network [{(NCN) 1 . 5 Si-R-Si(NCN) 1 . 5 } n ] we have shown that the
pore size distribution in the polmer can be tailored. This system thus opening the way
for the exploration of useful size- and shape-selectivity in the catalytic or membrane
properties. Thermal decomposition of these materials produced silicon nitride ceramics,
Si x C y N z . The materials obtained upto 1200 °C are completely amorphous and provide
polycrystalline α-Si 3 N 4 / α(β)-SiC composites after crystallization at T>1400 °C.
As
a
source
of
Si-B-C-N-ceramics
[B{C 2 H 4 Si(CH 3 )NH} 3 ] n
(where,
various
C2H4
polyborosilazanes
=
CHCH 3
or
such
as
CH 2 CH 2 ),
[B{C 2 H 4 Si(CH 3 )NH} 2 (NH) 0 . 5 ] n , [B{C 2 H 4 Si(H)NH} 3 ] n , [B{C 2 H 4 -SiHCH 3 -C 2 H 4 -Si(H)NH} 3 ]n,
[B{C 2 H 4 Si(CH 3 )NH} n {C 2 H 4 Si(CH 3 )N(SiH 2 Ph)} n ] precursors have been used. Thermal
degradation of these materials showed that the Si-B-C-N-ceramic can be stable upto
2000
°C
in
nitrogen-free
environments.
However,
for
the
phenyl-containing
polyborosilazane thermal resistance can be arised up to 2200 °C in argon. The polymer
precursors obtained from hydroboration reactions of vinyl substituted cyclotrisilazane
or, ammonolysis of tris(methyldichlorosilylethyl)borane and its subsequent ceramic
products also showed outstanding thermal stability.
1.1.2.3.2. Experimental Procedure
Precursor Synthesis:
Si-C-N system
3-66
As a source of Si-C-N ceramics we have used hybrid polymers
[(NCN) 1 . 5 Si-(R)-Si(NCN) 1 . 5 ] n which have been synthesized from the sol-gel
polycondensation reaction of molecular precursors, namely
[Cl 3 Si-R-SiCl 3 ] and bis(trimethylsilyl)carbodiimide (Eq. 1).
Pyr./solv
n Cl3Si
R SiCl3 + 3n Me3Si N C N SiMe3
R = (CH2)x, where, x = 2, 6, or, 8
H2C-C6H4-CH2,
H2C-CH=CH-CH2
Si
6n Me3SiCl +
NCN
Si NCN
NCN
R
Eq. 1
n
Gel
Si-B-C-N system
Hydroboration reactions of borane-dimethylsulfide with
1,3,5-trimethhyl-1.3,5-trivinyl-cyclotrisilazane lead to novel Si-B-C-N preceramic
polymers (Eq. 2). Polymer 1 contains active hydrogen functions for further
hydroboration reactions. The reaction of Polymer 1 with
Divinyl-tetramethyl-disilazane lead to the higher cross linked Polymer 2 with a
proposed structure shown in Fig. Ⅲ-1.1.2.3.1.
HN
HN
NH
NH
Si
Si
2
H
N
Si
HN
Si
H
Si
H
N
Si
N H
Toluen
0 °C
- 3SMe2
3 H3B
B
B
Si
HN
H
SMe2
Si
Eq. 2
N H
B
H
N
Si
HN
Si
Si
N H
Polymer 1
3-67
H
HN
HN
NH
NH
H
N
Si
H N
N
H
B
H
N
Si
H N
Si
N
H
Si
Si
B
Si
Si
Si
NH
Si
B
Si
NH
B
H
N
Si
Si
Si
H N
HN
NH
Si
B
B
Si
HN
Si
Si
B
H
N
Si
NH
NH
H N
Si
Si
NH
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.1. Proposed structure of Polymer 2
Recently, we have synthesized two starting materials for preceramic polymer
precursors. The synthesis followed two steps. In the first hydroboration step
methyl-vinyl-dichlorsilane was treated with H 3 B⋅SMe 2 or H 2 BCl⋅SMe 2 according to the
Eq. 3 and Eq. 4. After completion of the reactions the solvent was removed under
reduced pressure and obtained the raw products 1 and 2.
Cl
Cl
3
Si
Toluol
Si
Cl
+ H3B SMe2
- SMe2
Cl
Cl
Eq. 3
B
Si
Si
Cl
Cl
1
3-68
Cl
Cl
Si
Cl
2
Cl
Toluol
Cl
Si
Eq. 4
B
+ H3BCl SMe2
- SMe2
Cl
Si
Cl
Cl
2
The second step was the reaction of 1 and 2 with LiNMe 2 in THF (Eq. 5 and Eq. 6).
After completion of the reactions the mixtures were filtered for removing the salt LiCl.
The solvent THF was then removed from the filtrate under reduced pressure. The
liquid precursors 3 and 4 were then purified from the residual liquids by fractional
vaccum distillation.
Cl
Si
Cl
N
Cl
THF
B
Si
SI
Cl
Si
Cl
N
N
Eq. 5
B
Si
+ 6 LiNMe2
- 6 LiCl
SI
N
Cl
N
N
3
Cl
Si
N
Cl
Si
N
Eq. 6
THF
Cl
N
B
Si
Cl
+ 5 LiNMe2
- 5 LiCl
B
Si
Cl
N
4
3-69
N
Preparation of Ceramic Membrane
For thin film deposition on porous Al 2 O 3 -substrate (supplied from Japan Fine Ceramics
Center) the above mentioned SiCN and SiBCN preceramic polymeric precursors were
employed using dip-coating technique.
