真空機器及び超高真空容器真空熱処理炉ウエハーアニール炉 ●高速加熱から低速加熱まで幅広い設定範囲 ●多段ステップ加熱が試料を固定したままで簡単に行うことが可能 ●ガス冷却機構を具備し、加熱（一時保持）のガス導入により、急速ガスクェンチ・クーリングコントロールが可能 ●真空排気系が装備されており、真空中・各種ガス中・ガスフロー中の加熱が可能 ●装置・架台が一体型のため、正面パネルより各種ポンプ及び真空計・加熱装置・ガス導入の制御が可能 ●各種材料の基礎研究・熱処理のシュミレータ・半導体・超電導材の CO2 ガス雰囲気中でのアニールに最適基板サイズ・加熱装置・取付場所に応じ、石英管・取付けフランジの特注に対応可能です。その他の仕様もカスタマイズ可能ですのでお気軽にお問い合わせください。真空熱処理（受託サービス）特　徴 Feature ●オイルフリーの真空排気系によりクリーンな真空環境での処理 ●ニーズに応じたヒートサイクル処理が可能 ●窒素ガス・アルゴンガス等での炉冷が可能 ●変形・歪の少ない熱処理が可能 ●ワークサイズは最大 900 × 900 × 500H ●使用温度範囲は 150 ～ 1100℃ ●バックグラウンド真空度は 10-5Pa 用　途真空容器、金型、部品、治具真空アニール処理真空磁気焼鈍分　野精密機械分野自動車分野航空・宇宙分野エネルギー分野液晶・半導体製造分野電気・電子分野医療機器分野加速器・核融合分野研究開発分野メガネ製造分野ナノテクノロジー分野あらゆる金型や部品、治具を最適な熱処理条件で処理する受託サービスを提供致します。株式会社 VIC インターナショナル http://www.vic-int.co.jp/ 真空機器及び超高真空容器真空熱処理炉真空熱処理炉特　徴 Feature ●各サイズの真空炉を提供 ●処理温度帯により適切なヒータ材料選定（高周波・メタルヒータ・カーボン等）　●安価な拡散ポンプからクリーン排気のターボ分子ポンプの選択が可能　●水冷熱循環による炉内強制冷却（オプション） ●タッチパネル制御・動作による自動運転モード（生産向け）角型大型真空炉炉内寸：□ 1000 mm 加熱温度：500ºC 角型小型真空炉炉内寸：□ 300mm 加熱温度：300ºC 円筒型大型真空炉炉内寸：400 × 580 × 350Hmm 加熱温度：1050ºC オイルフリー真空熱処理炉特　徴 Feature ●ターボ分子ポンプ・ドライポンプから構成されるオイルフリー真空排気系 ●省スペース・軽量化された真空チャンバ形状 ●熱・経年変化の影響を受けにくいヒータ・リフレクタ形状 ●タッチパネルによる真空排気・加熱制御の簡易操作 ●ミューメタル材磁気焼鈍にも使用可能円筒型大型真空炉炉内寸： Φ 960 × 1000mm 加熱温度：1100℃ 株式会社 VIC インターナショナル http://www.vic-int.co.jp/