技術情報真直度/垂直度/平行度データ 1－6 V H 直動編自動Z

技術情報　真直度/垂直度/平行度データ　１－６
真直度/垂直度/平行度データ　１－６
直　動　編
真直度/垂直度/平行度は、直進運動性能で最も重要な基本スペックです。
再現性がない、傾きが大きく変位するなど、各種検査装置・組立てなどの装置性能に弊害となる可能性があります。
ステージの要素部品にこだわり、特注技能より培われた熟練技術を標準品に採用しております。
特殊検査の実測データをご紹介いたします。
参考にして頂き、お客様のご要望に応える製品をお届け致します。※恒温室での測定ではありません。
自動Ｚステージ
V
H
【ステージタイプ】 ZA10A-W2C
1/4クサビ／クロスローラガイド/ボールネジ／アルミ仕様
【検　査　概　要】 5mm範囲のV，H方向の垂直度を3回測定を行う。
６時間後に同じ測定を行い、再現性をみる。
1.6
V方向垂直度(
方向垂直度(初回と6
初回と6時間後)
時間後)
傾き(μｍ)
1.2
0.8
0.4
0
0h_take1
0h_take2
0h_take3
6h_take1
6h_take2
6h_take3
-0.4
0
0.5
1
1.5
2
2.5
測定位置(mm)
3
3.5
4
4.5
5
1.4
H方向垂直度(
方向垂直度(初回と6
初回と6時間後)
時間後)
傾き(μｍ)
1
0.6
0ｈ_take1
0h_take2
0h_take3
6h_take1
6h_take2
6h_take3
0.2
-0.2
-0.6
0
0.5
1
1.5
2
2.5
測定位置(mm)
3
3.5
4.5
5
H
V
【ステージタイプ】 ZA10A-32F
4面フラットローラガイド/ボールネジ／アルミ仕様
【検　査　概　要】 30mm範囲のＸ，Ｙ方向の垂直度を10回測定を行う。
(V方向はモーターと平行な方向)。
6
4
垂直度再現性　無負荷
傾き（μm）
4
2
V方向
0
-2
H方向
-4
-6
0
2
4
6
8
10
12
14
16
測定範囲（mm）
18
20
22
24
26
28
30

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