Vacuum
Speed
+
Elec.
Motor
N2
Pump
Viewing window
Pipe fittings
Tightning
lever
Vacuum indicator
Substrate
Inert gas
Atmospher
Stirrer tip
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.2. Schematic diagram of Dip-coating apparatus in the glove
box
Typically a 20 wt% of polymer solution in toluene was used for dip-coating on Al 2 O 3
substrate. Total three times of coating were applied for each polymer precursor. After
each coating the coated layer was pyrolysed at 1100°C under argon atmosphere.
3-70
1.1.2.3.3. Results and Discussion
Si-C-N system
Rheological Model for the non-oxidic carbodiimide gel based on the reaction of chlorosilanes
with bis(trimethylsilyl)carbodiimide
A general constitutive relation describing the change of viscoelastic behavior during the liquid solid (sol - gel) transition which takes place in preceramic polymers is derived on the basis of
Jeffrey’s 3-constants model with time dependent viscosities and elasticity. It is postulated that the
sol - gel - transition can be analyzed analogous to the solutions of the Avrami equation used for
modeling crystallization processes. Continuous measurements of the dynamic moduli versus
reaction time, as well as creep tests at constant shear stress for the sol - gel transition of the
polymer systems is shown in Fig. 1.1.2.3.3. The shear rate and viscosity dependence of reaction
time in creep tests, respectively the evolution of Lissajous figures associated with oscillatory
experiments (Fig. 1.1.2.3.4.), are found to be consistent with the numerical simulations of the
proposed constitutive relation.
(b
(a)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.3. (a) Evolution in time of the dynamic moduli at constant frequency ω = 1 s-1 in a
gelation process (stress amplitude: τa = 10 Pa) and (b) Experimental creep test for carbodiimide
gel (a region of “instability” is observed in vicinity of the critical gel point).
3-71
(a)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.4.
(b
(a) Experimental and (b) theoretical Lissajous figures: oscillatory stress as
function of oscillatory strain (with time parameter) associated with the dynamic test for
carbodiimide gel.
Characterization of the hybrid polymer [(NCN) 1 . 5 Si-H 2 C-CH=CH-CH 2 -Si(NCN) 1 . 5 ] n
(HM5):
The sol-gel polycondensation reactions (Eq. 1) of [Cl 3 Si-H 2 C-CH=CH-CH 2 -SiCl 3 ]
with [Me 3 Si-N=C=N-SiMe 3 ] was carried out in various organic solvents at 45 °C.
Depending on the solvent semi-transparent to opaque gels were obtained. All gels were
then allowed to age for 7 and 30 days respectively. The solid gel contain the liquid
by-product Me 3 SiCl which was replaced by washing with benzene. After the gels were
completely infiltrated with benzene, the material was carefully dried at temperatures
below the melting point of benzene using reduced pressure (freeze drying). The gels
were further dried in vacuo heating at 120 °C for several hours. Characterization of the
solid gels were carried out by following spectroscopic and analytical methods.
FT-IR-analyses:
The presence of the carbodiimide groups (Si-NCN) in the hybrid polymer HM5 can be
easily identified by three characteristic vibrational bands in the FT-IR spectrum. The very
intense and broad band of the asymmetric vibration of the carbodiimide unit (vas N=C=N) can be
found at 2120 cm-1. The likewise strong band of the deformation vibration δ (N=C=N) is located at
746 cm-1 and a band of medium intensity can be determined for the Si-N vibrations (v Si-NCN) at
572 cm-1. However, like other silylcarbodiimides, the solid gel was also very sensitive to
moisture and easily hydrolysed to (Si-O-Si) and cyanamide, (H 2 N-CN) or its oligomers,
e.g. dicyanamide or melamine. The representative infrared spectra of the aged gel and
3-72
its hydrolyzed product are shown in Fig. Ⅲ-1.2.2.3.5..
110
100
Transmittance (a. u.)
90
(a)
(b)
1166
80
(c)
70
3220
ν(SiO-H), ν(N-H)
60
50
1034
2230
ν(Si-O)
ν(N-CN)
706
2120
νas(N=C=N)
572
40
30
4000
746
δ (N=C=N)
3000
2000
1000
-1
Wavenumber (cm )
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.5. FTIR spectra of HM5 gel (a) aged gel, (b) gel hydrolysed in air for
5 min and (c) gel hydrolysed in air for 10 min.
3-73
Microstructure
The morphology of the HM5 gel structure was determined by high-resolution scanning
electron microscopy (HRSEM). The material showed gel-like porous structure in the
nanometer size regime.
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.6. Scanning electron micrographs of HM5 hybrid polymer.
Porosity Measurements
For the evaluation of the porous structure of the material N 2 gas sorption studies were
carried out using the multi-point BET method. The solvent employed for the
polycondensation reactions showed a weak influence on the specific surface areas and
pore volumes of the gels (see Table 1.1.2.3.1.). For studying the effect of
aging on
the texture of the solids we varied the length of aging time at a particular temperature.
It appears that increase of the aging time induces an increase of the specific surface
area and increase of the mesoporosity of the material. The same behaviour is
observered whatever the solvent is used, in particular gels prepared from benzene
exhibiting drastic aging effect on the textural structure.
