GEMの印加テスト @林栄精器つくば支社

GEMの印加テスト
@林栄精器つくば営業所
2005.7.22
報告者:関本 美知子
GEMの現在までの経過
• 2005年6月下旬、サイエナジーより5枚納入
• 林栄精器つくば営業所にて印加テストを開始
接着前にGEMのフィルムだけの絶縁抵抗値を測定(2005.6.21)
5枚中1枚はサイエナジー(渕上ミクロ)へ返却
残り4枚のGEMをG-10(500μm厚)のフレームに接着
接着後、再度絶縁抵抗値を測定(2005.7.)
GEMテストベンチを組み立て、印加テストを実施(2005.7.15)
GEM:接着前の絶縁抵抗検査
• 測定日
2005.6.21
温度:25℃/湿度:45%
• GEMのフィルムだけを絶縁抵抗計のリードで吊るして測定
番号
測定値(Ω)
3
5×109
2×1012
2×1013
4
5×1011
5
2×1011
1
2
返却
返却指示があった時点で一番悪いGEM(1番)は
既にフレームに接着済みだったために、
二番目に悪かった5番を返却した。
GEM:接着後の絶縁抵抗検査
• 測定日
2005.7.11
温度:25℃/湿度:50%
• G-10(500μm厚)の枠に接着済みのGEMを絶縁抵抗計のリード
で吊るして測定
番号
測定値(Ω)
1
5×109
2
4.5×1010
3
1×1010
4
1×1010
GEM:テストベンチの印加検査
• 測定日
2005.7.15
温度:25℃/湿度:不明
GEM:
GEM:テストベンチの印加検査
• 測定日
•
•
•
•
•
2005.7.15
温度:25℃/湿度:不明
GEM3枚を10mm間隔でテストベンチに設置
プラスティックバックにテストベンチを封入
プラスティックバック中に窒素ガスを流入
HVは100MΩの抵抗を入れた
順次、印加検査を実施
GEM:テストベンチの印加検査
• 番号:4 (絶縁抵抗値:1×1010Ω/ 5×1011Ω )
一回目
420V OK
430V 放電
二回目
400V Ok
450V 放電
三回目
460V 放電
四回目
450V 6nA
CERNのGEMハンドリングに対するサジェッションでは、
30%以下の空気中でリーク電流は、~5nA以下@500V(絶縁抵抗値>100GΩ)
GEM:テストベンチの印加検査
• 番号:3 (絶縁抵抗値:1×1010Ω/ 2×1013Ω )
一回目
453V 放電
二回目
451V 2nA
• 番号:2 (絶縁抵抗値:4.5×1010Ω/ 2×1012Ω )
一回目
451V 2nA
• 番号:1 (絶縁抵抗値:5×109Ω/ 5×109Ω )
一回目
offset電圧で放電
二回目
280V 9nA
450V 3nA
GEM:テストベンチの印加検査
CERN-GEM(60/40)
印加テストで放電したあたりを電子顕微鏡で見たところ
表面の若干の変色以外に変化は見られなかった。
GEM:テストベンチの印加検査
― まとめ ―
GEM No.
1
2
3
4
絶縁抵抗測定値
5×109
4.5×1010
1×1010
1×1010
(フィルムのみ)
5×109
2×1012
2×1013
5×1011
印加電圧(V)
リーク 電流(nA)
25℃/不明
450
451
451
450
3
2
2
6
453
430
放電電圧1
offset値
放電電圧2
280/9
―
N2 gas中
450
CERN推奨値:~5nA以下@500V(絶縁抵抗値>1×1011Ω) in air
GEM:テストベンチの印加検査
― まとめ ―