The incremental pore volume plots derived from the desorption branch of the nitrogen isotherm,
reveal the distribution of pore sizes and the extent to which they contribute to the pore volume. At
each step during the desorption phase of the porosimetry experiment, the volume of liquid nitrogen
removed from the pores of the material is measured, and a corresponding pore diameter is
calculated from the relative pressure using the Barrett-Joyner-Halenda (BJH) method. The
distribution of the pore sizes in the material can be observed by plotting the measured pore
3-74
volumes versus the calculated pore diameters. The pore volume plots for HM5-gels exhibit a
narrow pore size distribution, with the pore diameters lying mostly between 30 and
39 Å (3 to 3.9 nm). Most of the porosity of the gels resides in pores with average
diameters in the lower end of the mesoporous domain (mesopore diameter range = 2-50
nm). The BET specific surface areas, porous volumes and the average pore diameters
are reported in Table Ⅲ-1.1.2.3.1. The representative Fig. Ⅲ-1.1.2.3.7. shows the
N 2 adsorption-desorption isotherm and the pore size distribution obtained for HM5-gel
prepared in CH 2 Cl 2 .
Table Ⅲ-1.1.2.3.1. BET data for HM5 produced from various organic solvents and
different aging times:
Solvent
Gelpoint at
Aging at 45°C BET Specific Total
Average
45°C
[d]
Surface Area Pore
Pore
(m 2 g - 1 )
Diameter
[h]
Volume
3 -1
(cm g )
(nm)
CH 2 Cl 2
4
7
284
0.11
3.1
CH 2 Cl 2
4
30
359
0.28
3.1
THF
20
7
172
0.17
3.9
THF
20
30
196
0.21
4.2
Benzene
5
7
Benzene
5
30
247
0.24
3.9
Hexane
48
4
294
0.9
12.2
Hexane
48
30
323
1.04
12.9
Toluene
5
7
0.66
-
-
No
5
7
333
0.3
3.6
0
3-75
-
-
A
D
200
2,5
3.1 nm
Pore Volume (cc/g)
Volume (cc/g) STP
2,0
150
(a)
100
50
(b)
1,5
1,0
0,5
0,0
0
0,0
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0
P/Po
0
50
100
150
200
Pore Diameter (Å)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.7.
(a) N 2 adsorption-desorption isotherm and
(b) the pore size distribution
obtained for HM5
polymer prepared in CH 2 Cl 2 .
Thermal stability
Thermogravimetric analysis:
The quantitative analysis of the thermally induced ceramization of HM5 up to 1440 °C gives a total
ceramic yield of 61 wt% (Fig. Ⅲ-1.1.2.3.8.). Analysis of the weight change versus temperature by
thermal analysis coupled with mass spectrometry [thermogravimetric analysis (TGA/MS)] showed
three distinguished steps characterized by weight loss. In the first step between 20 °C – 200 °C
a weight loss of 10.3 % is attributed to evaporation of residual Me3SiCl. The ceramization reaction
proceeds at temperature between 510 °C –
650 °C with a loss of H2 (m/z = 2), CH4 (m/z = 16), N2 (m/z = 28), CH3CN, C2H5CN (m/z = 41) and
residual pyridine or, benzene (m/z = 78). The total weight loss in this step is about 12.9 %. Finally,
in the temperature range 700 °C – 1100 °C, a further weight loss of 15.5 % is observed due to the
evolution of H2O (m/z = 18) and CH4CHO (m/z = 44). At higher temperatures, no mass change is
analyzed up to 1440 °C.
3-76
0,2
100
DTG
0,0
80
-0,1
-0,2
70
TG
DTG [%/min]
Masschange (wt %)
0,1
90
-0,3
60
200
400
600
800
1000
1200
-0,4
1400
Temperatur (°C)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.8.
Thermal gravimetric analysis (TGA) of HM5 in flowing helium at a heating rate
of 2 K min - 1 .
Pyrolysis:
The hybrid gel HM5 was pyrolysed at 1100 °C in a quartz tube for 2h with argon flow at
a heating rate of 2 °C min - 1 . After cooling down to room temperature an air stable
amorphous SiCN-ceramic was obtained with a total yield of 65 wt. %.
Further analyses on previously prepared [(NCN) 1 . 5 Si-(CH 2 ) x -Si(NCN) 1 . 5 ] n [x = 2,
(HM1), 6 (HM2), 8 (HM3)] and [(NCN) 1 . 5 Si-CH 2 -C 6 H 4 -CH 2 -Si(NCN) 1 . 5 ] n (HM4) hybrid
polymers:
Solid-state NMR-study on HM4
The solid-state
13
C and
29
Si CP-MAS-NMR-Spectra of the gel HM4 prepared in benzene
are shown in Fig. Ⅲ-1.1.2.3.9. There was no hydrolysis involved. The solid-state
13
C-NMR
spectrum showed peaks corresponding to methylene carbons (CH 2 ) at δ = 26.4 ppm and
phenyl carbons (C 6 H 4 ) at δ = 130 ppm for the organic spacer group –CH 2 –C 6 H 4 –CH 2 –.
The carbon chemical shifts for the NCN groups were observed at δ = 120 ppm. The
high-field carbon resonance peak at δ = 1.1 ppm might result from the residual amounts
of by-product, Me 3 SiCl, and/or, NCN–Si(CH 3 ) 3 endgroups. The solid-state
29
Si-NMR
spectrum of HM4 displayed a strong peak at δ = – 62.6 ppm. This chemical shift
3-77
corresponds to silicon atoms coordinated to 3[C-Si(NCN) 3 ] in the polymer.
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.9. (a) 1 3 C CP-MAS- and (b)
29
Si CP-MAS-NMR-Spectra for HM4
Thermal Stability
Thermogravimetric analysis:
The thermogravimetric analyses of the hybrid gels (HM1-HM4) were carried out in the
temperature range 20 °C to 1400 °C under helium atmosphere at a heating
rate of 2
-1
K min . For the hybrid gels HM1-HM3 the thermal analyses of mass changes coupled
with mass spectrometry showed first weight losses at about 500 °C. These weight
losses were due to the evolution of propionitrile (m/z = 55), acetonitrile (m/z =41),
CH 4 (m/z=16) and H 2 (m/z =2). Further weight losses were observed at temperature
between 850 °C –
1200 °C due to the loss of N 2 from the system. At higher temperatures no mass change
was analyzed upto
1400 °C. The thermogravimetry of gels (HM1-HM3) in the temperature range 20 °C –
1400 °C are shown in Fig. Ⅲ-1.1.2.3.10. The total ceramic yields obtained at 1400 °C
for HM1, HM2 and HM3 were
54, 44, and 46 wt. %, respectively.
3-78
10
Mass Change (wt%)
0
-10
-20
-30
HM1
-40
HM3
-50
HM2
-60
200
400
600
800
1000
1200
1400
Temperature (°C)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.10. Thermogravimetrc Analyses (TGA) from
HM1, HM2 and
HM3.
For the hybrid solid HM4 the thermal analysis of mass change (Fig. Ⅲ-1.1.2.3.11.)
coupled with mass spectrometry showed weight losses at four different temperature
ranges. The first weight loss of ca. 6.0 % was observed at temperature between 20 °C –
370 °C. In the mass spectrum the signals obtained were at m/z = 29, 30 and 38 which
corresponds to molecular fragments C 2 H 5 + , C 2 H 6 and C 3 H 2 + respectively. The second
weight loss (7.5 %) was found in the temperature range 400 °C to 700 °C with a main
ceramization temperature at 540 °C with a evolution of H 2 (m/z = 2), CH 4 (m/z = 16),
CH 3 CN or CH 3 NC (m/z = 41) and C 7 H 7 (m/z = 91). In the temperature range 700 °C –
1200 °C a weight loss of ca. 6.1 % was observed due to the evolution of nitrogen (m/z
= 28). However, the ceramization of the polymer was not complete up to 1400 °C. In
the range of 1200 °C – 1400 °C a further weight loss of 17.4 % was observed due to the
continuous loss of nitrogen. The total ceramic yields obtained for HM4 at 1400 °C was
ca. 63 wt. %.
3-79
0,05
0
DTG
-10
-0,05
-0,10
-20
DTG (%/min)
Mass Change (wt %)
0,00
-0,15
-30
TG
-0,20
-40
200
400
600
800
1000
1200
1400
Temperatur (°C)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.11. Thermal gravimetric analysis (TGA) of HM5 in flowing
helium at a heating rate of 2 K min - 1 .
Pyrolysis:
Pyrolysis of the hybrid gels (HM1-HM4) were carried out in a quartz tube at 1100 °C
for 2h at a heating rate of 2 °C min - 1 under argon atmosphere. After cooling down to
room temperature air stable amorphous SiCN-ceramic products were obtained. The
total ceramic yields obtained from HM1-HM4 are summerized in Table Ⅲ-1.1.2.3.2.
Table Ⅲ-1.1.2.3.2. The total ceramic yields from HM1-HM4 hybrid polymers
Gel
Ceramic yield
Organic fragment in Gel
(in weight %)
(in weight %)
HM1
63.3
13.7
HM2
54.3
32.3
HM3
46.8
38.9
HM4
69.2
37.4
29
Si CP-MAS-NMR studies on SiCN-ceramics obtained from pyrolysis of HM1-HM3
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.12. shows the solid-state
products obtained from HM1-HM3. The
29
29
Si-MAS-NMR Spectra for pyrolyzed
Si-resonance peaks obtained from HM1 and
HM2-derived Si-C-N-ceramics showed one broad peak centered at δ = – 47 and – 50
ppm respectively which is assigned to SiN 4 -unit. However, the peaks are quite broad so
3-80
that the presence of other coordination spheres at the silicon atoms such as SiC 4 (δ =
– 20 ppm), Si(C)(N) 3 (δ = – 35 ppm) or, CSi(NCN) 3 (δ = – 60 ppm) are likely.
29
The
Si-resonance peaks obtained from HM3-derived Si-C-N-ceramic showed very weak
intensities which is due to the absence of hydrogen resulting in long relaxation times.
(a)
(c)
(b)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.12.
29
Si CP-MAS-NMR-Spectra for (a) HM1-; (b) HM2-; (c) HM3-derived
ceramics
Si-B-C-N System
Characterization of products 3 and 4 prepared from reactions mentioned in Eq. 5 and Eq.
6.
The analytical and spectroscopic data obtained for products 3 and 4 are summerized in
Table Ⅲ-1.1.2.3.3.
The measurements of the
29
Si,
11
B and
13
C solution NMR were carried out in C 6 D 6 .
3-81
Table Ⅲ-1.1.2.3.3. Experimantal data obtained for 3 and 4.
Product
3
4
Formula
Si 3 BN 6 C 2 1 H 5 7
Si 2 BN 5 C 1 6 H 4 4
Molecular weight
488.79 g/mol
373.53 g/mol
Boiling point
95 °C – 119 °C
77 °C – 98 °C
fraction 1
(1.6 × 10 - 1 mbar)
(1.2 × 10 - 1 mbar)
Boiling point
119 °C – 128 °C
98 °C – 110 °C
fraction 2
(1.6 × 10
(1.2 × 10 - 1 mbar)
29
Si-NMR
– (0.9- 0.1) ppm
– (2.4-1.7) ppm
11
B-NMR
46.02 ppm
46.9 ppm
13
C-NMR
– 3.7 (SiMe), 12.2 (CH 2 ),
– 3.5 (SiMe), 12.1 (CH 3 ),
39.3 (NMe 2 )
38.4 (NMe 2 )
-1
mbar)
Characterization of Ceramic Membrane
Si-C-N System
Commercial Ceraset:
In our preliminary experiments commercially available ceraset was used for dip-coating
on porous Al 2 O 3 -substrate. After pyrolysis the ceramic membrane was initially
characterized by scanning electron microscopy. However, no visible coating can be
detected under the microscope. The reason may be due to the complete infiltration of
polymer solution to the porous substrate.
H
N
R CH
3
R´
Si
N
Si
C
N n O
H
Si
H3C HN
n = 1-20
R´ = Aryl
R = H, CH=CH 2
R CH3
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.13. Chemical structure of commercial Ceraset
3-82
The N 2 adsorption-desorption analysis for evaluation of micro/meso-porosity of the
material was carried out at JFCC. The determination of the pore size distribution
versus pore volume measured by BJH-method (Fig. Ⅲ -1.1.2.3.14.) showed that
ceraset-derived Si-C-N sample will be suitable for the synthesis of mesoporous
intermediate layer between a porous support and a molecular sieving
membrane.
Pore Volume (cc/nm/g)
0,0015
0,0010
0,0005
0,0000
10
20
30
40
Pore Diameter (nm)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.14. The pore size distribution obtained for ceraset-derived
Si-C-N ceramic membrane measured by BJH-method.
Hybrid Polymer:
Recently, we have used hybrid polymer HM1 for dip-coating on Al 2 O 3 -substrate. The
coated and pyrolyzed coating membrane was then observed under scanning electron
microscope.
It showed a thin layer of coating on the substrate. However, the
thickness of the layer was not easy to measure further improvement in the sample
preparation may be needed.
3-83
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.15. Scanning electron micrographs of three-times coated HM1-derived
ceramic membrane.
The determination of pore size distributions, gas permeation test and hydrothermal stability test of
this material are presently under investigation at JFCC.
Si-B-C-N System
For the synthesis of ceramic membrane containing Si-B-C-N component we have used
previously synthesized Polymer precursor 1 for the dip-coating on Al 2 O 3 -substrate.
The ceramic obtained after pyrolysis was initially characterized by scanning electron
microscopy which showed a film thickness of around 200 nm.
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.16. Scanning electron micrographs of three-times coated Polymer
1-derived ceramic membrane.
For the evaluation of microporosity of the material N 2 gas sorption studies were carried
out using the BET method. The distribution of the pore sizes in the material can be
3-84
determined by plotting the measured pore volumes versus the calculated pore diameters using
BJH-method. The pore volume plots for Polymer 1-derived ceramic exhibit a narrow pore size
distribution, with the pore diameter lying at around 0.6 nm which may be suitable for the
synthesis of molecular sieving membranes. Fig. Ⅲ-1.1.2.3.17. shows the pore size
distribution obtained for Polymer 1-derived Si-B-C-N ceramic membrane measured by
BJH-method.
0,00035
Pore Volume (cc/nm/g)
0,00030
0.6 nm
0,00025
0,00020
0,00015
0,00010
0,00005
0,00000
0,0
0,5
1,0
1,5
2,0
Pore Diameter (nm)
Fig. Ⅲ-1.1.2.3.17.
The pore size distribution obtained for Polymer 1-derived Si-B-C-N ceramic
membrane
measured by BJH-method.
3-85
1.1.2.3.4. Plan for FY 2004
Si-C-N and Si-B-C-N systems:
The first part of the project will deal with the study of the crystallization and phase
separation behaviour of the prepared ceramic membranes. The partitioning of the
amorphous Si-C-N and Si-B-C-N thin films will be referenced to the corresponding
volume materials. Secondly, the hybrid polymers HM2-HM5 and Products 3 and 4 will
be used for the synthesis of Si-C-N and Si-B-C-N films by dip-coating processing.
Thirdly, depending on the results obtained at JFCC related to the gas permeability and
hydrothermal stability of the as synthesized membranes further improvements may be
carried out using different pyrolysis conditions or by modification of the coating
parameters. Finally, synthesis of suitable new polymer precursors will be further
developed. Complete characterization of these polymers as well as their ceramic
products will be carried out using various spectroscopic and analytical methods.
3-86
1.1.2.4. “Design and Synthesis of Polymeric Precursors for Multicomponent Ceramic
Systems”
1.1.2.4.1 Introduction
Liquid polymeric precursors possessing Si-B-C-N frameworks are a potential source
for the fabrication of multicomponent ceramic systems. Our aim is to design suitable
preceramic polymeric precursors, which are usable for the synthesis of ceramic
membranes. A possible application for these membranes is in the field of hydrogen
separation at high temperatures.
The preceramic SiBCN precursors were synthesised via hydroboration reaction of vinyl
containing chlorosilanes with borane adducts and subsequent adding of LiNMe 2 . Cross
linking in ammonia and thermal degradation of the precursors lead to SiBCN ceramics,
which are stable up to 2000 °C in nitrogen-free environments.
Cobalt containing SiCN composites can be utilized for hydrogen storage materials. This
should enhance the hydrogen permselectivity of membranes. Two different synthetic
approaches were used to form the functional composite materials. The first route
involves mixing and milling of cobalt metal powders with pre-cross linked polysilazane
Ceraset ® (KION Inc., USA) and subsequent pyrolysis of the metal/polymer-compound.
In an alternative approach, the first step is a chemical reaction between pure
polysilazane Ceraset ® and cobalt carbonyl, Co 2 (CO) 8 . Pyrolysis of the as formed brown
reaction solid lead to black cobalt containing ceramic materials. The novel
polymer-derived ceramic composites were characterized by means of IR-spectroscopy,
XRD- and SEM-investigations as well as by hydrogen storage experiments.
1.1.2.4.2 Experimental procedure
Si-B-C-N precursor synthesis
One of the main aims during the past period of our research project was the synthesis
and characterization of liquid single source precursors in the system Si/B/C/N, and
the modification of the reaction steps to obtain more uniform products. The synthesis
starts with treatment of methyl-vinyl-dichlorosilanes with borane adducts in a
hydroboration reaction. According to Equation (1) we assumed that the intermediates 1
– 3 are formed.
3-87
Cl
Si
Cl
Toluene
Cl
B
1
Si
+ H3B SMe2
- SMe2
SI
Cl
Cl
Cl
Cl
Si
Cl
Toluene
Cl
Si
B
2
+ H2BCl SMe2
- SMe2
Cl
Cl
SI
(1)
Cl
Cl
S
Dichlormethane
Cl
3
B
+ HBCl2 SMe2
Cl
SI
Cl
Cl
The intermediate products 1–3 were used without further purification for a
transformation into the corresponding aminosilanes adding LiNMe 2 . The products 4–6
were synthesized under formation of LiCl as by-product (Equations (2)–(4)). After
purification by filtration and subsequent distillation 4–6 were obtained as colourless to
pale yellow, air and moisture sensitive liquids.
N
Cl
Si
Cl
Si
Cl
O°C / THF
N
+ 6 LiNMe2
- 6 LiCl
Si
B
Si
SI
Cl
1
Cl
(2)
B
Si
N
N
Cl
4
3-88
N
N
Cl
Si
N
Cl
Si
N
0°C / THF
Cl
N
B
SI
Cl
B
(3)
+ 5 LiNMe2
- 5 LiCl
Si
Cl
N
N
2
5
S
N
Cl
O°C / THF
B
Cl
SI
Cl
Cl
3
+ 6 LiNMe2
- 6 LiCl
- SMe2
N
B
Si
(4)
N
N
6
The synthesis of 6 according to Equation (4) did not result in a uniform product. The
raw material decomposes during distillation forming a solid residue.
The cross linking of the single source precursors 4 and 5 with ammonia in n -hexane
follows Equations (5) and (6). Colourless, air sensitive powders were obtained after
removing the solvent.
H
N
N
Si
N
N
Si
H
-18°C / n-Hexane
N
B
B
Si
SI
N
N
+ NH3
- HNMe2
(5)
Si
Si
N
N
P4
n
4
H
N
Si
N
N
-18°C / n-Hexane
N
B
N
SI
N
Si
H
B
(6)
+ NH3
- HNMe2
SI
N
N
P5
5
3-89
H
n
Preparation of ceramic membranes
For thin film deposition on porous Al 2 O 3 -substrates (supplied from Japan Fine
Ceramics Centre) the above mentioned SiBCN single source precursors were used with
dip-coating techniques.
Vacuu
Speed
ll
+
Elec.
Vacuum indicator
Motor
Pump
Viewing window
Tightening
N2
Pipe
fittings
lever
Substrate
Inert gas
atmosphere
Stirrer tip
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.1: Scheme of dip-coating apparatus in the glove box.
Typically 20 wt.% of the precursor solved in toluene was used for dip-coating on Al 2 O 3
substrate. Total three times of coating were applied for the precursor. After each
coating the coated layer was cross linked in ammonia and pyrolyzed at 1100 °C in
argon atmosphere.
Synthesis of cobalt containing composite materials
The synthesis of cobalt containing SiCN materials for hydrogen storage was carried out
by active filler controlled pyrolysis. Two different synthetic approaches were used to
form the functional composite materials. The first route involved mixing and milling of
cobalt metal powders (< 44 µm, 1 and 10 vol.% Co) with at 270 °C pre-cross linked,
commercial available polysilazane Ceraset ® (KION Inc., USA) and subsequent pyrolysis
of the metal/polymer-compound in argon. In an alternative approach, the first step is
a chemical reaction between pure polysilazane Ceraset ® and cobalt carbonyl, Co 2 (CO) 8
3-90
(ca. 1 vol.% metallic Co) without any organic solvent. Pyrolysis of the as formed brown
reaction solid in argon atmosphere leads to black cobalt containing ceramic materials
in the second step. For investigations of the micro structure with SEM the cross linked
samples were warm pressed and pyrolyzed as bulk material in argon atmosphere. The
general procedures for both synthetic approaches are given in Figure Ⅲ-1.1.2.4.3.
Metal powder derived composites
Metal carbonyl derived
composites
Metallic
filler
+
Chemical reaction
Metal carbonyl + Ceraset®
Precrosslinked
Ceraset®
Metal@Ceraset®
Mixing, Milling
Milling
Warm pressing
(350 °C, 260 MPa)
Warm pressing
(180 °C, 260 MPa)
Pyrolysis
1100 °C , Argon
Pyrolysis
1100 °C , Argon
Characterisation
XRD, SEM, EDX, Hardness
Characterisation
XRD, SEM, EDX, Hardness
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.2: Flow-chart of the synthesis of Co/SiCN ceramic composites.
Hydrogen storage experiments were carried out with the as synthesized powders,
pyrolyzed in argon atmosphere. Total hydrogen adsorption was measured by feeding
hydrogen gas up to 1 atm. The reversible hydrogen adsorption was measured by the
following route:
1) Treating of the sample just as measurement of total adsorption.
2) Evacuation of the sample, and feeding hydrogen gas again.
3-91
1.1.2.4.3 Results and discussion
Si-B-C-N system
The synthesis of 6 according to Equation (4) did not result in a uniform product. The
raw material decomposes during distillation forming a solid residue. The results of the
characterization of compounds 4–6 are summarised in Table 1.
Table Ⅲ-1.1.2.4.1:Properties of the compounds 4–6.
Formula
4
5
6
C 2 1 H 5 7 BN 6 Si 3
C 1 6 H 4 4 BN 5 Si 2
C 1 1 H 3 1 BN 4 Si
373.53
258.28
Molecular weight / g mol - 1 488.79
Boiling point / °C
13
95 °C – 119
77 °C – 98
(1.6 ⋅ 10
(1.2 ⋅ 10
-1
mbar)
-1
47 °C – 65
mbar)
(1.2 ⋅ 10 - 1 mbar)
11
B NMR (C 6 D 6 )
46.0 ppm
46.9 ppm
48.1 ppm
29
Si NMR (C 6 D 6 )
-0.6 ppm
-0.2 ppm
-0.1 ppm
C NMR-DEPT spectroscopy is a powerful tool to study the chemical environment of
the carbon atoms. It allows to distinguish between carbon atoms with odd and those
with even numbers of H-atoms. According to the
13
C NMR-DEPT spectra in 5 the
hydroboration reaction follows the Markovnikov rule by formation of CH 3 -CH-bridges
between silicon and boron atoms. In case of 4 the reaction occurs in two steps. The
first two vinyl groups are hydroborated according to Markovnikov, resulting in BCl 2
substituents which are in α-position to the silicon atom. Because of sterical hindrance
the third hydroboration cannot follow the Markovnikov rule yielding ethylene bridges
between silicon and boron atoms.
3-92
N-CH3
CH-CH3
N-CH3
Si-CH3
CH-CH3
Si-CH3
CH-CH3
CH-CH3
CH2-CH2
4
5
N
N
Si
N
N
N
B
SI
N
SI
N
N
N
δ (ppm)
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.3: Identification of the
N
B
Si
N
Si
δ (ppm)
13
C NMR-DEPT signals of 4 and 5 (in C 6 D 6 ).
The splitting of the signals is caused by the presence of different stereo isomers.
Transamination of the compounds 4 and 5 in n -hexane at -18 °C leads to colourless,
air sensitive, polymeric powders P4 and P5. The properties of the as synthesised
precursors are similar to the polymers obtained by direct ammonolysis of the
hydroboration products of methyl-vinyl-dichlorosilane. This synthetic pathway open a
possibility to form polymers without laborious filtration of NH 4 Cl.
Because of the uniformity and the silicon to boron ratio of 2:1 product 5 is the most
promising precursor for the formation of thermal stable SiBCN ceramic coatings by
dip-coating.
Three times of coating were applied for the precursor. After each coating the coated
layer was cross linked in ammonia and pyrolyzed at 1100 °C in argon atmosphere.
Because of wetting problems and infiltration of the precursor solution into the porous
substrate the formation of uniform SiBCN layers was not possible.
3-93
Cobalt containing composite materials
The preparation of the metal powder filled ceramic green bodies occur by mixing of
metal powders with the pre-cross linked polymer and subsequent warm pressing. In
contrast, the metal carbonyl based materials need a chemical reaction between the
carbonyl compounds and the pure polysilazane. The reaction proceeds under cleavage
of the Co-carbonyl bond and formation of carbon monoxide (see Equation 7). Cobalt
carbonyl reacts with Ceraset ® at room temperature very fast to form a black solid.
RT
Co2(CO)8 + Ceraset
Co@Ceraset
- CO
®
black solid
IR-spectroscopic investigations of the pure pre-cross linked polymer and reaction
products of carbonyl and the pure polymer show that in case of the cobalt containing
material no ν-CO-vibrations are found between 2100 and 1700 cm - 1 (see Figure Ⅲ
-1.1.2.4.4). This finding suggest the absence of carbonyl groups connected to the
cobalt.
warm-pressed
Ceraset
Reaction
at room temperature
warm-pressed
at 180 °C
4000
3500
3000
2500
2000
1500
1000
500
-1
Wavenumbers (cm )
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.4: IR-spectra of Co@Ceraset ® after reaction at room temperature.
The polysilazane Ceraset ® (see Figure Ⅲ-1.1.2.4.5) contains three different reactive
centres, which can react with carbonyl compounds under cleavage of carbon monoxide
and the formation of direct bonds to cobalt. The possible reactive centres of Ceraset ®
3-94
(7)
are Si-H-functions, π-electron systems in the vinyl groups and the free electron pair
oft the N-H-functions. The exact reaction mechanism is still under investigation.
H
Si
NH
R
Si
N
HN
C
Si
O
NH
R
R = H, CH3
n = 1 - 20
n
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.5: Chemical structure of the polysilazane Ceraset ® (KION Inc., USA).
The polymer-to-ceramic transformation of the metal powder based materials and the
metal carbonyl based, respectively was carried out at 1100 °C in flowing argon with a
holding time of 5 hours.
By the pyrolytic conversion of cobalt loaded polysilazanes into ceramics the formation
of nitrides or carbides of this elements are expected. The result of the X-ray analysis
shows that the amorphous SiCN matrix contains Co 2 Si particles beside unreacted
metallic cobalt. In contrast the carbonyl based materials show no well-defined results
in the XRD analysis. The formation of nano-crystalline Co 2 Si particles can be assumed
(Fig. Ⅲ-1.1.2.4.6).
900
XRD Analysis:
800
Co 2 Si (Co)
Co 2 Si (Co),
100
700
nano crystalline?
600
80
Intensität
Intensität
XRD Analysis:
120
500
400
300
60
40
200
20
100
0
0
0
10
20
30
40
50
2 Theta
60
0
10
20
30
40
2 Theta (°)
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.6: XRD patterns oft the metal powder derived material (left) and the
polymer derived material (right).
3-95
50
60
Figure Ⅲ-1.1.2.4.7 shows SEM images of the microstructure of the cobalt containing
SiCN ceramics. The metal powder based material exhibit a clear division in cobalt rich
(bright) and cobalt poor (dark) areas. A grains structure similar to the iron particles
used as starting substance is not observable. So, we can conclude, that the observed
microstructure is a result of chemical reactions and transport processes during the
polymer-to-ceramic transformation. In contrast, the cobalt carbonyl based ceramic is
complete homogeneous and no different domains are visible at higher magnification.
The homogeneity of the carbonyl based sample is demonstrated in the SEM images on
the right side of Figure Ⅲ-1.2.2.3.7.
SEM-Image
SEM-Image
(x 300)
(x 130)
Co-rich
Co-poo
SEM-Image
SEM-Image
(x 1000)
(x 4000)
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.7: SEM images of the metal powder derived material (left) and the
carbonyl derived material (right).
In Figure Ⅲ-1.1.2.4.8 SEM images of cobalt containing samples filled with 1 vol.% Co
powder are presented. This pictures demonstrate that a low amount of metal powder
does not lead to a homogeneous distribution of cobalt in the SiCN matrix. An
explanation of the homogeneity of the metal carbonyl based ceramics is the molecular
3-96
distribution of the carbonyl compound in the preceramic polymers and its subsequent
chemical reaction under cleavage of carbon monoxide.
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.8: SEM images of the cobalt SiCN composite containing 1 vol.% Co
metal powder.
The hydrogen affinity and the reversible adsorption was measured for three cobalt
containing samples: two metal powder derived composites (10 and 1 vol.%) and one
carbonyl derived sample. The measurements were compared to a standard nickel
containing material (fused silica with a Si/Ni ratio of 0.33). All three samples show
hydrogen affinity, and reversible adsorption, which is important to enhance hydrogen
permselectivity membranes. The results of the measurements are presented in Figures
Ⅲ-1.1.2.4.9 and Ⅲ-1.1.2.4.10.
3-97
Sam ple 2
Sam ple 1
Reversible adsorption
1.4
Total adsorption
Reversible adsorption
1.4
Total adsorption
1.2
0.8
0.6
0.4
Adsorbed Hydrogen (ml/g)
Adsorbed Hydrogen (ml/g)
Adsorbed Hydrogen (ml/g)
1
1.0
0.8
0.6
0.4
0.0
0
0
50
100
Partial Pressure of Hydrogen (kPa)
150
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.2
0.2
Total adsorption
Reversible adsorption
1.4
1.2
1.2
Sam ple 3
0.0
0
50
100
Partial Pressure of Hydrogen (kPa)
150
0
50
100
Partial Pressure of Hydrogen (kPa)
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.9: Hydrogen absorption of the cobalt containing materials (sample 1:
10 vol.% Co; sample 2: 1 vol.% Co; sample 3: 1 vol.% Co carbonyl-derived).
The metal powder derived samples show no significant differences in the amount of
adsorped hydrogen in total and reversible adsorption. In contrast the carbonyl based
material exhibit more then twice adsorption ability for hydrogen, but the sample
contains the lowest amount of filler. This findings clearly, that the amount of filler into
the matrix is not responsible for the adsorption ability. In fact the very finely
distribution of the filler into the SiCN matrix (see Figure Ⅲ-1.1.2.4.8) is the reason
for the high adsorption ability of the cobalt carbonyl derived sample.
In comparison with the nickel containing silica probe the cobalt containing samples
show a significant lower adsorption ability for hydrogen. The nickel containing sample
adsorbs more then ten times more hydrogen as the cobalt containing samples (Figure
Ⅲ-1.1.2.4.10).
3-98
150
Sample Si : Ni 0.33
Reversible adsorption
40
0.6
Reversible adsorption
35
sample 3
30
Adsorbed Hydrogen (ml/g)
Adsorbed Hydrogen (ml/g)
0.5
sample 1
sample 2
0.4
0.3
0.2
Total adsorption
25
20
15
10
0.1
5
0
0
0
20
40
60
80
100
120
0
Partial Pressure of Hydrogen (kPa)
20
40
60
80
100
120
Partial Pressure of Hydrogen (kPa)
Fig. Ⅲ-1.1.2.4.10: Reversible hydrogen absorption of the cobalt containing materials
(left)
(sample 1:
10 vol.%
Co;
sample
2:
1 vol.%
Co;
sample 3:
1 vol.%
Co
carbonyl-derived) and reversible and total adsorption of the sample Si : Ni 0.33 (right).
A possible way to increase the adsorption ability of the cobalt containing is to increase
the amount of finely depressed cobalt particles in the SiCN matrix. That can be
effected by increasing the amount of cobalt carbonyl at the beginning of the powder
synthesis.
3-99